JP5462780B2 - マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラー - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 38
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 31
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 13
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 9
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical group CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/03—Microengines and actuators
- B81B2201/033—Comb drives
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0109—Bridges
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/05—Type of movement
- B81B2203/058—Rotation out of a plane parallel to the substrate
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
Claims (12)
- ミラーサポートと、対向するアンカーと、前記ミラーサポートを前記アンカーに接続する可撓性のあるヒンジを有する本体と、
前記ミラーサポートは、ミラー支持表面と、第1のコーム縁と、前記第1のコーム縁に対向する第2のコーム縁と、前記第1のコーム縁及び前記第2のコーム縁の各々から外向きに延出するコームフィンガと、を有しており、
第1の固定電極であって、前記ミラーサポートの前記第1のコーム縁から間隔をおかれ、前記ミラーサポートに向けて外向きに延出するコームフィンガを有して、前記第1のコーム縁の前記コームフィンガと相互作用し且つ前記可撓性のあるヒンジのまわりに第1の方向に前記本体の前記ミラーサポートの運動時にインターレースされ、印加される前に、前記第1のコーム縁に沿った前記コームフィンガが1つの水平平面に位置決めされ、前記第1の固定電極の前記コームフィンガは他の水平平面上にある第1の固定電極と、
第2の固定電極であって、前記ミラーサポートの前記第2のコーム縁から間隔をおかれ、前記ミラーサポートに向けて外向きに延出するコームフィンガを有して、前記第2のコーム縁の前記コームフィンガと相互作用し且つ前記可撓性のあるヒンジのまわりに第2の方向に前記本体の前記ミラーサポートの運動時にインターレースされ、印加される前に、前記第2のコーム縁に沿った前記コームフィンガが1つの水平平面に位置決めされ、前記第2の固定電極の前記コームフィンガは他の水平平面上にある第2の固定電極と、を備え、
前記ミラーサポートの前記第1のコーム縁に沿った前記コームフィンガは、前記ミラー支持表面に近接した前記第1のコーム縁に沿って位置決めされた上部コームフィンガであり、前記第2のコーム縁に沿った前記コームフィンガは、下にある表面に近接した前記第2のコーム縁に沿って位置決めされた下部コームフィンガである、
マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)用マイクロミラー。 - 前記第1の固定電極の前記コームフィンガは、前記上部コームフィンガよりも低い第1の水平平面上にあり、前記第2の固定電極の前記コームフィンガは、前記下部コームフィンガよりも高い第2の水平平面上にある、請求項1記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記第1の固定電極の前記コームフィンガ及び前記第2の固定電極の前記コームフィンガは、異なる水平平面上にある請求項1又は2記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記第1の固定電極の前記コームフィンガ及び前記第2の固定電極の前記コームフィンガは、同一水平平面上にある、請求項1又は2記載のMEMS用マイクロミラー。
- 少なくとも1つの機械的ストップが設けられて、操作中に前記本体の前記ミラーサポートがサイドスナッピングするのを防止する、請求項1〜4のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記ミラーサポートは、対向するテーパ状アームを有する、請求項1〜5のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記可撓性のあるヒンジは、V字形である、請求項1〜6のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記可撓性のあるヒンジは、テーパ状である、請求項1〜6のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記可撓性のあるヒンジは、ダブルビームヒンジである、請求項1〜6のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- 前記可撓性のあるヒンジは、前記マイクロミラーから離れて位置し、望ましくない横向きミラー回転を抑える、請求項1〜9のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。
- ミラー位置検知構造物を有し、
前記第1のコーム縁及び前記第2のコーム縁の各々から外向きに延出する複数のコームフィンガと、
第1及び第2の固定電極であって、前記ミラーサポートのミラー縁から間隔をおかれ、前記ミラーサポートに向けて外向きに延出するコームフィンガを有して、前記第1のミラー縁に対向した第1及び第2のミラー縁の前記コームフィンガと相互作用し、前記可撓性のあるヒンジのまわりに第1及び第2の方向に前記本体の前記ミラーサポートの運動時にインターレースされ、印加された回転の前に、前記第1のミラー縁に沿った前記コームフィンガは1つの水平平面上に位置決めされ、前記第1の固定電極の前記コームフィンガは他の水平平面上に位置決めされ、前記第2のミラー縁に沿った前記コームフィンガは1つの水平平面上に位置決めされ、前記第1の固定電極の前記コームフィンガは他の水平平面上に位置決めされる第1及び第2の固定電極と、
を備える、請求項1〜10のいずれかに記載のMEMS用マイクロミラー。 - キャパシタンス検出を使用して、前記第1及び第2の固定電極の前記フィンガに対する第1及び第2のミラー縁の前記フィンガの相対位置を検知する、請求項1〜11のいずれかに記載のミラー位置検知構造物。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US92152207P | 2007-04-04 | 2007-04-04 | |
US60/921,522 | 2007-04-04 | ||
PCT/IB2008/000811 WO2008122865A2 (en) | 2007-04-04 | 2008-04-01 | Micro-electro-mechanical system micro mirror |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013127372A Division JP5778212B2 (ja) | 2007-04-04 | 2013-06-18 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラーを製造する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010525377A JP2010525377A (ja) | 2010-07-22 |
JP5462780B2 true JP5462780B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=39826644
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010501610A Active JP5462780B2 (ja) | 2007-04-04 | 2008-04-01 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラー |
JP2013127372A Active JP5778212B2 (ja) | 2007-04-04 | 2013-06-18 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラーを製造する方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013127372A Active JP5778212B2 (ja) | 2007-04-04 | 2013-06-18 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラーを製造する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7535620B2 (ja) |
JP (2) | JP5462780B2 (ja) |
WO (1) | WO2008122865A2 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008092060A2 (en) * | 2007-01-26 | 2008-07-31 | Miradia Inc. | A mems mirror system for laser printing applications |
DE102009000168B4 (de) * | 2009-01-13 | 2017-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Strukturen und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur |
US8238018B2 (en) * | 2009-06-01 | 2012-08-07 | Zhou Tiansheng | MEMS micromirror and micromirror array |
US9036231B2 (en) | 2010-10-20 | 2015-05-19 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
US10551613B2 (en) | 2010-10-20 | 2020-02-04 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
KR20120102387A (ko) * | 2011-03-08 | 2012-09-18 | 삼성전자주식회사 | 표시 장치와 이의 제조 방법 |
US9385634B2 (en) | 2012-01-26 | 2016-07-05 | Tiansheng ZHOU | Rotational type of MEMS electrostatic actuator |
JP6234750B2 (ja) * | 2013-09-12 | 2017-11-22 | 株式会社豊田中央研究所 | 静電容量型アクチュエータアレイの駆動回路 |
JP6412878B2 (ja) * | 2013-11-07 | 2018-10-24 | 住友精密工業株式会社 | 電子部品の製造方法 |
DE102013225364A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-11 | Robert Bosch Gmbh | Kammantrieb mit einem verschwenkbaren Spiegelelement |
US9036230B1 (en) * | 2013-12-24 | 2015-05-19 | Chen-Chi Lin | Torsional electrostatic combdrive with increased stiffness |
US10182288B2 (en) * | 2015-01-08 | 2019-01-15 | Korea University Of Technology And Education Industry-University Cooperation Foundation | Microphone |
CN105607249B (zh) * | 2015-12-21 | 2018-06-26 | 西安励德微系统科技有限公司 | 一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜 |
JP7112876B2 (ja) | 2017-07-06 | 2022-08-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
JP7174697B2 (ja) * | 2017-07-06 | 2022-11-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
WO2019009397A1 (ja) | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
JP6503151B1 (ja) | 2017-07-06 | 2019-04-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
US10162119B1 (en) | 2017-09-15 | 2018-12-25 | Northrop Grumman Systems Corporation | Micro-beam shaping optics (MBSO) |
EP4160295A1 (en) | 2017-11-15 | 2023-04-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device production method |
US10429590B1 (en) * | 2018-05-21 | 2019-10-01 | Dicon Fiberoptics, Inc. | Damping mechanism for micro-electro-mechanical systems (MEMS) structures, including tilting mirror devices used in optical components |
WO2020173919A2 (de) | 2019-02-27 | 2020-09-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische struktur, mikromechanisches system und verfahren zum bereitstellen einer mikromechanischen struktur |
CN110879466A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-03-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种实现低频大角度mems扫描镜的装置 |
CN111204701B (zh) * | 2020-01-09 | 2023-05-23 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜 |
CN111381073B (zh) * | 2020-05-01 | 2021-11-30 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | Mems加速度计及其提高抗冲击能力的方法 |
CN114690400B (zh) * | 2020-12-29 | 2023-05-02 | 极米科技股份有限公司 | 一种静电力驱动方式的振镜 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB150052A (en) | 1919-05-24 | 1920-08-24 | Edward Cecil Villiers | Improvements in trolleys, travellers or the like for use in cleaning ships' hulls and other purposes |
GB254654A (en) | 1926-03-26 | 1926-07-08 | Leslie John Hancock | Improvements in or relating to portable flame cutting machines for metal |
GB467264A (en) | 1934-11-10 | 1937-06-09 | Georges Konstantin Kyriakopoul | Electromagnetic apparatus especially for cleaning, painting and otherwise treating submerged parts of metal vessels |
FR861432A (fr) | 1938-11-19 | 1941-02-08 | Air Liquide | Chariot porte-outil pour travail dans toutes positions |
JPS59230872A (ja) | 1983-06-13 | 1984-12-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 磁石式台車 |
JPS608169A (ja) | 1983-06-24 | 1985-01-17 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 磁気吸着式壁面走行車 |
JPS6092176A (ja) | 1983-10-26 | 1985-05-23 | Osaka Kiko Co Ltd | 壁面吸着走行ロボツトの操舵装置 |
FR2689479B1 (fr) | 1992-04-02 | 1998-07-03 | Barras Provence | Vehicule d'inspection et/ou d'intervention capable de se deplacer sur des parois verticales inclinees ou en plafond. |
US6780180B1 (en) | 1995-06-23 | 2004-08-24 | Gyrus Medical Limited | Electrosurgical instrument |
US5739941A (en) * | 1995-07-20 | 1998-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Non-linear hinge for micro-mechanical device |
US6275320B1 (en) | 1999-09-27 | 2001-08-14 | Jds Uniphase, Inc. | MEMS variable optical attenuator |
US6744173B2 (en) * | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
DE50008036D1 (de) | 2000-04-10 | 2004-11-04 | Synthes Ag | Osteosynthetisches verankerungselement |
US6963679B1 (en) | 2000-05-24 | 2005-11-08 | Active Optical Networks, Inc. | Micro-opto-electro-mechanical switching system |
US7079299B1 (en) | 2000-05-31 | 2006-07-18 | The Regents Of The University Of California | Staggered torsional electrostatic combdrive and method of forming same |
US6954579B2 (en) | 2000-09-19 | 2005-10-11 | Ying Wen Hsu | Method and apparatus for changing the optical intensity of an optical signal using a movable light transmissive structure |
US6628856B1 (en) | 2000-09-27 | 2003-09-30 | Dicon Fiberoptics, Inc. | Optical switch |
JP3923265B2 (ja) | 2001-02-15 | 2007-05-30 | 古河電気工業株式会社 | 可変光減衰器 |
US6838738B1 (en) | 2001-09-21 | 2005-01-04 | Dicon Fiberoptics, Inc. | Electrostatic control of micro-optical components |
US6751395B1 (en) | 2001-11-09 | 2004-06-15 | Active Optical Networks, Inc. | Micro-electro-mechanical variable optical attenuator |
KR100401109B1 (ko) | 2001-12-06 | 2003-10-10 | 삼성전기주식회사 | 가변 광감쇄기 |
JP3987382B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2007-10-10 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子およびその製造方法 |
US6915061B2 (en) | 2002-11-07 | 2005-07-05 | Oplink Communications, Inc. | Variable optical attenuator with MEMS devices |
KR100483047B1 (ko) | 2002-12-26 | 2005-04-18 | 삼성전기주식회사 | Mems 가변 광감쇄기 |
US6914711B2 (en) | 2003-03-22 | 2005-07-05 | Active Optical Networks, Inc. | Spatial light modulator with hidden comb actuator |
KR100576846B1 (ko) | 2003-04-07 | 2006-05-10 | 삼성전기주식회사 | Mems 가변 광감쇄기 |
CN100515921C (zh) * | 2003-04-25 | 2009-07-22 | 富士通株式会社 | 微型结构体的制造方法以及微型结构体 |
US7177063B2 (en) * | 2003-08-12 | 2007-02-13 | Terraop Ltd. | Bouncing mode operated scanning micro-mirror |
US6996306B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-02-07 | Asia Pacific Microsystems, Inc. | Electrostatically operated micro-optical devices and method for manufacturing thereof |
JP4353039B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2009-10-28 | パナソニック電工株式会社 | 半導体構造の製造方法 |
EP1557703B1 (en) | 2004-01-26 | 2006-09-27 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Actuator with comb-shaped electrode |
JP2005205578A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Koshin Kogaku Kogyo Kk | 櫛歯型アクチュエータ |
JP2006136084A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Canon Inc | 揺動体装置、及びその作製方法 |
US6980727B1 (en) | 2004-12-13 | 2005-12-27 | Xerox Corporation | Methodology for a MEMS variable optical attenuator |
KR100695153B1 (ko) * | 2005-06-15 | 2007-03-14 | 삼성전자주식회사 | 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터 |
US7357874B2 (en) | 2006-04-12 | 2008-04-15 | Jds Uniphase Corporation | Staggered vertical comb drive fabrication method |
-
2007
- 2007-10-17 US US11/873,771 patent/US7535620B2/en active Active
-
2008
- 2008-04-01 JP JP2010501610A patent/JP5462780B2/ja active Active
- 2008-04-01 WO PCT/IB2008/000811 patent/WO2008122865A2/en active Application Filing
-
2013
- 2013-06-18 JP JP2013127372A patent/JP5778212B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080247029A1 (en) | 2008-10-09 |
JP2010525377A (ja) | 2010-07-22 |
WO2008122865A3 (en) | 2011-04-21 |
JP2013231983A (ja) | 2013-11-14 |
US7535620B2 (en) | 2009-05-19 |
JP5778212B2 (ja) | 2015-09-16 |
WO2008122865A2 (en) | 2008-10-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
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|
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