JP2013231983A - マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラーを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロミラー21は、ミラーサポートと、対向するアンカー17,18と、ミラーサポートをアンカーに接続する可撓性のあるヒンジ26,27と、を有する本体を含む。ミラーサポートは、コームフィンガを備えた対向するコーム縁を有する。固定電極19,20は、ミラーサポートの可動コームフィンガ23,25と相互作用する固定コームフィンガ22,24を有し、コーム縁から間隔をおかれる。ミラー支持表面のコーム縁の各々に沿ったコームフィンガは、静電気作動を最大限にするように、電極のコームフィンガとは異なる水平平面に位置決めされる。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- ミラーサポートと、対向するアンカーと、前記ミラーサポートを前記アンカーに接続する可撓性のあるヒンジとを有する本体から構成され、前記ミラーサポートのコームは、前記アンカーのコームと相互作用を行い、
シリコンウエハを使用し、
前記ミラーサポートの上部と、前記対向するアンカーの上部と、前記ヒンジの上部と、シリコンウエハの一対の上部コームと、を形成するために、フォトリソグラフィ及び部分シリコンエッチングを使用し、
部分的にエッチングされたシリコンウエハをキャリアウエハに結合し、
前記ミラーサポートの下部と、前記対向するアンカーの下部と、前記ヒンジの下部と、前記シリコンウエハの一対の下部コームと、を形成するために、フォトリソグラフィ及び部分シリコンエッチングを使用し、
ドライエッチングプロセスを使用して、前記マイクロミラー、支持及び関連可動コームフィンガを剥離すること、
から成るマイクロミラーを製造する方法。 - 前記部分シリコンエッチング工程は、ディープリアクティブイオンエッチング(DRIE)で行われる請求項1記載の方法。
- 電気的絶縁コーティングを有する前記キャリアウエハは、熱酸化物フィルム、窒化ケイ素フィルム、または、他の誘電性薄膜の1つである、請求項1又は2記載の方法。
- 前記シリコンウエハは、SOIウエハである、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 回転中に前記ミラーサポートの圧搾空気減衰を避けるために、前記ミラーサポートの下にある前記キャリアウエハのものの穴またはキャビティの一方を形成する工程を含む、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 帯電を避けるために、前記ミラーサポートの下にある前記キャリアウエハのもののキャビティの底部表面に薄いメタルフィルム電極を形成する工程を含む、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 追加静電気作動を形成するために、前記ミラーサポートの下にある前記キャリアウエハのその部分でキャビティの底部表面に薄いメタルフィルム電極を形成する工程を含む、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記シリコンウエハを前記キャリアウエハに結合する工程は、融着、陽極接合、または、エポキシ結合の1つを使用して行われる、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記熱酸化物フィルムを使用してDRIE用の材料をマスクし、上部コームフィンガ及び下部コームフィンガを形成する、請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 前記ミラー表面に残留応力が低く反射性が高い薄いメタルフィルムを形成し且つ結合パッド区域により厚く導電性が高いメタルフィルムを形成する工程を含む、請求項1〜9のいずれかに記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US92152207P | 2007-04-04 | 2007-04-04 | |
US60/921,522 | 2007-04-04 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010501610A Division JP5462780B2 (ja) | 2007-04-04 | 2008-04-01 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013231983A true JP2013231983A (ja) | 2013-11-14 |
JP5778212B2 JP5778212B2 (ja) | 2015-09-16 |
Family
ID=39826644
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010501610A Active JP5462780B2 (ja) | 2007-04-04 | 2008-04-01 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラー |
JP2013127372A Active JP5778212B2 (ja) | 2007-04-04 | 2013-06-18 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラーを製造する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010501610A Active JP5462780B2 (ja) | 2007-04-04 | 2008-04-01 | マイクロエレクトロメカニカルシステム用マイクロミラー |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7535620B2 (ja) |
JP (2) | JP5462780B2 (ja) |
WO (1) | WO2008122865A2 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10551613B2 (en) | 2010-10-20 | 2020-02-04 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
US9036231B2 (en) | 2010-10-20 | 2015-05-19 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
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-
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- 2007-10-17 US US11/873,771 patent/US7535620B2/en active Active
-
2008
- 2008-04-01 WO PCT/IB2008/000811 patent/WO2008122865A2/en active Application Filing
- 2008-04-01 JP JP2010501610A patent/JP5462780B2/ja active Active
-
2013
- 2013-06-18 JP JP2013127372A patent/JP5778212B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010525377A (ja) | 2010-07-22 |
JP5778212B2 (ja) | 2015-09-16 |
WO2008122865A3 (en) | 2011-04-21 |
US7535620B2 (en) | 2009-05-19 |
JP5462780B2 (ja) | 2014-04-02 |
US20080247029A1 (en) | 2008-10-09 |
WO2008122865A2 (en) | 2008-10-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140228 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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