JP4071594B2 - ガラス基板用熱処理装置 - Google Patents
ガラス基板用熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4071594B2 JP4071594B2 JP2002307405A JP2002307405A JP4071594B2 JP 4071594 B2 JP4071594 B2 JP 4071594B2 JP 2002307405 A JP2002307405 A JP 2002307405A JP 2002307405 A JP2002307405 A JP 2002307405A JP 4071594 B2 JP4071594 B2 JP 4071594B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- support
- rolling wheel
- planar
- horizontal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス基板用熱処理装置に関し、例えば、液晶パネル用のガラス基板や、同液晶パネルに取り付けられるカラーフィルター用のガラス基板の焼成や乾燥などに用いられる熱処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、配向膜や偏向膜が形成された液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板Ｂや同ＬＣＤに用いられるカラーフィルター(ＣＦ)用のガラス基板Ｂなどの焼成や乾燥に用いる電子具品用の熱処理装置として、図１０に示すような熱の放射伝導を利用した遠赤外線放射加熱方式の熱処理装置Ｘがあった（特許文献１参照。）。
【０００３】
上記熱処理装置Ｘにおいては、内周面に断熱材(図示せず)を貼設した箱型の炉本体101を設けて、同炉本体101の内部に、赤外線放射板111により面状ヒータ112を両側から挟んで形成した面状ヒータ複合体を、炉本体101の側壁101aから所定の間隔を空けて立設していた。
【０００４】
また、かかる立設した面状ヒータ複合体を縦面状ヒータ102とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102の一方には給気孔103を、他方には排気孔104を複数穿設しており、かかる給・排気孔103,104と方向が対応するように、前記炉本体101の対向する左右側壁101a,101aの一方には給気口105を、他方には排気口106を設けていた。
【０００５】
また、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102には、それぞれ前後方向に伸延する正面視コ字状のヒータ支持体107を多段に配設して、同ヒータ支持体107によって水平に寝かせた状態の面状ヒータ複合体（以下、横面状ヒータ108という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ108,108間にガラス基板加熱空間ｔを形成していた。
【０００６】
そして、各ガラス基板加熱空間ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管109を前後方向に伸延させて、同石英管109を横面状ヒータ108の上方に配設した石英管支持体110により支持していた。
【０００７】
特に、横面状ヒータ108は自重によりヒータ支持体107に密着しているので、各ガラス基板加熱空間ｔの間に空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間ｔの内部の温度が均一に保たれており、給・排気口105,106、及び給・排気孔103,104を介して炉本体101の内部の空気を少量ずつ入れ換えて、ガラス基板Ｂからの揮発性塵類を排出しつつ、各ガラス基板加熱空間ｔ内のガラス基板Ｂを均一に加熱することができた。
【０００８】
上記熱処理装置Ｘにおいては、例えばメンテナンス時のように横面状ヒータ108を炉本体101から取り外さなければならないときには、横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿って摺動させて炉本体101から引き出していた。また、逆に炉本体101に横面状ヒータ108を取り付ける場合にも、横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿って摺動させて炉本体101の内部へと挿入していた。
【０００９】
しかし、近年では、ＬＣＤの大型化に伴いガラス基板Ｂが大型化しているため、同ガラス基板Ｂを収容して熱処理する熱処理装置Ｘも大型化し、ひいては、熱処理装置Ｘの炉本体101の内部を複数のガラス基板加熱空間ｔに区切る横面状ヒータ108も大型化している。従って、横面状ヒータ108の重量が増加し、横面状ヒータ108を炉本体101から着脱するに際しては、横面状ヒータ108の移動が重労働となり、横面状ヒータ108の炉本体101からの着脱が困難なものとなっていた。
【００１０】
そこで、図１１に示すように、前記ヒータ支持体107によって支持される横面状ヒータ108の左右両端部に複数の転動輪113を設けて、同転動輪113を介して横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿ってスライド移動可能とし、横面状ヒータ108を炉本体101に容易に着脱できるようにすることが考えられる。
【００１１】
【特許文献１】
実用新案登録第３０６６３８７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の如く横面状ヒータ複合体の左右両端部に複数の転動輪を設けた場合には、同転動輪により横面状ヒータ複合体がヒータ支持体から持ち上がるため、ヒータ支持体と横面状ヒータ複合体との間に隙間が生じ、横面状ヒータ複合体によって区切られる各ガラス基板加熱空間の間で空気の流通が発生してしまう。そのため、これまで各ガラス基板加熱空間において均等に保たれてきた温度分布に変化が生じてしまい、各ガラス基板加熱空間に収容されるガラス基板を均一に加熱できないという不具合が生じる可能性がある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
そこで、請求項１記載の本発明では、炉体内部に、面状ヒータを支持するレール状のヒータ支持体を多段に設けるとともに、前記各ヒータ支持体上に面状ヒータをそれぞれ挿脱自在に配設し、配設した各面状ヒータ間にガラス基板加熱空間を形成したガラス基板用熱処理装置において、前記面状ヒータの先端部に、前記ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けるとともに、前記ヒータ支持体の奥側部に、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設け、さらに、当該ヒータ支持体の前側部に、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設した。
【００１４】
また、請求項２記載の本発明では、ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設け、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とした。
【００１５】
また、請求項３記載の本発明では、転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明に係るガラス基板用熱処理装置は、炉体内部に、面状ヒータを支持するレール状のヒータ支持体を多段に設けるとともに、前記各ヒータ支持体上に面状ヒータをそれぞれ挿脱自在に配設し、配設した各面状ヒータ間にガラス基板加熱空間を形成したものである。
【００１７】
しかも、前記面状ヒータにおいて、炉体内への挿入時に最初に挿入される側を先端部、他端側を後端部とすると、前記面状ヒータの先端部には、前記ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けている。
【００１８】
また、ヒータ支持体において、面状ヒータを炉体内に収容したときに同面状ヒータの先端部を支持する側を奥側部、他端側を前側部とすると、ヒータ支持体の奥側部には、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設けており、当該ヒータ支持体の前側部には、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設している。
【００１９】
従って、面状ヒータを炉体内に挿入したり引き出したりする際には、ヒータ側転動輪をヒータ支持体のヒータ支持面上で転動させるとともに、支持体側転動輪により面状ヒータを案内することにより、両転動輪により面状ヒータを繰り出して、面状ヒータを炉体の内外へ円滑に移動させることができる。従って、面状ヒータが大型化して、重量が大きくなったとしても、容易に面状ヒータを炉体に取り付け・取り外しすることができる。しかも、面状ヒータの重みによって作業者が不安定になり、面状ヒータの挿脱作業中に同面状ヒータを損傷させる危険性も少ない。
【００２０】
また、面状ヒータを炉体内に収容した際には、ヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に収容すると共に、支持体側転動輪を前記面状ヒータを案内するときの位置よりも下方に移動させて、面状ヒータをヒータ支持面に当接させることができ、各面状ヒータ間に形成されるガラス基板加熱空間の間で空気の流通が生じないようにして、各ガラス基板加熱空間内の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、ガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、歩留まり向上が見込まれる。
【００２１】
なお、本熱処理装置の熱処理対象となるガラス基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＬＣＤ用のカラーフィルター(ＣＦ)などであり、本熱処理装置は、かかる電子部品用途のものを熱処理する場合に好適に用いることができる。また、面状ヒータとしては、例えば遠赤外線を放射する面状ヒータを用いる。
【００２２】
また、前記ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設けて、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とすることもでき、かかる構成とすれば、簡単な構成によって支持体側転動輪を上下に移動させることができるので、破損しにくい構成でありながら、且つ低コストで設けることができる構成によって、支持体側転動輪の上下移動を行うことができる。
【００２３】
しかも、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とするので、スライド時には、支持体側転動輪によって面状ヒータを確実に繰り出すことができる。一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とするので、面状ヒータの収容時に、面状ヒータとヒータ支持体との間に隙間が生じるのを確実に防止することができる。
【００２４】
さらに、前記転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成することができ、かかる構成とすれば、転動輪収容凹部の傾斜に沿ってヒータ側転動輪を転動させることができ、容易に且つ円滑にヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に出し入れすることができる。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
図１は、本発明に係るガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉Ａの正面断面図であり、図示するように、本実施例における焼成炉Ａでは、箱型に形成した炉本体１の内周面に断熱材(図示せず)を貼設し、しかも、同炉本体１の内部に炉本体１の側壁1aから所定の間隔を空けて面状ヒータを立設している。
【００２７】
かかる立設させた面状ヒータを縦面状ヒータ２とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ２,２の一方には給気孔３を、他方には排気孔４を複数穿設しており、かかる給・排気孔３,４と方向が対応するように、前記炉本体１の対向する左右側壁1a,1aの一方には給気口５を、他方には排気口６を設けている。
【００２８】
また、上記左右側の縦面状ヒータ２,２には、それぞれ前後方向に伸延するレール状のヒータ支持体７を多段に配設し、同ヒータ支持体７によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ（以下、横面状ヒータ８という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ８,８間にガラス基板加熱空間Ｔを形成している。なお、図示するように、各ガラス基板加熱空間Ｔには、前記縦面状ヒータ２に穿設した給・排気口５,６がそれぞれ開口している。
【００２９】
さらに、各ガラス基板加熱空間Ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管を前後方向に伸延させており、同石英管は、横面状ヒータの上方に配設した石英管支持体により支持している。なお、石英管と石英管支持体の構造は、前記図１０に示すものと同様であり、図１では図示を省略している。
【００３０】
本実施例における焼成炉Ａは上記構成からなり、ここで、本発明の要旨ともなる横面状ヒータ８のスライド・収容構造についてさらに詳説する。横面状ヒータ８のスライド・収容構造とは、すなわち、横面状ヒータ８と、同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持体７との構造のことである。以下において、横面状ヒータ８は、炉本体１の内部への挿入時に最初に挿入される側を先端部8a、他端側を後端部8bとし、ヒータ支持体７は、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容したときに同横面状ヒータ８の先端部8aを支持する側を奥側部7a、他端側を前側部7bとして説明する。
【００３１】
横面状ヒータ８は、図４、図５に示すように、矩形板状に形成した面状ヒータ23を、同じく矩形板状に形成した上下２枚の赤外線放射板24,24によって両側から挟むと共に、かかる面状ヒータ23及び両赤外線放射板24,24の周縁部を断面視略コ字状のヒータ固定枠11で共に挟んでボルト12で固定することにより、単一の横面状ヒータ８となしている。
【００３２】
また、横面状ヒータ８の先端側左右端部には、後述するヒータ支持体７のヒータ支持面7c上をスライド可能なステンレス製のヒータ側転動輪13をそれぞれ取り付けている。
【００３３】
すなわち、図４、図５に示すように、断面視略コ字状である前記ヒータ固定枠11の縦片部11aに、ヒータ側転動輪13をステンレス製の回転軸14を介して回転自在に取り付けており、しかも、かかるヒータ側転動輪13の底部を横面状ヒータ８の下端よりも下方に位置させている。なお、ヒータ側転動輪13は、ヒータ支持体７との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。
【００３４】
ヒータ支持体７は、ステンレス製であり、図４、図５に示すように、縦面状ヒータ２の内側面に当接する第１縦片部7dと、同第１縦片部7dの下端から炉本体１の中央方向に向かって水平に突出する横片部7eと、同横片部7eの突出先端から下方に向かって垂直に垂下する第２縦片部7fとから正面視段状に形成すると共に、第１縦片部7dをボルト15で固定することにより縦面状ヒータ２に取り付けている。そして、前記横片部7eの上面を、実際に横面状ヒータ８と当接して同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持面7cとしている。
【００３５】
また、ヒータ支持体７の前側部7bには、矩形板状の転動輪取付片16を前記第２縦片部7fと平行となるように横片部7eに垂設して、同転動輪取付片16と第２縦片部7fとの間に上記横面状ヒータ８を案内可能なステンレス製の支持体側転動輪17を軸架している。なお、支持体側転動輪17は、横面状ヒータ８との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。図中、18は支持体側転動輪17との焼き付きを防止すべく耐熱性樹脂により形成したカラー、19は一端に把持部19aを設けたステンレス製の回転軸である。
【００３６】
図２、図３に示すように、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、上記転動輪取付片16と第２縦片部7fとにそれぞれ設けられた側面視略門状の軸受け孔20に係止される。すなわち、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、略門状を成す軸受け孔20の２つの縦孔部20a,20cのどちらかに係止されるとともに、両縦孔部20a,20cを連絡する横孔部20bを介して両縦孔部20a,20c間を自由に移動可能である。
【００３７】
しかも、両縦孔部20a,20cは、一方（ここでは前側の縦孔部）が他方（ここでは奥側の縦孔部）よりも下方に長く伸延していて段違いになっており、より長い縦孔部を下段縦孔部20a、他方を上段縦孔部20cとすると、前記支持体側転動輪17は、その回転軸19を下段縦孔部20aと上段縦孔部20cとのどちらに係止するかによって上下位置が変わることとなる。かかる構成により、本実施例では、支持体側転動輪17を上下に自在に移動できるようにしている。
【００３８】
特に、支持体側転動輪17の直上方となるヒータ支持体７の横片部7eは開口させており、回転軸19を上段縦孔部20cに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも上方に位置し、回転軸19を下段縦孔部20aに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも下方に位置するようにしている。
【００３９】
このとき、軸受け孔20を設けた転動輪取付片16と第２縦片部7fとは、支持体側転動輪17の回転軸19を上下移動自在に支持する輪支持部21として作動し、簡単な構成でありながら確実に支持体側転動輪17を上下に移動させることができる。しかも、簡単な構成であるが故に、破損しにくく、且つ低コストで設けることができる。
【００４０】
また、ヒータ支持体７の奥側部7aには、横片部7eの復員の第１縦片部7d側を奥側部7aに向かって下方に傾斜させて、ヒータ側転動輪13を沈降状態に収納するための転動輪収納凹部22を設けている。
【００４１】
そして、本実施例では、横面状ヒータ８のスライド・収容構造を上述したような構造としたことにより、横面状ヒータ８は、以下のようにして炉本体１の内部に挿脱され（スライドされ）、載置される（収容される）。
【００４２】
すなわち、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に挿入するときには、図２に示すように、まず、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cに係止して、図４（ａ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させる。そして、図５（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図４（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図６（ａ）に示すように、両転動輪13,17を転動させつつ横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入する。
【００４３】
このとき、横面状ヒータ８は両転動輪13,17の転動によって炉本体１の内部へと繰り出されるので、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入することができる。
【００４４】
そして、横面状ヒータ８が炉本体１の内部へ深く挿入されて、ヒータ側転動輪13がヒータ支持体７の転動輪収納凹部22まで行き着くと、ヒータ側転動輪13は転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動しながら次第に下降し、最終的には、図５（ｂ）に示すように、これまでヒータ側転動輪13によってヒータ支持面7cの上方に持ち上げられていた横面状ヒータ８の先端部8aが、ヒータ支持面7cに当接する。
【００４５】
このように、ヒータ側転動輪13が転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されたら、次に、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cから下段縦孔部20aへと移動させて、図４（ｂ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも下方に沈降させる。これにより、図４（ｂ）、図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、横面状ヒータ８の下面をヒータ支持体７のヒータ支持面7cにぴったりと密着させて、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容・載置することができる。
【００４６】
しかも、前述の如く、横面状ヒータ８の下面とヒータ支持体７のヒータ支持面7cとの間には隙間が発生していないので、各横面状ヒータ８,８間に形成されるガラス基板加熱空間Ｔ同士の間で、空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間Ｔにおける温度分布にむらが生じるのを防止することができる。
【００４７】
なお、図３に示すような収容状態にある横面状ヒータ８を炉本体１の内部から引き出す場合には、軸受け孔20の下段縦孔部20aに係止されている支持体側転動輪17の回転軸19を上段縦孔部20cへと移動させて、図４（ａ）に示すように、再び支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させると共に、ヒータ支持体７の転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されているヒータ側転動輪13を、横面状ヒータ８を引き出しながら転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動させて、次第に転動輪収納凹部22の外部に上昇させる。
【００４８】
そして、図５（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図４（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図６（ａ）に示すように、両転動輪13,17の転動によって横面状ヒータ８を炉本体１の外部へと繰り出すのである。
【００４９】
このときも、前記横面状ヒータ８の挿入時と同様に、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の外部へ引き出すことができる。
【００５０】
なお、図４に示すように、支持体側転動輪17とそのカラー18とはある程度の接触面積を有するので、既に焼成炉Ａを作動させたことがあり、炉本体１の内部を加熱したことがある場合には、炉本体１の内部から横面状ヒータ８を引き出そうとしても、支持体側転動輪17とカラー18とが焼き付いていて、支持体側転動輪17を転動できないおそれがある。しかし、本実施例では、前述したように、焼き付きを防止すべく支持体側転動輪17のカラー18を耐熱性樹脂製としているので、例え炉本体１の内部を加熱した後であったとしても、支持体側転動輪17を円滑に転動させることができる。
【００５１】
ところで、本実施例では、上記した以外の構成として、図７及び図８に示すように、最上段に設けた横面状ヒータ８の外側面四隅に、放熱を防止するための放熱防止用被覆体25を設けている。
【００５２】
かかる放熱防止用被覆体25は、ステンレスを下端開口の箱状に形成したものであり、開口縁を最上段の横面状ヒータ８の外側面に沿ってフランジ状に伸延させて取付部25aを形成すると共に、同取付部25aをボルト26で横面状ヒータ８に固定している。
【００５３】
上記放熱防止用被覆体25を設けることによって、下方にしか他の横面状ヒータ８が存在しておらず、上下両側を別の横面状ヒータ８によって挟まれた横面状ヒータ８と比べて温度が上昇しにくい最上段の横面状ヒータ８においても、放熱を防いで他の横面状ヒータ８と同様に温度を上昇させることができる。そして、炉本体１の内部の温度分布にむらが生じるのを防止して、炉本体１の内部に収容された全てのガラス基板Ｂを均一に加熱し、温度差によってガラス基板Ｂの品質にばらつきが生じるのを防止することができる。
【００５４】
特に、本実施例では、放熱防止用被覆体25を下端開口の箱状に形成しているので、横面状ヒータ８からの熱を効率よく放熱防止用被覆体25の内部に蓄積して、横面状ヒータ８の温度を効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、例えば既存のガラス基板熱処理用装置に対しても、上記放熱防止用被覆体25を低コストで且つ簡単に付設することができる。
【００５５】
また、本実施例では、放熱防止用被覆体25は、横面状ヒータ８の四隅に設けているが、これは、図９に示すように、横面状ヒータ８を１〜３０の部位に分けた場合、四隅となる１、５、２６、３０の部位が他の部位と比べて温度が上昇しにくいからであり、本実施例のように、最上段の横面状ヒータ８において、四隅からの放熱を重点的に防止した場合には、効率よく最上段の横面状ヒータ８の温度を上昇させることができると共に、最上段の横面状ヒータ８における温度分布のむらを防止することができる。
【００５６】
また、本実施例では、前述の通り放熱防止用被覆体25をステンレスにより形成しているが、放熱防止用被覆体25の素材としてはこれに限らない。例えば耐熱性樹脂のような断熱性のある素材で放熱防止用被覆体25を形成すれば、横面状ヒータ８からの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体25の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００５７】
さらに、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８にのみ放熱防止用被覆体25を設けているが、これに限らず、放熱防止用被覆体25は、最上段の横面状ヒータ８と同じく温度が上昇しにくい最下段の横面状ヒータ８にも設けることができる。そして、最上段の横面状ヒータ８と最下段の横面状ヒータ８とのどちらか一方にのみ、或いは両方に放熱防止用被覆体25を設けることができる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明は、上記してきた態様で実施されるものであり、下記の効果を奏する。
【００５９】
（１）請求項１記載の本発明では、面状ヒータの先端部に、ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けるとともに、前記ヒータ支持体の奥側部に、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設け、さらに、当該ヒータ支持体の前側部に、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設したので、面状ヒータを炉体内に挿入したり引き出したりする際には、ヒータ側転動輪をヒータ支持体のヒータ支持面上で転動させるとともに、支持体側転動輪により面状ヒータを案内することにより、両転動輪により面状ヒータを繰り出して、面状ヒータを炉体の内外へ円滑に移動させることができる。従って、面状ヒータが大型化して、重量が大きくなったとしても、容易に面状ヒータを炉体に取り付け・取り外しすることができる。しかも、面状ヒータの重みによって作業者が不安定になり、面状ヒータの挿脱作業中に同面状ヒータを損傷させる危険性も少ない。
【００６０】
また、面状ヒータを炉体内に収容した際には、ヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に収容すると共に、支持体側転動輪を前記面状ヒータを案内するときの位置よりも下方に移動させて、面状ヒータをヒータ支持面に当接させることができ、各面状ヒータ間に形成されるガラス基板加熱空間の間で空気の流通が生じないようにして、各ガラス基板加熱空間内の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、ガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、歩留まり向上が見込まれる。
【００６１】
（２）請求項２記載の本発明では、ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設け、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能としたので、簡単な構成で支持体側転動輪を上下に移動させることができる。従って、支持体側転動輪を、破損しにくい構成でありながら、且つ低コストで設けることが可能な構成によって上下移動させることができる。しかも、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とするので、スライド時には、支持体側転動輪によって面状ヒータを確実に繰り出すことができる。一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とするので、面状ヒータの収容時に、面状ヒータとヒータ支持体との間に隙間が生じるのを確実に防止することができる。
【００６２】
（３）請求項３記載の本発明では、転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成したので、転動輪収容凹部の傾斜に沿ってヒータ側転動輪を転動させることができ、容易に且つ円滑にヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に出し入れすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉の正面断面図である。
【図２】同焼成炉におけるヒータのスライド状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はｉの拡大説明図、（ｃ）はiiの拡大説明図である。
【図３】同焼成炉におけるヒータの収容状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はiiiの拡大説明図、（ｃ）はivの拡大説明図である。
【図４】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はＩ−Ｉ線における断面説明図、（ｂ）はIII−III線における断面説明図である。
【図５】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はII−II線における断面説明図、（ｂ）はIV−IV線における断面説明図である。
【図６】ヒータの側面視による説明図であり、（ａ）はスライド状態を示す側面視による模式図、（ｂ）は収容状態を示す側面視による模式図である。
【図７】放熱防止用被覆体を示す正面断面視による説明図である。
【図８】放熱防止用被覆体の取付位置を示す斜視による説明図である。
【図９】横面状ヒータの各部位を示す説明図である。
【図１０】従来のガラス基板用熱処理装置の正面断面図である。
【図１１】従来のガラス基板用熱処理装置におけるヒータのスライド構造を示す側面視による説明図である。
【符号の説明】
Ａ 焼成炉
Ｂ ガラス基板
Ｔ ガラス基板加熱空間
１ 炉本体
２ 縦面状ヒータ
７ ヒータ支持体
7a 奥側部
7b 前側部
7c ヒータ支持面
８ 横面状ヒータ
8a 先端部
8b 後端部
13 ヒータ側転動輪
17 支持体側転動輪
21 輪支持部
22 転動輪収納凹部
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス基板用熱処理装置に関し、例えば、液晶パネル用のガラス基板や、同液晶パネルに取り付けられるカラーフィルター用のガラス基板の焼成や乾燥などに用いられる熱処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、配向膜や偏向膜が形成された液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板Ｂや同ＬＣＤに用いられるカラーフィルター(ＣＦ)用のガラス基板Ｂなどの焼成や乾燥に用いる電子具品用の熱処理装置として、図１０に示すような熱の放射伝導を利用した遠赤外線放射加熱方式の熱処理装置Ｘがあった（特許文献１参照。）。
【０００３】
上記熱処理装置Ｘにおいては、内周面に断熱材(図示せず)を貼設した箱型の炉本体101を設けて、同炉本体101の内部に、赤外線放射板111により面状ヒータ112を両側から挟んで形成した面状ヒータ複合体を、炉本体101の側壁101aから所定の間隔を空けて立設していた。
【０００４】
また、かかる立設した面状ヒータ複合体を縦面状ヒータ102とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102の一方には給気孔103を、他方には排気孔104を複数穿設しており、かかる給・排気孔103,104と方向が対応するように、前記炉本体101の対向する左右側壁101a,101aの一方には給気口105を、他方には排気口106を設けていた。
【０００５】
また、対向する左右側の縦面状ヒータ102,102には、それぞれ前後方向に伸延する正面視コ字状のヒータ支持体107を多段に配設して、同ヒータ支持体107によって水平に寝かせた状態の面状ヒータ複合体（以下、横面状ヒータ108という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ108,108間にガラス基板加熱空間ｔを形成していた。
【０００６】
そして、各ガラス基板加熱空間ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管109を前後方向に伸延させて、同石英管109を横面状ヒータ108の上方に配設した石英管支持体110により支持していた。
【０００７】
特に、横面状ヒータ108は自重によりヒータ支持体107に密着しているので、各ガラス基板加熱空間ｔの間に空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間ｔの内部の温度が均一に保たれており、給・排気口105,106、及び給・排気孔103,104を介して炉本体101の内部の空気を少量ずつ入れ換えて、ガラス基板Ｂからの揮発性塵類を排出しつつ、各ガラス基板加熱空間ｔ内のガラス基板Ｂを均一に加熱することができた。
【０００８】
上記熱処理装置Ｘにおいては、例えばメンテナンス時のように横面状ヒータ108を炉本体101から取り外さなければならないときには、横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿って摺動させて炉本体101から引き出していた。また、逆に炉本体101に横面状ヒータ108を取り付ける場合にも、横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿って摺動させて炉本体101の内部へと挿入していた。
【０００９】
しかし、近年では、ＬＣＤの大型化に伴いガラス基板Ｂが大型化しているため、同ガラス基板Ｂを収容して熱処理する熱処理装置Ｘも大型化し、ひいては、熱処理装置Ｘの炉本体101の内部を複数のガラス基板加熱空間ｔに区切る横面状ヒータ108も大型化している。従って、横面状ヒータ108の重量が増加し、横面状ヒータ108を炉本体101から着脱するに際しては、横面状ヒータ108の移動が重労働となり、横面状ヒータ108の炉本体101からの着脱が困難なものとなっていた。
【００１０】
そこで、図１１に示すように、前記ヒータ支持体107によって支持される横面状ヒータ108の左右両端部に複数の転動輪113を設けて、同転動輪113を介して横面状ヒータ108をヒータ支持体107に沿ってスライド移動可能とし、横面状ヒータ108を炉本体101に容易に着脱できるようにすることが考えられる。
【００１１】
【特許文献１】
実用新案登録第３０６６３８７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の如く横面状ヒータ複合体の左右両端部に複数の転動輪を設けた場合には、同転動輪により横面状ヒータ複合体がヒータ支持体から持ち上がるため、ヒータ支持体と横面状ヒータ複合体との間に隙間が生じ、横面状ヒータ複合体によって区切られる各ガラス基板加熱空間の間で空気の流通が発生してしまう。そのため、これまで各ガラス基板加熱空間において均等に保たれてきた温度分布に変化が生じてしまい、各ガラス基板加熱空間に収容されるガラス基板を均一に加熱できないという不具合が生じる可能性がある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
そこで、請求項１記載の本発明では、炉体内部に、面状ヒータを支持するレール状のヒータ支持体を多段に設けるとともに、前記各ヒータ支持体上に面状ヒータをそれぞれ挿脱自在に配設し、配設した各面状ヒータ間にガラス基板加熱空間を形成したガラス基板用熱処理装置において、前記面状ヒータの先端部に、前記ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けるとともに、前記ヒータ支持体の奥側部に、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設け、さらに、当該ヒータ支持体の前側部に、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設した。
【００１４】
また、請求項２記載の本発明では、ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設け、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とした。
【００１５】
また、請求項３記載の本発明では、転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明に係るガラス基板用熱処理装置は、炉体内部に、面状ヒータを支持するレール状のヒータ支持体を多段に設けるとともに、前記各ヒータ支持体上に面状ヒータをそれぞれ挿脱自在に配設し、配設した各面状ヒータ間にガラス基板加熱空間を形成したものである。
【００１７】
しかも、前記面状ヒータにおいて、炉体内への挿入時に最初に挿入される側を先端部、他端側を後端部とすると、前記面状ヒータの先端部には、前記ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けている。
【００１８】
また、ヒータ支持体において、面状ヒータを炉体内に収容したときに同面状ヒータの先端部を支持する側を奥側部、他端側を前側部とすると、ヒータ支持体の奥側部には、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設けており、当該ヒータ支持体の前側部には、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設している。
【００１９】
従って、面状ヒータを炉体内に挿入したり引き出したりする際には、ヒータ側転動輪をヒータ支持体のヒータ支持面上で転動させるとともに、支持体側転動輪により面状ヒータを案内することにより、両転動輪により面状ヒータを繰り出して、面状ヒータを炉体の内外へ円滑に移動させることができる。従って、面状ヒータが大型化して、重量が大きくなったとしても、容易に面状ヒータを炉体に取り付け・取り外しすることができる。しかも、面状ヒータの重みによって作業者が不安定になり、面状ヒータの挿脱作業中に同面状ヒータを損傷させる危険性も少ない。
【００２０】
また、面状ヒータを炉体内に収容した際には、ヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に収容すると共に、支持体側転動輪を前記面状ヒータを案内するときの位置よりも下方に移動させて、面状ヒータをヒータ支持面に当接させることができ、各面状ヒータ間に形成されるガラス基板加熱空間の間で空気の流通が生じないようにして、各ガラス基板加熱空間内の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、ガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、歩留まり向上が見込まれる。
【００２１】
なお、本熱処理装置の熱処理対象となるガラス基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＬＣＤ用のカラーフィルター(ＣＦ)などであり、本熱処理装置は、かかる電子部品用途のものを熱処理する場合に好適に用いることができる。また、面状ヒータとしては、例えば遠赤外線を放射する面状ヒータを用いる。
【００２２】
また、前記ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設けて、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とすることもでき、かかる構成とすれば、簡単な構成によって支持体側転動輪を上下に移動させることができるので、破損しにくい構成でありながら、且つ低コストで設けることができる構成によって、支持体側転動輪の上下移動を行うことができる。
【００２３】
しかも、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とするので、スライド時には、支持体側転動輪によって面状ヒータを確実に繰り出すことができる。一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とするので、面状ヒータの収容時に、面状ヒータとヒータ支持体との間に隙間が生じるのを確実に防止することができる。
【００２４】
さらに、前記転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成することができ、かかる構成とすれば、転動輪収容凹部の傾斜に沿ってヒータ側転動輪を転動させることができ、容易に且つ円滑にヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に出し入れすることができる。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
図１は、本発明に係るガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉Ａの正面断面図であり、図示するように、本実施例における焼成炉Ａでは、箱型に形成した炉本体１の内周面に断熱材(図示せず)を貼設し、しかも、同炉本体１の内部に炉本体１の側壁1aから所定の間隔を空けて面状ヒータを立設している。
【００２７】
かかる立設させた面状ヒータを縦面状ヒータ２とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ２,２の一方には給気孔３を、他方には排気孔４を複数穿設しており、かかる給・排気孔３,４と方向が対応するように、前記炉本体１の対向する左右側壁1a,1aの一方には給気口５を、他方には排気口６を設けている。
【００２８】
また、上記左右側の縦面状ヒータ２,２には、それぞれ前後方向に伸延するレール状のヒータ支持体７を多段に配設し、同ヒータ支持体７によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ（以下、横面状ヒータ８という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ８,８間にガラス基板加熱空間Ｔを形成している。なお、図示するように、各ガラス基板加熱空間Ｔには、前記縦面状ヒータ２に穿設した給・排気口５,６がそれぞれ開口している。
【００２９】
さらに、各ガラス基板加熱空間Ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管を前後方向に伸延させており、同石英管は、横面状ヒータの上方に配設した石英管支持体により支持している。なお、石英管と石英管支持体の構造は、前記図１０に示すものと同様であり、図１では図示を省略している。
【００３０】
本実施例における焼成炉Ａは上記構成からなり、ここで、本発明の要旨ともなる横面状ヒータ８のスライド・収容構造についてさらに詳説する。横面状ヒータ８のスライド・収容構造とは、すなわち、横面状ヒータ８と、同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持体７との構造のことである。以下において、横面状ヒータ８は、炉本体１の内部への挿入時に最初に挿入される側を先端部8a、他端側を後端部8bとし、ヒータ支持体７は、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容したときに同横面状ヒータ８の先端部8aを支持する側を奥側部7a、他端側を前側部7bとして説明する。
【００３１】
横面状ヒータ８は、図４、図５に示すように、矩形板状に形成した面状ヒータ23を、同じく矩形板状に形成した上下２枚の赤外線放射板24,24によって両側から挟むと共に、かかる面状ヒータ23及び両赤外線放射板24,24の周縁部を断面視略コ字状のヒータ固定枠11で共に挟んでボルト12で固定することにより、単一の横面状ヒータ８となしている。
【００３２】
また、横面状ヒータ８の先端側左右端部には、後述するヒータ支持体７のヒータ支持面7c上をスライド可能なステンレス製のヒータ側転動輪13をそれぞれ取り付けている。
【００３３】
すなわち、図４、図５に示すように、断面視略コ字状である前記ヒータ固定枠11の縦片部11aに、ヒータ側転動輪13をステンレス製の回転軸14を介して回転自在に取り付けており、しかも、かかるヒータ側転動輪13の底部を横面状ヒータ８の下端よりも下方に位置させている。なお、ヒータ側転動輪13は、ヒータ支持体７との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。
【００３４】
ヒータ支持体７は、ステンレス製であり、図４、図５に示すように、縦面状ヒータ２の内側面に当接する第１縦片部7dと、同第１縦片部7dの下端から炉本体１の中央方向に向かって水平に突出する横片部7eと、同横片部7eの突出先端から下方に向かって垂直に垂下する第２縦片部7fとから正面視段状に形成すると共に、第１縦片部7dをボルト15で固定することにより縦面状ヒータ２に取り付けている。そして、前記横片部7eの上面を、実際に横面状ヒータ８と当接して同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持面7cとしている。
【００３５】
また、ヒータ支持体７の前側部7bには、矩形板状の転動輪取付片16を前記第２縦片部7fと平行となるように横片部7eに垂設して、同転動輪取付片16と第２縦片部7fとの間に上記横面状ヒータ８を案内可能なステンレス製の支持体側転動輪17を軸架している。なお、支持体側転動輪17は、横面状ヒータ８との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。図中、18は支持体側転動輪17との焼き付きを防止すべく耐熱性樹脂により形成したカラー、19は一端に把持部19aを設けたステンレス製の回転軸である。
【００３６】
図２、図３に示すように、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、上記転動輪取付片16と第２縦片部7fとにそれぞれ設けられた側面視略門状の軸受け孔20に係止される。すなわち、前記支持体側転動輪17の回転軸19は、略門状を成す軸受け孔20の２つの縦孔部20a,20cのどちらかに係止されるとともに、両縦孔部20a,20cを連絡する横孔部20bを介して両縦孔部20a,20c間を自由に移動可能である。
【００３７】
しかも、両縦孔部20a,20cは、一方（ここでは前側の縦孔部）が他方（ここでは奥側の縦孔部）よりも下方に長く伸延していて段違いになっており、より長い縦孔部を下段縦孔部20a、他方を上段縦孔部20cとすると、前記支持体側転動輪17は、その回転軸19を下段縦孔部20aと上段縦孔部20cとのどちらに係止するかによって上下位置が変わることとなる。かかる構成により、本実施例では、支持体側転動輪17を上下に自在に移動できるようにしている。
【００３８】
特に、支持体側転動輪17の直上方となるヒータ支持体７の横片部7eは開口させており、回転軸19を上段縦孔部20cに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも上方に位置し、回転軸19を下段縦孔部20aに係止したときには、支持体側転動輪17の頂部がヒータ支持面7cよりも下方に位置するようにしている。
【００３９】
このとき、軸受け孔20を設けた転動輪取付片16と第２縦片部7fとは、支持体側転動輪17の回転軸19を上下移動自在に支持する輪支持部21として作動し、簡単な構成でありながら確実に支持体側転動輪17を上下に移動させることができる。しかも、簡単な構成であるが故に、破損しにくく、且つ低コストで設けることができる。
【００４０】
また、ヒータ支持体７の奥側部7aには、横片部7eの復員の第１縦片部7d側を奥側部7aに向かって下方に傾斜させて、ヒータ側転動輪13を沈降状態に収納するための転動輪収納凹部22を設けている。
【００４１】
そして、本実施例では、横面状ヒータ８のスライド・収容構造を上述したような構造としたことにより、横面状ヒータ８は、以下のようにして炉本体１の内部に挿脱され（スライドされ）、載置される（収容される）。
【００４２】
すなわち、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に挿入するときには、図２に示すように、まず、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cに係止して、図４（ａ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させる。そして、図５（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図４（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図６（ａ）に示すように、両転動輪13,17を転動させつつ横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入する。
【００４３】
このとき、横面状ヒータ８は両転動輪13,17の転動によって炉本体１の内部へと繰り出されるので、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入することができる。
【００４４】
そして、横面状ヒータ８が炉本体１の内部へ深く挿入されて、ヒータ側転動輪13がヒータ支持体７の転動輪収納凹部22まで行き着くと、ヒータ側転動輪13は転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動しながら次第に下降し、最終的には、図５（ｂ）に示すように、これまでヒータ側転動輪13によってヒータ支持面7cの上方に持ち上げられていた横面状ヒータ８の先端部8aが、ヒータ支持面7cに当接する。
【００４５】
このように、ヒータ側転動輪13が転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されたら、次に、支持体側転動輪17の回転軸19を軸受け孔20の上段縦孔部20cから下段縦孔部20aへと移動させて、図４（ｂ）に示すように、支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも下方に沈降させる。これにより、図４（ｂ）、図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、横面状ヒータ８の下面をヒータ支持体７のヒータ支持面7cにぴったりと密着させて、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容・載置することができる。
【００４６】
しかも、前述の如く、横面状ヒータ８の下面とヒータ支持体７のヒータ支持面7cとの間には隙間が発生していないので、各横面状ヒータ８,８間に形成されるガラス基板加熱空間Ｔ同士の間で、空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間Ｔにおける温度分布にむらが生じるのを防止することができる。
【００４７】
なお、図３に示すような収容状態にある横面状ヒータ８を炉本体１の内部から引き出す場合には、軸受け孔20の下段縦孔部20aに係止されている支持体側転動輪17の回転軸19を上段縦孔部20cへと移動させて、図４（ａ）に示すように、再び支持体側転動輪17の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面7cよりも上方に突出させると共に、ヒータ支持体７の転動輪収納凹部22に沈降状態に収容されているヒータ側転動輪13を、横面状ヒータ８を引き出しながら転動輪収納凹部22の傾斜面22aに沿って転動させて、次第に転動輪収納凹部22の外部に上昇させる。
【００４８】
そして、図５（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪13をヒータ支持体７のヒータ支持面7c上に載置すると共に、図４（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪17の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図６（ａ）に示すように、両転動輪13,17の転動によって横面状ヒータ８を炉本体１の外部へと繰り出すのである。
【００４９】
このときも、前記横面状ヒータ８の挿入時と同様に、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の外部へ引き出すことができる。
【００５０】
なお、図４に示すように、支持体側転動輪17とそのカラー18とはある程度の接触面積を有するので、既に焼成炉Ａを作動させたことがあり、炉本体１の内部を加熱したことがある場合には、炉本体１の内部から横面状ヒータ８を引き出そうとしても、支持体側転動輪17とカラー18とが焼き付いていて、支持体側転動輪17を転動できないおそれがある。しかし、本実施例では、前述したように、焼き付きを防止すべく支持体側転動輪17のカラー18を耐熱性樹脂製としているので、例え炉本体１の内部を加熱した後であったとしても、支持体側転動輪17を円滑に転動させることができる。
【００５１】
ところで、本実施例では、上記した以外の構成として、図７及び図８に示すように、最上段に設けた横面状ヒータ８の外側面四隅に、放熱を防止するための放熱防止用被覆体25を設けている。
【００５２】
かかる放熱防止用被覆体25は、ステンレスを下端開口の箱状に形成したものであり、開口縁を最上段の横面状ヒータ８の外側面に沿ってフランジ状に伸延させて取付部25aを形成すると共に、同取付部25aをボルト26で横面状ヒータ８に固定している。
【００５３】
上記放熱防止用被覆体25を設けることによって、下方にしか他の横面状ヒータ８が存在しておらず、上下両側を別の横面状ヒータ８によって挟まれた横面状ヒータ８と比べて温度が上昇しにくい最上段の横面状ヒータ８においても、放熱を防いで他の横面状ヒータ８と同様に温度を上昇させることができる。そして、炉本体１の内部の温度分布にむらが生じるのを防止して、炉本体１の内部に収容された全てのガラス基板Ｂを均一に加熱し、温度差によってガラス基板Ｂの品質にばらつきが生じるのを防止することができる。
【００５４】
特に、本実施例では、放熱防止用被覆体25を下端開口の箱状に形成しているので、横面状ヒータ８からの熱を効率よく放熱防止用被覆体25の内部に蓄積して、横面状ヒータ８の温度を効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、例えば既存のガラス基板熱処理用装置に対しても、上記放熱防止用被覆体25を低コストで且つ簡単に付設することができる。
【００５５】
また、本実施例では、放熱防止用被覆体25は、横面状ヒータ８の四隅に設けているが、これは、図９に示すように、横面状ヒータ８を１〜３０の部位に分けた場合、四隅となる１、５、２６、３０の部位が他の部位と比べて温度が上昇しにくいからであり、本実施例のように、最上段の横面状ヒータ８において、四隅からの放熱を重点的に防止した場合には、効率よく最上段の横面状ヒータ８の温度を上昇させることができると共に、最上段の横面状ヒータ８における温度分布のむらを防止することができる。
【００５６】
また、本実施例では、前述の通り放熱防止用被覆体25をステンレスにより形成しているが、放熱防止用被覆体25の素材としてはこれに限らない。例えば耐熱性樹脂のような断熱性のある素材で放熱防止用被覆体25を形成すれば、横面状ヒータ８からの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体25の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００５７】
さらに、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８にのみ放熱防止用被覆体25を設けているが、これに限らず、放熱防止用被覆体25は、最上段の横面状ヒータ８と同じく温度が上昇しにくい最下段の横面状ヒータ８にも設けることができる。そして、最上段の横面状ヒータ８と最下段の横面状ヒータ８とのどちらか一方にのみ、或いは両方に放熱防止用被覆体25を設けることができる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明は、上記してきた態様で実施されるものであり、下記の効果を奏する。
【００５９】
（１）請求項１記載の本発明では、面状ヒータの先端部に、ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けるとともに、前記ヒータ支持体の奥側部に、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設け、さらに、当該ヒータ支持体の前側部に、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設したので、面状ヒータを炉体内に挿入したり引き出したりする際には、ヒータ側転動輪をヒータ支持体のヒータ支持面上で転動させるとともに、支持体側転動輪により面状ヒータを案内することにより、両転動輪により面状ヒータを繰り出して、面状ヒータを炉体の内外へ円滑に移動させることができる。従って、面状ヒータが大型化して、重量が大きくなったとしても、容易に面状ヒータを炉体に取り付け・取り外しすることができる。しかも、面状ヒータの重みによって作業者が不安定になり、面状ヒータの挿脱作業中に同面状ヒータを損傷させる危険性も少ない。
【００６０】
また、面状ヒータを炉体内に収容した際には、ヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に収容すると共に、支持体側転動輪を前記面状ヒータを案内するときの位置よりも下方に移動させて、面状ヒータをヒータ支持面に当接させることができ、各面状ヒータ間に形成されるガラス基板加熱空間の間で空気の流通が生じないようにして、各ガラス基板加熱空間内の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、ガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、歩留まり向上が見込まれる。
【００６１】
（２）請求項２記載の本発明では、ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設け、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能としたので、簡単な構成で支持体側転動輪を上下に移動させることができる。従って、支持体側転動輪を、破損しにくい構成でありながら、且つ低コストで設けることが可能な構成によって上下移動させることができる。しかも、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とするので、スライド時には、支持体側転動輪によって面状ヒータを確実に繰り出すことができる。一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能とするので、面状ヒータの収容時に、面状ヒータとヒータ支持体との間に隙間が生じるのを確実に防止することができる。
【００６２】
（３）請求項３記載の本発明では、転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成したので、転動輪収容凹部の傾斜に沿ってヒータ側転動輪を転動させることができ、容易に且つ円滑にヒータ側転動輪を転動輪収容凹部に出し入れすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉の正面断面図である。
【図２】同焼成炉におけるヒータのスライド状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はｉの拡大説明図、（ｃ）はiiの拡大説明図である。
【図３】同焼成炉におけるヒータの収容状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はiiiの拡大説明図、（ｃ）はivの拡大説明図である。
【図４】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はＩ−Ｉ線における断面説明図、（ｂ）はIII−III線における断面説明図である。
【図５】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はII−II線における断面説明図、（ｂ）はIV−IV線における断面説明図である。
【図６】ヒータの側面視による説明図であり、（ａ）はスライド状態を示す側面視による模式図、（ｂ）は収容状態を示す側面視による模式図である。
【図７】放熱防止用被覆体を示す正面断面視による説明図である。
【図８】放熱防止用被覆体の取付位置を示す斜視による説明図である。
【図９】横面状ヒータの各部位を示す説明図である。
【図１０】従来のガラス基板用熱処理装置の正面断面図である。
【図１１】従来のガラス基板用熱処理装置におけるヒータのスライド構造を示す側面視による説明図である。
【符号の説明】
Ａ 焼成炉
Ｂ ガラス基板
Ｔ ガラス基板加熱空間
１ 炉本体
２ 縦面状ヒータ
７ ヒータ支持体
7a 奥側部
7b 前側部
7c ヒータ支持面
８ 横面状ヒータ
8a 先端部
8b 後端部
13 ヒータ側転動輪
17 支持体側転動輪
21 輪支持部
22 転動輪収納凹部
Claims (3)
- 炉体内部に、面状ヒータを支持するレール状のヒータ支持体を多段に設けるとともに、前記各ヒータ支持体上に面状ヒータをそれぞれ挿脱自在に配設し、配設した各面状ヒータ間にガラス基板加熱空間を形成したガラス基板用熱処理装置において、
前記面状ヒータの先端部に、前記ヒータ支持体のヒータ支持面上をスライド可能なヒータ側転動輪を取り付けるとともに、前記ヒータ支持体の奥側部に、前記面状ヒータ収容時にヒータ側転動輪を沈降状態に収納する転動輪収納凹部を設け、さらに、当該ヒータ支持体の前側部に、前記面状ヒータを案内可能な支持体側転動輪を上下移動自在に配設したことを特徴とするガラス基板用熱処理装置。 - ヒータ支持体に、支持体側転動輪の回転軸を上下移動自在に支持する輪支持部を設け、面状ヒータのスライド時には支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも上方に位置させて面状ヒータの下面に当接可能とする一方、面状ヒータの収容時には、支持体側転動輪の頂部をヒータ支持面よりも下方に位置させて面状ヒータとヒータ支持体とを密着可能としたことを特徴とする請求項１記載のガラス基板用熱処理装置。
- 転動輪収納凹部は、ヒータ支持面の一部を奥側部に向かって下方に傾斜させることにより形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガラス基板用熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002307405A JP4071594B2 (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | ガラス基板用熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002307405A JP4071594B2 (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | ガラス基板用熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004144338A JP2004144338A (ja) | 2004-05-20 |
| JP4071594B2 true JP4071594B2 (ja) | 2008-04-02 |
Family
ID=32453874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002307405A Expired - Fee Related JP4071594B2 (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | ガラス基板用熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4071594B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101361815B1 (ko) | 2007-08-24 | 2014-02-11 | 세메스 주식회사 | 기판 가열 장치 |
| JP5270941B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2013-08-21 | 日本碍子株式会社 | 加熱炉 |
| JP5467743B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2014-04-09 | 光洋サーモシステム株式会社 | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
| JP2013032894A (ja) * | 2011-08-03 | 2013-02-14 | Showa Mfg Co Ltd | 熱処理炉 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001012856A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Hitachi Chemical Techno-Plant Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP3066387U (ja) * | 1999-08-05 | 2000-02-18 | 昭和鉄工株式会社 | 多段型ガラス基板焼成炉 |
| JP2001241849A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Showa Mfg Co Ltd | Ｐｄｐ基板焼成炉 |
| JP3614748B2 (ja) * | 2000-03-08 | 2005-01-26 | 株式会社デンコー | 熱処理装置 |
| JP3785036B2 (ja) * | 2000-10-24 | 2006-06-14 | エスペック株式会社 | 積載装置のワーク受け |
| JP4003205B2 (ja) * | 2001-01-10 | 2007-11-07 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
-
2002
- 2002-10-22 JP JP2002307405A patent/JP4071594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004144338A (ja) | 2004-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3833439B2 (ja) | 大型基板用多段加熱炉、及び両面加熱式遠赤外線パネルヒーター、並びに該加熱炉内の給排気方法 | |
| JP4071594B2 (ja) | ガラス基板用熱処理装置 | |
| CN101662853B (zh) | 加热单元及热处理装置 | |
| JP2007287717A (ja) | 加熱処理装置 | |
| JP4369107B2 (ja) | ガラス基板用熱処理装置 | |
| KR100787540B1 (ko) | 평면디스플레이 패널 제조용 진공건조장치 | |
| KR20070119516A (ko) | 래크, 래크 시스템, 열처리장치, 및 열처리 시스템 | |
| JP3578985B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2004251534A (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2003165735A (ja) | ガラス基板用熱処理装置 | |
| TW201037255A (en) | Heat treatment apparatus | |
| JP3648589B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| CN213084520U (zh) | 一种便于下料的铝型材模具运转装置 | |
| CN210765274U (zh) | 一种生物科技研究用菌落培养箱 | |
| WO2004083755A1 (ja) | 大型基板用多段式加熱装置 | |
| JP4896954B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2007173481A (ja) | 加熱装置 | |
| JP2000274955A (ja) | 熱処理装置 | |
| KR101661754B1 (ko) | 실크스크린판 건조기 | |
| KR20070020604A (ko) | 유지보수가 용이한 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버 | |
| CN220030909U (zh) | 一种bopp镭射膜熟化装置 | |
| CN214095333U (zh) | 一种电子元器件制造用烘烤装置 | |
| KR101243314B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| JP4912227B2 (ja) | 加熱処理装置 | |
| JP4008713B2 (ja) | ガラス基板用熱処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040826 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050907 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071214 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071218 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080117 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |