JP2011053151A - 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 - Google Patents
水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011053151A JP2011053151A JP2009203946A JP2009203946A JP2011053151A JP 2011053151 A JP2011053151 A JP 2011053151A JP 2009203946 A JP2009203946 A JP 2009203946A JP 2009203946 A JP2009203946 A JP 2009203946A JP 2011053151 A JP2011053151 A JP 2011053151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen
- plasmon resonance
- surface plasmon
- light
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 192
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 192
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 181
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 107
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 title description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 103
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 13
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 84
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 24
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 16
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 11
- 238000003491 array Methods 0.000 description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012552 review Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- -1 palladium hydride Chemical class 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007084 catalytic combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- DOARWPHSJVUWFT-UHFFFAOYSA-N lanthanum nickel Chemical compound [Ni].[La] DOARWPHSJVUWFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATTFYOXEMHAYAX-UHFFFAOYSA-N magnesium nickel Chemical compound [Mg].[Ni] ATTFYOXEMHAYAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
- G01N21/554—Attenuated total reflection and using surface plasmons detecting the surface plasmon resonance of nanostructured metals, e.g. localised surface plasmon resonance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において90度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子65の膜面に光源手段(波長可変レーザ61)からの光を照射し、透過光を光検出手段(光量計62)で検出する。水素検出用表面プラズモン共鳴素子65の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出する。
【選択図】図6
Description
[作用]
本発明が主要部において利用する作用は、表面プラズモン共鳴増強構造の一形態である金属薄膜の周期的な開口のアレイにおける異常透過効果(Extra Transmission Effect)、その異常透過効果に与える特定の開口の形状の影響及び水素吸蔵金属の水素化に伴う膨張と光学的特性の変化の三者である。
Claims (17)
- 水素吸蔵金属の薄膜に周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子であって、
前記開口は前記薄膜の膜面内において90度回転対称でない形状を有することを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 請求項1記載の水素検出用表面プラズモン共鳴素子において、
前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 請求項1又は2記載の水素検出用表面プラズモン共鳴素子において、
前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする水素検出用表面プラズモン共鳴素子。 - 水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において90度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子と、
その水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面に光を照射する光源手段と、
その光源手段が照射する光に対する、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光を検出する光検出手段とを備え、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出することを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段が前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面を照射する光は直線偏光であり、その偏波面の方位は前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記膜面内において、前記開口の射影する寸法のその直交方向に射影する寸法に対する比が最小となるような直線方向に一致されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4又は5記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至6の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至7の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段は波長可変レーザであり、
前記光検出手段は光量計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至7の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記光源手段は広波長帯域光源であり、
前記光検出手段は分光計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至9の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子は外壁によって取り囲まれた水素ガスを検出しようとする閉空間の内部に設置され、
前記光源手段及び前記光検出手段は前記閉空間の外部に設置され、
前記外壁には前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を挟んで互いに対向する位置に入射光学窓と出射光学窓とが設けられ、
前記光源手段からの光は前記入射光学窓を通って前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を照射し、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光は前記出射光学窓を通って前記光検出手段に到達するように構成されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 請求項4乃至9の何れかに記載の表面プラズモン共鳴式光学水素検出器において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子とミラー手段とが外壁によって取り囲まれた水素ガスを検出しようとする閉空間の内部に設置され、
前記光源手段及び前記光検出手段は前記閉空間の外部に設置され、
前記外壁には入出射光学窓が設けられ、
前記光源手段からの光は前記入出射光学窓を通って前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子を照射し、前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光は前記ミラー手段で反射されて前記入出射用光学窓を前記光源手段からの光とは逆向きに通って前記光検出手段に到達するように構成されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴式光学水素検出器。 - 水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において90度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面に、光源手段からの光を照射し、
その光の照射に対する前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子からの透過光を光検出手段で検出し、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出することを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の膜面を照射する前記光源手段からの光は直線偏光であり、その偏波面の方位は前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記膜面内において、前記開口の射影する寸法のその直交方向に射影する寸法に対する比が最小となるような直線方向に一致されていることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12又は13記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記水素吸蔵金属はパラジウムであることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至14の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記水素検出用表面プラズモン共鳴素子の前記開口の前記形状は短辺と長辺とを有する矩形であり、
前記周期的な開口のアレイは前記矩形の開口がそれぞれその短辺と長辺とに平行な2つの互いに直交する方向に沿って周期的に配列されてなることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至15の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記光源手段は波長可変レーザであり、
前記光検出手段は光量計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。 - 請求項12乃至15の何れかに記載の表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法において、
前記光源手段は広波長帯域光源であり、
前記光検出手段は分光計であることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009203946A JP5452140B2 (ja) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 |
US13/384,226 US8675200B2 (en) | 2009-09-03 | 2010-09-01 | Hydrogen detecting surface plasmon resonator, surface plasmon resonance optical hydrogen detector and method for optically detecting hydrogen using surface plasmon resonance |
PCT/JP2010/065353 WO2011027899A1 (ja) | 2009-09-03 | 2010-09-01 | 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009203946A JP5452140B2 (ja) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011053151A true JP2011053151A (ja) | 2011-03-17 |
JP5452140B2 JP5452140B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=43649433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009203946A Active JP5452140B2 (ja) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8675200B2 (ja) |
JP (1) | JP5452140B2 (ja) |
WO (1) | WO2011027899A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014171372A1 (ja) * | 2013-04-18 | 2014-10-23 | 国立大学法人横浜国立大学 | ガス検出装置、ガス検出方法、及び光学部品 |
KR20160071001A (ko) * | 2014-12-11 | 2016-06-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 가스 센서 및 이를 포함하는 가스 검출 장치 |
JP2020033588A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 国立大学法人横浜国立大学 | 膜体の製造方法、水素検出用素子の製造方法、並びに膜体、水素検出用素子及び水素検出装置 |
JP2020521146A (ja) * | 2017-05-22 | 2020-07-16 | ラ トローブ ユニバーシティLa Trobe University | 光学顕微鏡の画像コントラスト増強 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4853596B1 (ja) | 2011-03-15 | 2012-01-11 | オムロン株式会社 | 酸化金属膜を備えたセンサおよびその利用 |
US9465160B2 (en) | 2013-08-20 | 2016-10-11 | General Electric Company | Plasmonic interface and method of manufacturing thereof |
US11650153B2 (en) | 2016-05-12 | 2023-05-16 | Maxwellian Inc. | Optical fiber sensor |
WO2018181492A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 国立大学法人横浜国立大学 | 水素検出用素子、水素検出用素子の製造方法および水素検出装置 |
CN108982427A (zh) * | 2018-10-15 | 2018-12-11 | 中国计量大学 | 球形熔接长周期光纤光栅表面等离子体共振氢敏传感器 |
US11027657B2 (en) * | 2018-11-26 | 2021-06-08 | Gentex Corporation | System for rearview camera as a glare sensor |
JP7217458B2 (ja) | 2019-02-20 | 2023-02-03 | 国立大学法人横浜国立大学 | ナノ構造体アレイ、水素検出用素子及び水素検出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06501546A (ja) * | 1990-07-04 | 1994-02-17 | バルション テクニリネン ツツキムスケスクス | 表面プラズモン共鳴測定を行うための方法およびその測定において使用されるセンサ |
JP2000506974A (ja) * | 1996-03-29 | 2000-06-06 | ミッドウエスト リサーチ インスティチュート | 光ファイバ式感知装置 |
JP2007170932A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 金属微粒子表面プラズモン共鳴特性を可逆的に制御する方法、材料及びデバイス |
JP2009150749A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 表面プラズモンセンサ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6039536A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | Hochiki Corp | ガスセンサ |
EP1266207B1 (en) * | 2000-03-22 | 2010-10-27 | Axela Inc. | Method and apparatus for multiple-analyte assay |
US7399445B2 (en) * | 2002-01-11 | 2008-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Chemical sensor |
JP2005265590A (ja) | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Fujikura Ltd | 水素センサ及びその利用 |
WO2007128130A1 (en) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Axela Inc. | Automated analyzer using light diffraction |
JP5178049B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 標的物質検出素子、標的物質検出装置、及び標的物質検出方法 |
US7522282B2 (en) * | 2006-11-30 | 2009-04-21 | Purdue Research Foundation | Molecular interferometric imaging process and apparatus |
JP5184375B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-04-17 | 株式会社ミクニ | 水素センサ及びその製造方法 |
WO2008093813A1 (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-07 | Gunze Limited | 水素ガスセンサ |
JP2009053045A (ja) | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Fiberlabs Inc | 光ファイバ水素センサ及びそれを用いた水素検知システム |
US7847948B2 (en) * | 2008-08-29 | 2010-12-07 | Korea University Research And Business Foundation | Tactile sensor based on coupled surface plasmon resonance |
-
2009
- 2009-09-03 JP JP2009203946A patent/JP5452140B2/ja active Active
-
2010
- 2010-09-01 US US13/384,226 patent/US8675200B2/en active Active
- 2010-09-01 WO PCT/JP2010/065353 patent/WO2011027899A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06501546A (ja) * | 1990-07-04 | 1994-02-17 | バルション テクニリネン ツツキムスケスクス | 表面プラズモン共鳴測定を行うための方法およびその測定において使用されるセンサ |
JP2000506974A (ja) * | 1996-03-29 | 2000-06-06 | ミッドウエスト リサーチ インスティチュート | 光ファイバ式感知装置 |
JP2007170932A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 金属微粒子表面プラズモン共鳴特性を可逆的に制御する方法、材料及びデバイス |
JP2009150749A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 表面プラズモンセンサ |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
JPN6013061956; TROUILLET A ET AL.: 'Fibre gratings for hydrogen sensing' MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY vol. 17, no. 5, 20060413, pages 1124 - 1128 * |
JPN6013061958; CHOI SEUNG HO ET AL.: 'Characteristics of light emission from surface plasmons based on rectangular silver gratings' OPT COMMUN. vol. 283, no. 14, 20100715, pages 2961 - 2966 * |
JPN6013061959; SHANG YUFENG ET AL.: 'Study on High Speed Photodetectors With plasmonics Flilter' PROC SPIE vol. 7631, 20091102, pages 76311M.1 - 76311M.6 * |
JPN6013061961; BOONSONG SUTAPUN ET AL.: 'Pd-coated elastooptic fiber optic Bragg grating sensors for multiplexed hydrogen sensing' SENSORS AND ACTUATORS B vol. 60, 19990625, pages 27 - 34 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014171372A1 (ja) * | 2013-04-18 | 2014-10-23 | 国立大学法人横浜国立大学 | ガス検出装置、ガス検出方法、及び光学部品 |
JP2014211362A (ja) * | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 国立大学法人横浜国立大学 | ガス検出装置、ガス検出方法、及び光学部品 |
US9791366B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-10-17 | National University Corporation Yokoham National University | Gas detector, gas detection method and optical component |
KR20160071001A (ko) * | 2014-12-11 | 2016-06-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 가스 센서 및 이를 포함하는 가스 검출 장치 |
KR102301672B1 (ko) | 2014-12-11 | 2021-09-14 | 엘지이노텍 주식회사 | 가스 센서 및 이를 포함하는 가스 검출 장치 |
JP2020521146A (ja) * | 2017-05-22 | 2020-07-16 | ラ トローブ ユニバーシティLa Trobe University | 光学顕微鏡の画像コントラスト増強 |
JP7189621B2 (ja) | 2017-05-22 | 2022-12-14 | ラ トローブ ユニバーシティ | 光学顕微鏡の画像コントラスト増強 |
JP2020033588A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 国立大学法人横浜国立大学 | 膜体の製造方法、水素検出用素子の製造方法、並びに膜体、水素検出用素子及び水素検出装置 |
JP7269578B2 (ja) | 2018-08-28 | 2023-05-09 | 国立大学法人横浜国立大学 | 膜体の製造方法、水素検出用素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120113424A1 (en) | 2012-05-10 |
US8675200B2 (en) | 2014-03-18 |
WO2011027899A1 (ja) | 2011-03-10 |
JP5452140B2 (ja) | 2014-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5452140B2 (ja) | 水素検出用表面プラズモン共鳴素子、表面プラズモン共鳴式光学水素検出器及び表面プラズモン共鳴を利用して光学的に水素を検出する方法 | |
Liu et al. | A plasmonic sensor array with ultrahigh figures of merit and resonance linewidths down to 3 nm | |
Bhattarai et al. | A large‐area, mushroom‐capped plasmonic perfect absorber: Refractive index sensing and Fabry–Perot cavity mechanism | |
Burresi et al. | Two-dimensional disorder for broadband, omnidirectional and polarization-insensitive absorption | |
IL256845A (en) | Resonant periodic structures and methods of using them as filters and sensors | |
US20150118124A1 (en) | Structural colorimetric sensor | |
Shao et al. | Anomalous permittivity and plasmon resonances of copper nanoparticle conformal coatings on optical fibers | |
EP2997351B1 (en) | Plasmonic hydrogen detection | |
TWI498540B (zh) | 具不對稱粒子形狀之定域化表面電漿共振檢測系統 | |
US20140242571A1 (en) | Optical element, analysis equipment, analysis method and electronic apparatus | |
Leahu et al. | Diffracted beams from metasurfaces: high chiral detectivity by photothermal deflection technique | |
Frey et al. | Effectively infinite optical path-length created using a simple cubic photonic crystal for extreme light trapping | |
ITAN20070019A1 (it) | Rifrattometro spettrofotometrico | |
Chen et al. | Tamm plasmon polaritons hydrogen sensors | |
Yoon et al. | Wideband Omnidirectional Polarization‐Insensitive Light Absorbers Made with 1D Silicon Gratings | |
Zhang et al. | Rational design of high performance surface plasmon resonance sensors based on two-dimensional metallic hole arrays | |
Kuchyanov et al. | Highly sensitive and fast response gas sensor based on a light reflection at the glass-photonic crystal interface | |
Pfeifer et al. | Surface plasmon sensing of gas phase contaminants using a single-ended multiregion optical fiber | |
McKeown et al. | Hydrogen detection using a single palladium nano-aperture on a fiber tip | |
Movsesyan | Plasmonic Properties of Metallic Nanoparticles: Beyond the Dipolar Resonance | |
Nguyen | Optical fibre surface plasmon resonance sensors based on a metallic array of sub-wavelength apertures | |
JP2011106928A (ja) | 水素吸着検知センサ及び水素吸着検知装置 | |
Mishra et al. | Fiber optic hydrogen gas sensor utilizing surface plasmon resonance of indium-tin oxide (ITO) thin films | |
Lioudakis et al. | Ellipsometry on optically thin palladium films on silicon-based substrate: effects of low concentration of hydrogen | |
Kaplan et al. | Free-standing silicon nanogratings for extreme UV rejection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5452140 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |