JP5452140B2 - 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 - Google Patents
水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 Download PDFInfo
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Description
[作用]
本発明が主要部において利用する作用は、表面プラズモン共鳴増強構造の一形態である金属薄膜の周期的な開口のアレイにおける異常透過効果(Extra Transmission Effect)、その異常透過効果に与える特定の開口の形状の影響及び水素吸蔵金属の水素化に伴う膨張と光学的特性の変化の三者である。
Claims (17)
- 水素吸蔵金属の薄膜に周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子であって、
前記開口は前記薄膜の膜面内において90度回転対称でない形状を有することを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 請求項1記載の水素検出用表面プラズモン共鳴素子において、
前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 請求項1又は2記載の水素検出用表面プラズモン共鳴素子において、
前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において90度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子と、
その水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面に光を照射する光源手段と、
その光源手段が照射する光に対する、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光を検出する光検出手段とを備え、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出することを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段が前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面を照射する光は直線偏光であり、その偏波面の方位は前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記膜面内において、前記開口の射影する寸法のその直交方向に射影する寸法に対する比が最小となるような直線方向に一致されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4又は5記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至6の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至7の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段は波長可変レーザであり、
前記光検出手段は光量計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至7の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段は広波長帯域光源であり、
前記光検出手段は分光計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至9の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子は外壁によって取り囲まれた水素ガスを検出しようとする閉空間の内部に設置され、
前記光源手段及び前記光検出手段は前記閉空間の外部に設置され、
前記外壁には前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を挟んで互いに対向する位置に入射光学窓と出射光学窓とが設けられ、
前記光源手段からの光は前記入射光学窓を通って前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を照射し、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光は前記出射光学窓を通って前記光検出手段に到達するように構成されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至9の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子とミラー手段とが外壁によって取り囲まれた水素ガスを検出しようとする閉空間の内部に設置され、
前記光源手段及び前記光検出手段は前記閉空間の外部に設置され、
前記外壁には入出射光学窓が設けられ、
前記光源手段からの光は前記入出射光学窓を通って前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を照射し、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光は前記ミラー手段で反射されて前記入出射用光学窓を前記光源手段からの光とは逆向きに通って前記光検出手段に到達するように構成されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において90度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面に、光源手段からの光を照射し、
その光の照射に対する前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光を光検出手段で検出し、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出することを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面を照射する前記光源手段からの光は直線偏光であり、その偏波面の方位は前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記膜面内において、前記開口の射影する寸法のその直交方向に射影する寸法に対する比が最小となるような直線方向に一致されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12又は13記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至14の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至15の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記光源手段は波長可変レーザであり、
前記光検出手段は光量計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至15の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記光源手段は広波長帯域光源であり、
前記光検出手段は分光計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。
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KR102301672B1 (ko) * | 2014-12-11 | 2021-09-14 | 엘지이노텍 주식회사 | 가스 센서 및 이를 포함하는 가스 검출 장치 |
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US11067506B2 (en) * | 2017-03-31 | 2021-07-20 | National University Corporation Yokohama National University | Hydrogen detection element, method for manufacturing hydrogen detection element, and hydrogen detection device |
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Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6039536A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | Hochiki Corp | ガスセンサ |
FI85768C (fi) * | 1990-07-04 | 1992-05-25 | Valtion Teknillinen | Foerfarande foer utfoerning av ytplasmonresonansmaetning samt i foerfarandet anvaendbar givare. |
US5708735A (en) * | 1996-03-29 | 1998-01-13 | Benson; David K. | Fiber optic device for sensing the presence of a gas |
CA2403427C (en) * | 2000-03-22 | 2013-04-30 | M. Cynthia Goh | Method and apparatus for assay for multiple analytes |
US7399445B2 (en) * | 2002-01-11 | 2008-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Chemical sensor |
JP2005265590A (ja) | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Fujikura Ltd | 水素センサ及びその利用 |
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CA2679733C (en) * | 2006-05-09 | 2017-06-20 | Axela Inc. | Automated analyzer using light diffraction |
JP5178049B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 標的物質検出素子、標的物質検出装置、及び標的物質検出方法 |
US7522282B2 (en) * | 2006-11-30 | 2009-04-21 | Purdue Research Foundation | Molecular interferometric imaging process and apparatus |
US8205482B2 (en) * | 2006-12-28 | 2012-06-26 | Mikuni Corporation | Hydrogen sensor with detection film comprised of rare earth metal particles dispersed in a ceramic |
CN101606056A (zh) * | 2007-02-02 | 2009-12-16 | 郡是株式会社 | 氢气传感器 |
JP2009053045A (ja) | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Fiberlabs Inc | 光ファイバ水素センサ及びそれを用いた水素検知システム |
JP4659018B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-30 | 日本航空電子工業株式会社 | 表面プラズモンセンサ |
US7847948B2 (en) * | 2008-08-29 | 2010-12-07 | Korea University Research And Business Foundation | Tactile sensor based on coupled surface plasmon resonance |
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