JP5848057B2 - ガラス基板用熱処理装置 - Google Patents
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Description
このように構成することにより、熱板の熱膨張を生起してもそれよりも小さい緊張手段の熱膨張率によって、熱板にテンションを掛けることができ、熱膨張による撓みを抑制することができる。このような構成により熱板の撓み防止を図ることができるので、熱板に厚みを増すなどの剛性を付与する構造を必要とせず、全体的に小型軽量化でき、炉体構造への重量負荷を可及的に低減することができ、かつ、熱板の段ピッチがその分小さくなり炉体の収納効率が高まる。
すなわち、熱板と面状ヒータの面積比は3:1程度が望ましい。
以下、実施例1に係る熱処理装置について、図面を参照しながら詳説する。
まず、熱板11は、図3Aに示すように、例えば押出成型法によって前述の通り中空金属製のケース状にしており、方形状のケース状体の内部に補強用リブを兼ねて熱板11の長手方向に多数の仕切壁16を設けている。
この発明の実施例2は、熱板11中に仕切壁16にて形成された長手状空間中に挿貫した補強材25によって、熱板11の熱膨張による変形や撓み等を防止するものである。
1 炉体
11 熱板
12 ワイヤ
25 補強材
32 ヒータ
36 熱膨張吸収機構
Claims (4)
- 炉体内部に配設したヒータで被処理物を加熱する熱処理装置において、
前記ヒータは発熱体よりなるヒータ本体を、中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、熱板の両端間に熱板よりも熱膨張率の小さい金属製の緊張手段を介設することにより熱板に圧縮方向の力を掛けるべく構成してなる熱処理装置。 - 緊張手段は、熱板の材料よりも高強度で熱膨張率の小さい金属であることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 炉体内部に配設したヒータで被加熱物を加熱する熱処理装置において、
前記ヒータは、発熱体よりなるヒータ本体を中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、補強材を熱板に貫通し、補強材の一側端部を炉体フレームに固定し、他側端部には熱膨張を吸収可能な熱膨張吸収機構を設けたことを特徴とする熱処理装置。 - 発熱体よりなるヒータ本体は、面状の短冊形状を有しており、熱板内への挿入本数により熱板に対する占有面積を自在に調整可能としたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の熱処理装置。
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