JP4748391B2

JP4748391B2 - 搬送装置

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Publication number: JP4748391B2
Application number: JP2006078685A
Authority: JP
Inventors: 伸仁佐治
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2006-03-22
Filing date: 2006-03-22
Publication date: 2011-08-17
Anticipated expiration: 2026-03-22
Also published as: JP2007256450A

Description

本発明は、搬送装置に関し、例えば液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイの基板上にマスクのマスクパターンを露光転写するのに好適な露光装置に用いられる搬送装置に関する。

大型の薄形テレビ等に用いられる液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイは、基板上にマスクのパターンを分割逐次露光方式で近接露光転写することで製造される。従来のこの種の分割逐次露光装置としては、例えば、被露光材としての基板より小さいマスクを用い、該マスクをマスクステージで保持すると共に基板をワークステージで保持して両者を近接して対向配置し、この状態でワークステージをマスクに対してステップ移動させて各ステップ毎にマスク側から基板にパターン露光用の光を照射することにより、マスクに描かれた複数のマスクパターンを基板上に露光転写して一枚の基板に複数のディスプレイ等を作成するようにしたものが知られている（特許文献１、２参照）。
特許第２６７２５３５号明細書特開平１−１５５３５４号公報

ところで、近接露光転写を行う場合においては、一般的に製品と同寸のパターンを有するマスクを用いている。しかるに、近年の薄形テレビ等はユーザーの嗜好に対応して画面が大型化する傾向があるが、それに応じて基板に露光転写されるパターン領域も大きくなるため、露光転写に用いるマスクも大型のものを用いる必要が生じている。ところが、マスクは大型化するにつれてコストが顕著に増大するという問題がある。加えて、マスクは石英などの脆性材料で形成されることが多く、取り扱いの不備等により破損を招きやすいため、それもコスト高を加速する要因となっている。

これに対し、マスクを細分化してライン状に配置し、基板を一方向に移動させつつ分割して露光を行う新規な分割露光方式が検討されている。かかる露光方式は、基板に形成されるパターンに、ある程度繰り返される部位があることを前提として、これをつなぎ合わせることで大きなパターンを形成できることを利用したものである。このような分割露光方式によれば、高価なマスクを採用する必要はなく、比較的安価なマスクを用いて、基板に大きなパターンを露光転写することができる。

ところで、かかる分割露光方式においては、複数のマスクを用いる必要がある。一方、マスクは比較的短いサイクルで洗浄などのメンテナンスを行わないと、適切な露光を行えないという実情もある。従って、露光装置の稼働率を高めるためには、使用したマスクを、いかに効率的に露光装置から回収し、且つ洗浄等したマスクを、いかに効率的に露光装置に装填するかが大きな課題となっている。

しかるに、露光装置において、マスクの交換を行う場合、１ラインの搬送路に沿って移動する一般的な搬送装置は、１回目の往復動作で、使用されていたマスクを受け渡し位置から回収してマスクストッカに収容し、２回目の往復動作で、マスクストッカに収容されている未使用のマスクを受け渡し位置に搬送するため、２回の往復動作が必要となっている。従って、マスクの回収と装着に時間がかかるという問題がある。

そこで本発明は、かかる従来技術の課題に鑑み、複数のマスクを露光装置から効率的に回収し又分配できる搬送装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明の搬送装置は、パターンを形成したマスクを介して露光用光を照射することによって、移動可能に保持された基板に前記パターンの露光を行う露光装置において用いられる搬送装置において、
マスクストッカとの間で受け渡しされた複数のマスクを搭載し、前記基板の移動方向に対して交差するように延在する１ラインの搬送路に沿って移動して、複数の受け渡し位置で分配装置にマスクを受け渡すようになっており、
前記受け渡し位置を挟んで、前記搬送路に沿った一方の端側で前記マスクストッカとの間で前記マスクの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、前記搬送路に沿った他方の端側で待機することを特徴とする。

本発明によれば、前記搬送装置が、前記受け渡し位置を挟んで、前記搬送路に沿った一方の端側で前記マスクストッカとの間で前記マスクの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、前記搬送路に沿った他方の端側で待機するので、待機位置からマスクストッカに向かう動作で使用済みマスクの回収を行い、マスクストッカから待機位置に向かう動作で未使用マスクの搬送を行えるため、１往復動作でマスクの回収及び装着を実現でき、必要な時間を短縮することができる。

前記露光装置は、前記基板を駆動する基板チャックを、前記基板の移動方向に対して片側又は両側に設けており、前記搬送装置は、前記分配装置に対して重力方向上方に配置された移動部と、前記移動部に対して重力方向下方に配置された前記マスクを搭載するトレー部と、前記移動部と前記トレー部とを連結する連結部と、前記移動部を駆動する駆動部とを有すると、待機状態にある前記搬送装置が前記基板チャックや前記駆動部等と干渉することが抑制される。前記基板を駆動する基板チャックは、前記基板の移動方向に対して両側に設けられることもある。

前記トレー部は、前記マスクを搭載したときに、その自重により前記基板の支持面に対して平行に近づくように変形する初期形状を有すると、前記マスクを搭載しない状態では前記基板の支持面との接触が回避されるので好ましい。

前記トレー部に対して、重力方向下方より流体を吐出する吐出手段が設けられていると、前記マスクを搭載した状態で前記基板の支持面との接触が回避されるので好ましい。

前記トレー部は、前記連結部を挟んで一方の側に前記マスクを搭載する第１の搭載位置を有し、他方の側に前記マスクを搭載する第２の搭載位置とを有し、前記分配装置は、前記基板の移動方向に対して前記搬送路の一方の側に配置され、所定位置に移動した前記搬送装置の前記第１搭載位置から、１つ以上の前記マスクを分配する第１分配装置と、前記搬送路の他方の側に配置され、前記基板の移動方向に対して所定位置に移動した前記搬送装置の前記第２搭載位置から、１つ以上の前記マスクを分配する第２分配装置とを含むと、前記搬送トレーの重量バランスがとれるとともに、同時に複数のマスクの回収又は装着が可能となる。

以下、図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる露光装置の上面図であり、図２は、本実施の形態にかかる露光装置の露光時の状態を示す側面断面図である。

図１において、ベース１上で、大版薄板状の基板Ｗは、片側（図１で上側）に配置された基板チャック２により把持され、レール２ａに沿って不図示の駆動部により駆動され、基板チャック２と共に左から右に移動可能となっている。ベース１上には、マスクＭを吸着保持する保持装置１０Ａ、１０Ｂが、搬送ライン（搬送路ともいう）Ｌを挟んで左側（上流側）に６個、右側（下流側）に５個（計１１個）配置されている。保持装置１０により保持された基板Ｗに比較すると小型のマスクＭは、搬送ラインＬを挟んで千鳥状に配置される。搬送ラインＬの左側に配置された保持装置１０Ａにより第１分配装置を構成し、搬送ラインＬの右側に配置された保持装置１０Ｂにより第２分配装置を構成する。

各保持装置１０は、ベース１上でＸ軸方向となる図２の左右方向（図１の搬送ラインＬに対して直交する方向であり、基板ＷはＸ軸方向に沿って左から右へと移動するものとする）に不図示のフレームに対して移動可能に配置されたアーム１１と、アーム１１の先端に配置され、下面にマスクＭを吸着保持する保持部１２と、アーム１１に対して保持部１２をＺ軸方向（図２でＺ軸方向となる上下方向）に駆動するＺ軸移動装置１３と、ベース１の上面の法線回りに保持部１２を回転駆動するθ軸移動装置１４と、アーム１１に対して保持部１２をＹ軸方向（図２で紙面垂直方向）に駆動するＹ軸移動装置１５とを有する。保持部１２は、矩形開口１２ａを有している。

ベース１には、基板Ｗの下面に対向して、Ｘ軸方向に距離Ｄで隔置配置された吐出吸引ユニット（吐出手段）３Ａ、３Ｂを取り付けている。一方の吐出吸引ユニット３Ａは、図２に示すように、ベース１のスリット１ａの片側に固定したユニット本体４の下面から上面に貫通する多数の吐出孔５を、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に沿って２列平行配置で、かつ、ユニット本体４の長辺に沿って穿設している。また、上記２列平行配置の吐出孔５の中間位置にはＹ軸方向に沿って凹溝６が設けられ、かつ、凹溝６からユニット本体４の下面に貫通する多数の吸引孔７を設けている。他方の吐出吸引ユニット３Ｂも、前記一方の吐出吸引ユニット３Ａと同様に構成されている。更に、前記一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吐出孔５の下端には、図２に示すように、配管群Ｈ１を介してエア吐出系（エアレギュレータ）８、吐出用ポンプＰ１が接続され、また、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吸引孔７の下端には、配管群Ｈ２を介してエア吸引系（エアレギュレータ）９、吸引用ポンプＰ２が接続されている。尚、保持装置１０Ｂの下方にも、同様な吐出吸引ユニットが設けられている。

本実施の形態の露光装置を用いて行う分割露光動作時には、まず不図示の駆動部より、レール２ａに沿って、基板チャック２と共に基板Ｗを左から右に移動する。このとき、不図示の制御部により吐出用ポンプＰ１を駆動し、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吐出孔５から基板Ｗの下面側に空気吐出を行う。これにより、基板Ｗは一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面から浮上した状態でＸ軸方向により搬送されることになり、基板Ｗの下面側に傷等が付くことを防止でき、基板Ｗの下面保護を図ることができる。

基板Ｗを所定位置に移動させた後静止させ、上方の露光ユニットＯＰＵから露光用光ＥＬを投射すると、かかる露光用光ＥＬは、保持装置１０Ａ，１０Ｂにより保持されたマスクＭを通過し、そのパターンを基板Ｗに露光転写する。基板Ｗの露光転写エリアは、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの間となっており、不図示の制御部により吸引用ポンプＰ２が駆動され、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吸引孔７から空気吸引を行う。これにより、基板Ｗは一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面に吸着されて位置決め固定される状態となり、振動を極力排除した状態下で、露光転写を高精度で行うことが可能となる。一つのマスクＭでの露光転写が終了すると、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの吸引動作が中断され、ワンステップだけ基板Ｗを移動させた後静止させ、更に一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの吸引動作を開始し、次の露光転写を行うことができる。このとき、基板Ｗの移動誤差によるパターンのズレは、保持装置１０のＺ軸移動装置１３、θ軸移動装置１４，Ｘ軸移動装置１５、及びＺ軸方向に可動のアーム１１により、マスクＭの位置を微調整することで補正することができる。同様にして、分割露光転写を繰り返し行うことで、基板Ｗ全体にパターンの露光を行うことができる。なお、本実施の形態において、搬送ラインＬの両側で保持されたマスクＭが千鳥状に配置されてるので、搬送ラインＬの片側におけるマスクＭが隔置して並べられていても、基板Ｗ上に隙間なくパターンを形成することができる。又、基板Ｗを静止させることなく、動かしながら連続して露光することもある。

ところで、マスクは所定のタイミングで洗浄等するために随時回収される必要がある。又、露光装置の稼働率を高めるためには、使用されたマスクが洗浄されている間、別のマスクを露光装置に装着して露光動作を行う必要がある。そこで、複数のマスクを効率的に回収し、且つ効率的に分配することが必要となる。このために用いる搬送装置について説明する。

図３は、図１の露光装置をIII-III線で切断して矢印方向に見た図であり、図４は、図１の露光装置におけるマスクの回収又は装着時の状態を示す側面断面図であり、搬送装置はIV-IV線で切断している。尚、ＣＦは装置フレームの天井である。

図４において、搬送ラインＬ（図１）に沿って、ベース１の上方には、下方に向かって開口した断面がコ字状のレールＲＬが装置フレームの天井ＣＦに取り付けられている。レールＲＬの内側面には、一対のリニアガイドＬＧが上下に配置されており、各リニアガイドＬＧに沿ってスライダＳが移動自在に配置されている。

搬送装置３０は、レールＲＬ内に配置された板状の被駆動部３１と、ベース１の上面側と保持装置１０Ａ、１０Ｂに配置されたトレー部３２と、レールＲＬの開口を介して延在し被駆動部３１とトレー部３２の中央とを連結する連結部３３とからなる。被駆動部３１の側面にはスライダＳが取り付けられており、またレールＲＬの内側面との間にリニアモータＬＭが配置されている。レールＲＬとリニアモータＬＭとで駆動部を構成する。トレー部３２は、その上面において、連結部３３を挟んで、図１において搬送ラインＬの左側に第１搭載位置３２Ａが設けられ、搬送路１ａの右側に第２搭載位置３２Ｂが設けられているが、連結部３３の近傍で肉厚が厚く、両先端に向かうにつれて肉厚が薄くなっており、片持ち状でありながら剛性を高めている。

次に、本実施の形態の搬送の態様（回収及び装着）について説明する。搬送ラインＬの両側に位置する保持装置１０Ａ、１０Ｂは、保持部１２によりマスクＭを保持した状態で、搬送ラインＬ上の受け渡し位置に配置しているものとし、図１で上方から１番目、２番目、・・・と数えるものとする。又、搬送装置３０は、搬送ラインＬの一端側の第１の位置（図９の実線の位置）で、マスクストッカＭＳ１，ＭＳ２との間で、ロボットＲＢＴによりマスクＭの受け渡しを行い、保持装置１０Ａ、１０Ｂを挟んで搬送ラインＬの反対端側の第２の位置（図１の点線の位置）で露光中は待機するようになってる。搬送装置３０はつり下げ式であるため、待機中、図４に点線で示すように、基板チャック２やレール２ａ等に干渉しないようになっている。

図５のフローチャートにおいて、ステップＳ１０１でｎ＝１とした後、ステップＳ１０２で、マスクＭを搭載しない空の搬送装置３０をリニアモータＬＭによりレールＲＬに対して駆動して、１番目の受け渡し場所へと移動して静止させる。ここでは、１番目の第１保持装置１０Ａが保持するマスクＭは、搬送装置３０の支持するトレー部３２の第１搭載位置３２Ａの上方に位置し、１番目の第２保持装置１０Ｂが保持するマスクＭは、第２搭載位置３２Ｂの上方に位置している。

更にステップＳ１０３で、１番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させることで、保持していたマスクＭを第１搭載位置３２Ａへと受け渡し、同時に１番目の第２保持装置１０Ｂが保持部１２を下降させることで、保持していたマスクＭを第２搭載位置３２Ｂへと受け渡す。更に、ステップＳ１０４で、搬送装置３０を搬送ラインＬに沿って正方向（図１では下方）に１ステップ移動させ、トレー部３２を２番目の受け渡し場所に移動させる。ここでは、２番目の第１保持装置１０Ａが保持するマスクＭは、搬送装置３０の支持する搬送トレー２１の第１搭載位置３２Ａの上方に位置し、２番目の第２保持装置１０Ｂが保持するマスクＭは、第２搭載位置３２Ｂの上方に位置している。

ステップＳ１０５で、同時受け渡しが最後（ここではｎ＝５）でなければ、ステップＳ１０６でｎ＝ｎ＋１とした上で、ステップＳ１０３に戻って、ｎ＋１番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させることで、保持していたマスクＭを第１搭載位置３２Ａへと受け渡し、同時にｎ＋１番目の第２保持装置１０Ｂが保持部１２を下降させることで、保持していたマスクＭを第２搭載位置３２Ｂへと受け渡す。これにより受け渡されたマスクＭの上に、例えば間座（不図示）を介在させるような形で新たにマスクＭを重ねて行く。更に、ステップ１０４で、トレー部３２を、次の受け渡し場所に１ステップ移動させる。

以上を繰り返して、ステップＳ１０５で、同時受け渡しが最後（ここではｎ＝５）となった場合、ステップＳ１０７で、６番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させることで、保持していたマスクＭを第１搭載位置３２Ａへと受け渡す。更にステップＳ１０８で、搬送装置３０のトレー部３２を第２の位置に移動させて静止させ、ステップＳ１０９で、ロボットＲＢＴを用いて、トレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２Ｂに載置された使用済みのマスクＭを、マスクストッカＭＳ１に収容すると共に、マスクストッカＭＳ２に保管されていた未使用のマスクＭをトレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２Ｂに載置する。

次にステップＳ１１０で、搬送装置３０を搬送ラインＬに沿って逆方向（図９では上方）に１ステップ移動させ、トレー部３２を最初の受け渡し場所に移動させる。ここでは、６番目の第１保持装置１０Ａの保持部１２のみが、搬送装置３０の支持するトレー部３２の第１搭載位置３２Ａに搭載されたマスクＭの上方に位置している。そこで、ステップＳ１１１で、６番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させ、第１搭載位置３２Ａに載置されていたマスクＭを保持した後に上昇する。

更にステップＳ１１２でｎ＝５として、ステップＳ１１３で、搬送装置３０を搬送ラインＬに沿って逆方向に１ステップ移動させ、トレー部３２を５番目の受け渡し場所に移動させる。５番目の第１保持装置１０Ａの保持部１２が、搬送装置３０の支持するトレー部３２の第１搭載位置３２Ａに搭載されたマスクＭの上方に位置し、且つ５番目の第２保持装置１０Ｂの保持部１２が、搬送装置３０の支持するトレー部３２の第２搭載位置３２Ｂに搭載されたマスクＭの上方に位置している。

ステップＳ１１４で、５番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させ、第１搭載位置３２Ａに載置されていたマスクＭを保持した後に上昇するのと並行して、５番目の第２保持装置１０Ｂが保持部１２を下降させ、第２搭載位置３２Ｂに載置されていたマスクＭを保持した後に上昇する。

ステップＳ１１５で、同時受け渡しが最後（ここではｎ＝１）でなければ、ステップＳ１１６でｎ＝ｎ−１とした上で、ステップＳ１１３に戻って、ｎ−１番目の第１保持装置１０Ａが保持部１２を下降させ、第１搭載位置３２Ａに載置されていたマスクＭを保持した後に上昇し、同時にｎ−１番目の第２保持装置１０Ｂが保持部１２を下降させ、第２搭載位置３２Ｂに載置されていたマスクＭを保持した後に上昇する。

以上を繰り返して、ステップＳ１１５で、同時受け渡しが最後（ここではｎ＝１）となった場合、ステップＳ１１７で、搬送装置３０を第１の位置へと移動して静止させる。搬送装置３０は、この第１位置で露光動作中に待機することとなる。

本実施の形態によれば、搬送装置３０が、受け渡し位置を挟んで、搬送ラインＬに沿った一方の端側でマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２との間でマスクＭの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、搬送ラインＬに沿った他方の端側で待機するので、待機位置からマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２に向かう動作で使用済みマスクＭの回収を行い、マスクストッカＭＳ１，ＭＳ２から待機位置に向かう動作で未使用マスクＭの搬送を行えるため、１往復動作でマスクＭの回収及び装着を実現でき、必要な時間を短縮することができる。又、搬送装置３０は、ベース１の上方において基板Ｗの移動方向に対して直交する方向に配置されたレールＲＬからつり下げられた形で移動するので、露光動作時の待機中においても、基板Ｗを移動させる駆動部２と干渉する恐れがない。

更に、搬送装置３０に取り付けたトレー部３２が２つのマスクの搭載位置３２Ａ、２１Ｂを有するので、第１の保持装置１０Ａと第２の保持装置１０Ｂに対して同時にマスクＭの回収又は装着を行うことができ、マスクＭの回収又は装着に必要な時間を短縮できる。尚、第１の保持装置１０Ａと第２の保持装置１０Ｂに対して、別個にマスクＭの回収又は装着を行っても良い。

図６は、第２の実施の形態にかかる搬送装置の図３と同様な断面図である。本実施の形態については、図３に示す実施の形態と異なる点について説明し、同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。

本実施の形態においては、搬送装置３０’のトレー部３２が薄肉となっているので、搬送装置３０’の軽量化を図れ高速移動が可能となっている。しかしながら、トレー部３２を薄肉とすると剛性が低下するので、トレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２ＢにマスクＭを搭載したときに、いずれも連結部３３に対して片持ち状であることから、マスクＭの重量に抗しきれず先端が下方に移動するように変形し、ベース１の上面（基板Ｗの支持面）に接触して傷つける恐れがある。

そこで、本実施の形態においては、トレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２Ｂの先端が、それぞれ上方を向くように初期形状を与えている。これにより、第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２ＢにマスクＭを搭載したときに、点線で示すようにトレー部３２が変形しても、ベース１の上面に平行に近づくようになり、それと接触すること恐れが抑制される。かかる初期形状は、最大許容数のマスクＭを搭載したときに、トレー部３２の下面がベース１の上面と平行になるようなものとするのが望ましい。

図７は、第３の実施の形態にかかる搬送装置の図３と同様な断面図である。本実施の形態については、図３に示す実施の形態と異なる点について説明し、同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。

本実施の形態においても、第２の実施の形態と同様に、搬送装置３０”のトレー部３２が薄肉となっているので、搬送装置３０”の軽量化を図れる。かかる状態では、トレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２ＢにマスクＭを搭載したときに、マスクＭの重さに応じて撓みが生じベース１の上面に接触する恐れがある。

しかしながら、本実施の形態では、ベース１に設けた吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ（ポンプ、配管等は図示を省略）から、流体であるエアをトレー部３２とベース１との間に吐出させており、これにより発生するエア圧で、トレー部３２の第１搭載位置３２Ａと第２搭載位置３２ＢにマスクＭを搭載したときに、トレー部３２を浮上させて、ベース１の上面との接触を回避できるようにしている。

尚、トレー部は薄くすることによって、高速で移動させることができるだけでなく、質量が小さくなって浮きやすくなること、及び剛性が低くなって全体で浮上することなどの特徴が生じる。また、その剛性も低くなるのでマスクを搭載しないときはトレー部が持ち上がるため、トレー部の下にスキマができ、吐出吸引ユニット（エアパッド）がなくても、基板搬送面との接触が抑制され、従って、エアパッドを有しない基板チャックや基板駆動部の上方にも待機位置を設けることができる。更に、１枚のマスクを搭載したことにより、トレー部と搬送面とほぼ同じ高さで平行になるように剛性と初期状態とを設定すると、マスクが搭載されていない状態では、基板搬送面との接触が抑制され、搭載されたマスクが１枚のときは、トレー部と搬送面とほぼ同じ高さで平行になり、搭載されたマスクが複数枚のときは、エアパッドを用いてトレー部を浮上させることもできる。かかる場合、搭載されたマスクが１枚でも複数枚でも、搬送面に対するトレー部の高さや平行度を殆ど変化しなくなることから、マスクの回収時や装着時の位置調整が容易となる。

以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。

第１の実施の形態にかかる露光装置の上面図である。第１の実施の形態にかかる露光装置の露光時の状態を示す側面断面図である。図１の露光装置をIII-III線で切断して矢印方向に見た図である。図１の露光装置におけるマスクの回収又は装着時の状態を示す側面断面図である。マスク回収及び分配工程を示すフローチャート図である。第２の実施の形態にかかる搬送装置の図３と同様な断面図である。第３の実施の形態にかかる搬送装置の図３と同様な断面図である。

符号の説明

１ベース
１ａ搬送路
２基板チャック
２ａレール
３Ａ吐出吸引ユニット
３Ｂ吐出吸引ユニット
４ユニット本体
５吐出孔
６凹溝
７吸引孔
１０保持装置
１１アーム
１２保持部
１２ａ矩形開口
１２ｂ下部
１３Ｚ軸移動装置
１４ θ軸移動装置
１５Ｙ軸移動装置
３０、３０’、３０” 搬送装置
３２トレー部
ＡＭアーム
ＣＦ装置フレームの天井
ＥＬ露光用光
Ｈ１配管群
Ｈ２配管群
Ｌ搬送ライン
Ｍマスク
ＭＳ１マスクストッカ
ＭＳ２マスクストッカ
ＯＰＵ露光ユニット
Ｐパターン
Ｐ１吐出用ポンプ
Ｐ２吸引用ポンプ
ＲＢＴロボット
Ｗ基板

Claims

パターンを形成したマスクを介して露光用光を照射することによって、移動可能に保持された基板に前記パターンの露光を行う露光装置において用いられる搬送装置において、
マスクストッカとの間で受け渡しされた複数のマスクを搭載し、前記基板の移動方向に対して交差するように延在する１ラインの搬送路に沿って移動して、複数の受け渡し位置で分配装置にマスクを受け渡すようになっており、
前記受け渡し位置を挟んで、前記搬送路に沿った一方の端側で前記マスクストッカとの間で前記マスクの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、前記搬送路に沿った他方の端側で待機することを特徴とする搬送装置。
前記露光装置は、前記基板を駆動する基板チャックを、前記基板の移動方向に対して片側又は両側に設けており、
前記搬送装置は、前記分配装置に対して重力方向上方に配置された移動部と、前記移動部に対して重力方向下方に配置された前記マスクを搭載するトレー部と、前記移動部と前記トレー部とを連結する連結部と、前記移動部を駆動する駆動部とを有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記トレー部は、前記マスクを搭載したときに、その自重により前記基板の支持面に対して平行に近づくように変形する初期形状を有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
前記トレー部に対して、重力方向下方より流体を吐出する吐出手段が設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載の搬送装置。
前記トレー部は、前記連結部を挟んで一方の側に前記マスクを搭載する第１の搭載位置を有し、他方の側に前記マスクを搭載する第２の搭載位置とを有し、
前記分配装置は、前記基板の移動方向に対して前記搬送路の一方の側に配置され、所定位置に移動した前記搬送装置の前記第１搭載位置から、１つ以上の前記マスクを分配する第１分配装置と、前記搬送路の他方の側に配置され、前記基板の移動方向に対して所定位置に移動した前記搬送装置の前記第２搭載位置から、１つ以上の前記マスクを分配する第２分配装置とを含むことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の搬送装置。