JP5462028B2 - 露光装置、露光方法及び基板の製造方法 - Google Patents
露光装置、露光方法及び基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
(1)基板を水平面内の所定方向であるX方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記X方向と直交するY方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記マスク保持部の前記マスクを交換すべく、前記各マスク保持部の下面と対向可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備える露光装置であって、
前記マスクチェンジャーは、前記マスクトレー部に載置される前記マスクを、前記X方向及び前記X方向及びY方向と直交するZ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構を備えることを特徴とする露光装置。
(2)前記駆動機構は、前記マスクトレー部の中間部に対してY方向に対称にそれぞれ配置される一対のX方向駆動機構を備え、
該一対のX方向駆動機構は、前記マスクが載置される前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ同期してX方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記X方向に駆動し、前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ相対的にX方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記θ方向に駆動することを特徴とする上記(1)に記載の露光装置。
(3)前記駆動機構は、前記マスクトレー部のY方向中間部に配置され、前記マスクトレー部の載置部に載置される前記マスクをX方向に駆動するX方向駆動機構と、前記載置部に載置される前記マスクを少なくとも180°回転可能な回転駆動機構と、を備えることを特徴とする上記(1)に記載の露光装置。
(4)前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部をさらに備え、
前記マスク駆動部は、前記Y方向に前記マスク保持部を駆動するY軸駆動機構と、前記Z方向に前記マスク保持部を駆動するZ軸駆動機構と、を備えることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載の露光装置。
(5)前記マスクチェンジャーには、交換用アライメントカメラが設けられるとともに、前記マスク保持部には、アライメント用マークが設けられ、
前記マスクチェンジャーは、交換用アライメントカメラが前記マスクトレー部に載置された前記マスクと前記マスク保持部のアライメント用マークとを確認しながら、前記マスクを前記マスク保持部に吸着保持することを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれかに記載の露光装置。
(6)基板を水平面内の所定方向であるX方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記X方向と直交するY方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備える露光装置であって、
アライメントカメラとギャップセンサの少なくとも一方の検出系を支持する検出系支持部と、前記複数のマスク保持部の下方に前記Y方向に沿って延び、該検出系支持部を前記Y方向に案内する検出系駆動軸と、前記検出系支持部を前記検出系駆動軸に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えることを特徴とする露光装置。
(7)前記検出系駆動機構は、前記ギャップセンサを上下方向に駆動可能であることを特徴とする上記(6)に記載の露光装置。
(8)上記(1)〜(7)のいずれかに記載の露光装置を用いることを特徴とする露光方法。
(9)上記(8)に記載の露光方法によって基板を露光することを特徴とする基板の製造方法。
図1及び図2に示すように、本実施形態のスキャン露光装置1は、基板Wを浮上させて支持すると共に、所定方向(図1のX方向)に搬送する基板搬送機構10と、マスクMをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向(図1のY方向)に沿って千鳥状に二列配置された複数(図1に示す実施形態において、左右それぞれ6個)のマスク保持部11と、複数のマスク保持部11をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部12と、複数のマスク保持部11の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部14と、露光装置1の各作動部分の動きを制御する制御部15と、を主に備える。
また、検出系駆動機構は、ギャップセンサ54を上下方向に駆動可能であるので、精度よくマスクMと基板Wのギャップを検出することができる。
図6は本発明の第2実施形態に係るマスクチェンジャーの一方のマスクトレー部拡大図であり、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は右側面図である。
その他の構成及び作用については、本発明の第1実施形態と同様である。
2 マスクチェンジャー
10 基板搬送機構
11,11a,11b マスク保持部
12 マスク駆動部
14 照射部
31 Z軸駆動機構
32 Y軸駆動機構
33 マスクトレー部
35A,35B X方向駆動機構(駆動機構)
36 交換用アライメントカメラ
37 載置部
38 X方向駆動機構(駆動機構)
39 回転駆動機構
51 検出系支持部
52 検出系駆動軸
53 アライメントカメラ
54 ギャップセンサ
EL 露光用光
M マスク
P1,P2 パターン
W 基板
Claims (9)
- 基板を水平面内の所定方向であるX方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記X方向と直交するY方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記マスク保持部の前記マスクを交換すべく、前記各マスク保持部の下面と対向可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備える露光装置であって、
前記マスクチェンジャーは、前記マスクトレー部に載置される前記マスクを、前記X方向及び前記X方向及びY方向と直交するZ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記駆動機構は、前記マスクトレー部の中間部に対してY方向に対称にそれぞれ配置される一対のX方向駆動機構を備え、
該一対のX方向駆動機構は、前記マスクが載置される前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ同期してX方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記X方向に駆動し、前記マスクトレー部の載置部をそれぞれ相対的にX方向に駆動することで、前記載置部に載置された前記マスクを、前記θ方向に駆動することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記駆動機構は、前記マスクトレー部のY方向中間部に配置され、前記マスクトレー部の載置部に載置される前記マスクをX方向に駆動するX方向駆動機構と、前記載置部に載置される前記マスクを少なくとも180°回転可能な回転駆動機構と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部をさらに備え、
前記マスク駆動部は、前記Y方向に前記マスク保持部を駆動するY軸駆動機構と、前記Z方向に前記マスク保持部を駆動するZ軸駆動機構と、を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の露光装置。 - 前記マスクチェンジャーには、交換用アライメントカメラが設けられるとともに、前記マスク保持部には、アライメント用マークが設けられ、
前記マスクチェンジャーは、交換用アライメントカメラが前記マスクトレー部に載置された前記マスクと前記マスク保持部のアライメント用マークとを確認しながら、前記マスクを前記マスク保持部に吸着保持することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の露光装置。 - 基板を水平面内の所定方向であるX方向に搬送する基板搬送機構と、
パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記水平面内で前記X方向と直交するY方向に沿って配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備える露光装置であって、
アライメントカメラとギャップセンサの少なくとも一方の検出系を支持する検出系支持部と、前記複数のマスク保持部の下方に前記Y方向に沿って延び、該検出系支持部を前記Y方向に案内する検出系駆動軸と、前記検出系支持部を前記検出系駆動軸に沿って駆動する検出系駆動機構と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記検出系駆動機構は、前記ギャップセンサを上下方向に駆動可能であることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の露光装置を用いることを特徴とする露光方法。
- 請求項8に記載の露光方法によって基板を露光することを特徴とする基板の製造方法。
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