JP3066387U - 多段型ガラス基板焼成炉 - Google Patents

多段型ガラス基板焼成炉

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JP3066387U
JP3066387U JP1999005905U JP590599U JP3066387U JP 3066387 U JP3066387 U JP 3066387U JP 1999005905 U JP1999005905 U JP 1999005905U JP 590599 U JP590599 U JP 590599U JP 3066387 U JP3066387 U JP 3066387U
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glass substrate
infrared radiation
plates
infrared radiating
infrared
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JP1999005905U
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岩谷伸雄
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SHOWA MANUFACTURING CO., LTD.
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SHOWA MANUFACTURING CO., LTD.
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成が簡単で、故障等のおそれがなく、温度
分布特性が大幅に改善され、炉体の空隙にも、Ｎ2ガス
又は乾燥エアーを供給、予熱し、熱を有効に利用できる
多段型ガラス基板焼成炉を得ることにある。 【解決手段】 断熱材から成る炉体の内周に空隙を存し
て面状ヒータを挾んだ赤外線放射板を立設し赤外線放射
板の一方にガス供給孔を、他方に排気孔をもうけ、かつ
左右の両赤外線放射板間に同じく面状にヒータを挾んだ
数枚の赤外線放射板を所要間隔おきに水平に段設し、各
水平赤外線放射板間の空間に支持バーによりガラス基板
を受支したこと。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【考案の属する技術分野】
本考案は、炉体内に上下を赤外線放射板で挾んだ面状ヒータを段設した多段型 ガラス基板焼成炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の多段型ガラス基板焼成炉は炉体内に段設した面状ヒータではガラス基板 の両端部に熱の伝播が少なくなるのを防ぐため補強のためのヒータを設置してい る。ところが従来の補強ヒータはその構造が複雑で故障のおそれもあり、また、 温度分布特性が悪く、設置のために手数を要する等の欠陥があった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
本考案の課題は、前記従来技術の欠点を除き構成が簡単で、故障等のおそれが なく、加熱ガラス基板の面内温度分布特性を大幅に向上させることができ炉体の 空隙にも予熱ガスを供給し、熱を有効に利用できる多段型ガラス基板焼成炉を得 ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案の手段は次のとおりである。
【０００５】 断熱材から成る炉体の内周に空隙を存して面状ヒータを挾んだ赤外線放射板を 立設し赤外線放射板の一方にガス供給孔を、他方に排気孔を設け、かつ左右の両 赤外線放射板間に同じく面状ヒータを挾んだ数枚の赤外線放射板を所要間隔おき に水平に段設し、各水平赤外線放射板間の空間に支持バーによりガラス基板を受 支した多段型ガラス基板焼成炉。
【０００６】
【考案の実施の形態】
図について本考案に関わる多段型ガラス基板焼成炉の具体例を説明する。
【０００７】 １は断熱材で成形した炉体、２は炉体１の内周に空隙３を存して囲撓し、立設 した赤外線放射板でヒータ４を挾んであり、左右両側面の赤外線放射板２の一方 にチッソガスまたは乾燥空気の供給孔５を数箇所あけ、他方に排気孔６を同数開 孔してある。また炉体内には面状ヒータ１５を挾んだ赤外線放射板１６を所要間 隔置に水平に段設し両端に補強材７を取付け、各段の水平赤外線放射板１６間の 空間８に数個の支持バー９によりガラス基板１０を受支している。図中１４は扉 を示す。
【０００８】
【考案の効果】
本考案は以上のように、炉体の内周面にヒータを介装した赤外線放射板を立設 してあるため、各水平赤外線放射板のヒータにより十分に加熱されなかったガラ ス基板の両端を加熱し、簡単な構造により所期の目的を達成できる。
【０００９】 また板状のヒータを立設するので、温度特性は良好となり、予熱を利用するこ とで供給孔側の空隙に送るチッソガスまたは乾燥空気を炉外で温める必要はなく なる。
【図面の簡単な説明】
【図１】正面図。
【図２】一部の拡大断面図。
【図３】横断平面図。
【符号の説明】
１ 炉体 ２ 赤外線放射板 ３ 空隙 ４ 面状ヒータ ５ 供給孔 ６ 排気孔 ７ 補強材 ８ 空間（加熱チャンバー） ９ 支持バー １０ ガラス基板 １１ ヒータユニットガイド １２ ガス供給口 １３ 排ガス排気口 １４ 扉 １５ 水平面状ヒータ １６ 水平赤外線放射板

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 断熱材から成る炉体の内周に空隙を存し
    て面状ヒータを挾んだ赤外線放射板を立設し赤外線放射
    板の一方にガス供給孔を、他方に排気孔を設け、かつ左
    右の両赤外線放射板間に同じく面状ヒータを挾んだ数枚
    の赤外線放射板を所要間隔おきに水平に段設し、各水平
    赤外線放射板間の空間に支持バーによりガラス基板を受
    支した多段型ガラス基板焼成炉。
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