JP5448414B2 - Resin composition, prepreg, laminate, multilayer printed wiring board, and semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂組成物、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition, a prepreg, a laminated board, a multilayer printed wiring board, and a semiconductor device.

近年、電子機器の高機能化等の要求に伴い、高密度実装対応のプリント配線板は、小型化かつ高密度化が求められており、プリント配線板に形成される導体回路幅、又は導体回路間幅はさらに狭くなる傾向にある。例えば、多層プリント配線板で用いられる内層回路基板は、導体回路幅と導体回路間幅(L/S)が従来の100μm/100μmから、50μm/50μm、更には20μm/20μmまで狭配線化される傾向にあることから、特に多層プリント配線板の外層回路においては、L/Sが15μm/15μmの実用化が検討されている。L/Sが狭くなると、多層プリント配線板に用いられる絶縁層は、従来よりも優れた信頼性が求められる。具体的には、エポキシ樹脂組成物等の樹脂組成物より形成された絶縁層の更なる低熱膨張率化が求められている。   In recent years, with the demand for higher functionality of electronic devices, printed wiring boards compatible with high-density mounting have been required to be smaller and higher in density, the width of the conductor circuit formed on the printed wiring board, or the conductor circuit The gap width tends to become even narrower. For example, an inner layer circuit board used in a multilayer printed wiring board has a conductor circuit width and a conductor circuit width (L / S) narrowed from the conventional 100 μm / 100 μm to 50 μm / 50 μm, and further 20 μm / 20 μm. Because of this tendency, practical application of L / S of 15 μm / 15 μm is being studied, particularly in the outer layer circuit of a multilayer printed wiring board. When L / S becomes narrower, the insulating layer used for the multilayer printed wiring board is required to have higher reliability than the conventional one. Specifically, further reduction in the coefficient of thermal expansion of an insulating layer formed from a resin composition such as an epoxy resin composition is required.

多層プリント配線板を低熱膨張化する手法としては無機充填材を高充填する方法が提案されている(例えば、特許文献1に記載。)。しかしながら、無機充填材を樹脂組成物中に大量に充填すると樹脂組成物の流動性が低下し、多層プリント配線板製造時において、成形性が悪化するなどの問題があった。このため樹脂組成物の流動性を低下させないために球状シリカを高充填させる方法も提案されているが、シリカは硬度が高いためシリカのみを高充填した場合はドリルの磨耗が激しく、加工性が低下する問題があった。   As a technique for reducing the thermal expansion of a multilayer printed wiring board, a method of highly filling an inorganic filler has been proposed (for example, described in Patent Document 1). However, when a large amount of the inorganic filler is filled in the resin composition, the fluidity of the resin composition is lowered, and there is a problem that the moldability is deteriorated when the multilayer printed wiring board is manufactured. For this reason, in order to prevent the fluidity of the resin composition from being lowered, a method of highly filling spherical silica has also been proposed, but since silica has high hardness, when only silica is highly filled, the wear of the drill is severe and the workability is high. There was a problem of lowering.

さらに、近年の環境問題への意識の高まりから、多層プリント配線板にはハロゲン系難燃剤やリン系難燃剤を含まないことが求められている。多層プリント配線板に難燃性を付与するため、難燃剤として水酸化アルミニウムの三水和物であるギブサイトが一般的に使用されている(例えば、特許文献2に記載。)。ところが、ギブサイトは結晶水の放出温度が鉛フリー半田の融点より低いために、半田実装時の耐熱性に問題がある場合がある。そこで、より放出温度の高い水酸化アルミニウムの一水和物であるベーマイトを使用することで多層プリント配線板の耐熱性を向上させることが提案されている。   Furthermore, with the recent increase in awareness of environmental problems, multilayer printed wiring boards are required not to contain halogen-based flame retardants or phosphorus-based flame retardants. Gibbsite, which is a trihydrate of aluminum hydroxide, is generally used as a flame retardant to impart flame retardancy to a multilayer printed wiring board (for example, described in Patent Document 2). However, since gibbsite has a crystal water release temperature lower than the melting point of lead-free solder, there may be a problem in heat resistance during solder mounting. Therefore, it has been proposed to improve the heat resistance of the multilayer printed wiring board by using boehmite, which is a monohydrate of aluminum hydroxide having a higher release temperature.

しかしながら、従来のベーマイトは一水和物であるためにギブサイトと同等の難燃効果が得られないという問題があった。   However, since conventional boehmite is a monohydrate, there has been a problem that a flame retardant effect equivalent to that of gibbsite cannot be obtained.

特開2002−28501号公報JP 2002-28501 A 特開2001−316499号公報JP 2001-316499 A

本発明は、多層プリント配線板の絶縁層に使用した場合に、耐熱性、低熱膨張性、難燃性、ドリル加工性、成形性を兼ね備えた信頼性の高い多層プリント配線板を製造することができる樹脂組成物、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板、及び半導体装置を提供するものである。     When the present invention is used for an insulating layer of a multilayer printed wiring board, a highly reliable multilayer printed wiring board having heat resistance, low thermal expansion, flame retardancy, drilling workability and formability can be produced. A resin composition, a prepreg, a laminate, a multilayer printed wiring board, and a semiconductor device are provided.

このような目的は、下記(1)〜(11)項に記載の本発明により達成される。
(1)略立方体状のベーマイトを必須成分とすることを特徴とする樹脂組成物。
(2)前記略立方体状のベーマイトのBET比表面積が1m/g以上20m/g以下である(1)項に記載の樹脂組成物。
(3)前記略立方体状のベーマイトの平均粒子径が0.5μm以上10μm以下である(1)または(2)項に記載の樹脂組成物。
(4)前記略立方体状のベーマイトの含有量が、樹脂組成物全体の10重量%以上70重量%以下である(1)ないし(3)項のいずれかに記載の樹脂組成物。
(5)(1)ないし(4)項のいずれかの樹脂組成物は、シリカを含むものである樹脂組成物。
(6)前記シリカの平均粒子径が0.1um以上2um以下である(5)項に記載の樹脂組成物。
(7)(1)ないし(6)項のいずれかに記載の樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含むものである樹脂組成物。
(8)(1)ないし(7)項のいずれかに記載の樹脂組成物を繊維基材に含浸させてなるプリプレグ。
(9)(8)項に記載のプリプレグを1枚以上成形してなる積層板。
(10)(8)項に記載のプリプレグ、及び/または(9)項に記載の積層板を用いてなる多層プリント配線板。
(11)(10)項に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体装置。
Such an object is achieved by the present invention described in the following items (1) to (11).
(1) A resin composition characterized by comprising substantially cubic boehmite as an essential component.
(2) The resin composition according to item (1), wherein the BET specific surface area of the substantially cubic boehmite is 1 m 2 / g or more and 20 m 2 / g or less.
(3) The resin composition as described in (1) or (2), wherein the average particle size of the substantially cubic boehmite is 0.5 μm or more and 10 μm or less.
(4) The resin composition according to any one of (1) to (3), wherein the content of the substantially cubic boehmite is 10 wt% or more and 70 wt% or less of the entire resin composition.
(5) The resin composition according to any one of (1) to (4), wherein the resin composition contains silica.
(6) The resin composition according to (5), wherein the silica has an average particle size of 0.1 μm or more and 2 μm or less.
(7) The resin composition according to any one of (1) to (6) is a resin composition containing a thermosetting resin.
(8) A prepreg obtained by impregnating a fiber base material with the resin composition according to any one of (1) to (7).
(9) A laminate obtained by molding one or more prepregs according to item (8).
(10) A multilayer printed wiring board using the prepreg according to the item (8) and / or the laminate according to the item (9).
(11) A semiconductor device comprising a semiconductor element mounted on the multilayer printed wiring board according to item (10).

本発明の樹脂組成物は、多層プリント配線板の絶縁層に使用した場合に、耐熱性、低熱膨張性、難燃性、ドリル加工性、及び成形性に優れる。     The resin composition of the present invention is excellent in heat resistance, low thermal expansion, flame retardancy, drill workability, and moldability when used in an insulating layer of a multilayer printed wiring board.

以下に本発明の樹脂組成物、プリプレグ、積層板、及び半導体装置について詳細に説明する。     Hereinafter, the resin composition, prepreg, laminate and semiconductor device of the present invention will be described in detail.

まず、本発明の樹脂組成物について説明する。   First, the resin composition of the present invention will be described.

本発明の樹脂組成物は、略立方体状のベーマイトを必須成分として含むことを特徴とする。
前記略立方体状とは、立方体状のもの、及びそれらの近似形状をいう。前記略立方体状は、例えば、各辺の長さがほぼ等しい「さいころ状」のものなどが相当する。これにより樹脂組成物中への高充填化が可能となり、また積層板の寸法安定性も向上する。
The resin composition of the present invention is characterized by containing substantially cubic boehmite as an essential component.
The substantially cubic shape means a cubic shape and approximate shapes thereof. The substantially cubic shape corresponds to, for example, a “dice-like” shape in which the length of each side is substantially equal. As a result, the resin composition can be highly filled, and the dimensional stability of the laminate is improved.

本発明の樹脂組成物に用いる略立方体状のベーマイトのBET比表面積は、1m/g以上20m/gの物が好ましい。
ここで、BET表面積とは、試料表面に吸着する窒素等のガスの量から求めることができる試料の表面積いい、例えば、Micromeritics 社製フローソーブIII2305などを用いて測定することができる。
略立方体状のベーマイトのBET比表面積は、より好ましくは、2.0〜10.0m/gのものであり、最も好ましくは、3.0〜7.0m/gのものである。BET比表面積が下限値未満であると、Bステージ化状態、又は硬化状態の樹脂組成物よりなるプリプレグの表面を化学的及び/または物理的な処理によって粗化した際の樹脂表面粗さが大きくなり、多層プリント配線板に用いた際に、絶縁信頼性が低下する場合がある。また、上限値を超えると、樹脂ワニスの粘度が高くなりすぎるため、無機充填剤を高充填するのが困難になる。またプリプレグに用いた際に、流動性が低下するため積層板製造時の成形性の低下や、多層プリント配線板の製造において、内層回路の埋め込み性が低下する場合があった。
The BET specific surface area of the substantially cubic boehmite used in the resin composition of the present invention is preferably 1 m 2 / g or more and 20 m 2 / g.
Here, the BET surface area refers to the surface area of a sample that can be obtained from the amount of gas such as nitrogen adsorbed on the sample surface, and can be measured using, for example, Flowsorb III2305 manufactured by Micromeritics.
Substantially BET specific surface area of the cubic boehmite, more preferably, is of 2.0 to 10.0 m 2 / g, most preferably of 3.0~7.0m 2 / g. When the BET specific surface area is less than the lower limit, the resin surface roughness when the surface of a prepreg made of a resin composition in a B-staged state or a cured state is roughened by chemical and / or physical treatment is large. Thus, when used in a multilayer printed wiring board, the insulation reliability may be reduced. Moreover, since the viscosity of a resin varnish will become high too much when exceeding an upper limit, it will become difficult to carry out high filling of an inorganic filler. Further, when used in a prepreg, the fluidity is lowered, so that the moldability during the production of the laminated board is lowered, and the embedding property of the inner layer circuit may be lowered in the production of the multilayer printed wiring board.

本発明の樹脂組成物に用いる略立方体状のベーマイトの平均粒径は0.5μm以上10μm以下であることが好ましい。より好ましくは1.0μm以上7.0μm以下であり、最も好ましくは1.5μm以上3.0μm以下が好ましい。このような略立方体状のベーマイトとしては大明化学工業製C−20などが上げられる。ベーマイトの平均粒径が前記下限値未満では、樹脂組成物からなるワニスの粘度が高くなるため繊維基材への含浸しにくくなり、プリプレグの作製が困難となる。また、前記上限値を超えると、ワニス中でベーマイトが沈降しやすくなり、生産性が低下する。
平均粒径は、例えば粒度分布計(HORIBA製、LA−500)により測定することができる。
The average particle size of the substantially cubic boehmite used in the resin composition of the present invention is preferably 0.5 μm or more and 10 μm or less. More preferably, it is 1.0 μm or more and 7.0 μm or less, and most preferably 1.5 μm or more and 3.0 μm or less. An example of such a substantially cubic boehmite is C-20 manufactured by Daimei Chemical Industry. When the average particle size of boehmite is less than the lower limit, the viscosity of the varnish made of the resin composition becomes high, so that it is difficult to impregnate the fiber base material, and it becomes difficult to produce a prepreg. Moreover, when the said upper limit is exceeded, boehmite will settle easily in a varnish, and productivity will fall.
The average particle diameter can be measured by, for example, a particle size distribution meter (manufactured by HORIBA, LA-500).

略立方体状のベーマイトの配合量は、30重量%以上60重量%以下が好ましい。     The blending amount of the substantially cubic boehmite is preferably 30% by weight or more and 60% by weight or less.

本発明の樹脂組成物は、略立方体状のベーマイト以外の無機充填剤を併用することができる。ベーマイト以外の無機充填材としては、例えば水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムなどの金属水酸化物、タルク、焼成タルク、焼成クレー、未焼成クレー、マイカ、ガラス等のケイ酸塩、酸化チタン、アルミナ、シリカ、溶融シリカ等の酸化物、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ハイドロタルサイト等の炭酸塩、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム等の硫酸塩または亜硫酸塩、ホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸カルシウム、ホウ酸ナトリウム等のホウ酸塩、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化炭素等の窒化物、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム等のチタン酸塩等を挙げることができる。これらの中の1種類を単独で用いることもできるし、2種類以上を併用したりすることもできる。この中でもシリカが好ましい。特に好ましくは球状シリカであある。 The resin composition of this invention can use together inorganic fillers other than a substantially cubic boehmite. Examples of inorganic fillers other than boehmite include metal hydroxides such as aluminum hydroxide and magnesium hydroxide, talc, fired talc, fired clay, unfired clay, mica, silicates such as glass, titanium oxide, alumina, Oxides such as silica and fused silica, carbonates such as calcium carbonate, magnesium carbonate and hydrotalcite, sulfates or sulfites such as barium sulfate, calcium sulfate and calcium sulfite, zinc borate, barium metaborate and aluminum borate And borate salts such as calcium borate and sodium borate, nitrides such as aluminum nitride, boron nitride, silicon nitride and carbon nitride, titanates such as strontium titanate and barium titanate. One of these can be used alone, or two or more can be used in combination. Of these, silica is preferable. Particularly preferred is spherical silica.

前記略立方体状のベーマイト以外の無機充填材の平均粒径は0.1μm以上2μm以下であることが好ましい。より好ましくは0.3μm以上1.0μm以下である。これによって、耐熱性、難燃性を損なわずに、効果的に流動性、低熱膨張性を付与することができる。
前記下限値未満では、プリプレグ製造時において、樹脂組成物からなる樹脂ワニスの粘度が高くなるため高充填が難しく、プリプレグの低熱膨張化が困難となる場合がある。また、前記上限値を超えると、プリプレグをドリル加工する際の加工性が低下する場合がある。
The average particle diameter of the inorganic filler other than the substantially cubic boehmite is preferably 0.1 μm or more and 2 μm or less. More preferably, it is 0.3 μm or more and 1.0 μm or less. Thereby, fluidity and low thermal expansion can be effectively imparted without impairing heat resistance and flame retardancy.
If it is less than the lower limit, at the time of producing the prepreg, the viscosity of the resin varnish made of the resin composition becomes high, so that high filling is difficult, and it may be difficult to reduce the thermal expansion of the prepreg. Moreover, when the said upper limit is exceeded, the workability at the time of drilling a prepreg may fall.

前記無機充填剤の配合量は樹脂組成物全体の50重量%以上80重量%以下が好ましい。より好ましくは55重量%以上75重量%以下であり、最も好ましくは60重量%以上70重量%以下である。無機充填剤の配合量が前記下限値未満では、十分な低膨張性得られない場合が有り、また前記上限値を超えると、流動性が低下し、成形性、埋め込み性が得られずボイドが発生し耐熱性が低下する恐れがある。 The blending amount of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more and 80% by weight or less of the entire resin composition. More preferably, it is 55 to 75 weight%, Most preferably, it is 60 to 70 weight%. If the blending amount of the inorganic filler is less than the lower limit value, sufficient low expansion may not be obtained, and if the upper limit value is exceeded, the fluidity is lowered, and the moldability and embeddability cannot be obtained, resulting in voids. May occur and heat resistance may be reduced.

本発明の樹脂組成物に含まれる樹脂成分としては、特に限定されないが、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂等の熱可塑性樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体、スチレン−イソプレン共重合体等のポリスチレン系熱可塑性エラストマー、ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステル系エラストマー等の熱可塑性エラストマ−、ポリブタジエン、エポキシ変性ポリブタジエン、アクリル変性ポリブタジエン、メタクリル変性ポリブタジエン等のジエン系エラストマー、やエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂が挙げられる。これらは単独で用いても良く、複数を併用して用いても良い。本発明の樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物であることが好ましい。これにより、樹脂組成物の耐熱性を向上させることができる。   The resin component contained in the resin composition of the present invention is not particularly limited. For example, phenoxy resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyphenylene oxide resin, polyethersulfone resin, polyester resin, polyethylene resin, polystyrene resin, etc. Thermoplastic resins, styrene-butadiene copolymers, polystyrene-type thermoplastic elastomers such as styrene-isoprene copolymers, polyolefin-type thermoplastic elastomers, polyamide-type elastomers, polyester-type elastomers, etc., polybutadiene, epoxy-modified polybutadiene , Diene elastomers such as acrylic modified polybutadiene and methacryl modified polybutadiene, epoxy resin, phenol resin, cyanate resin, benzoxazine resin, polyester Include thermosetting resin such as an imide resin. These may be used alone or in combination. The resin composition of the present invention is preferably a resin composition containing a thermosetting resin. Thereby, the heat resistance of the resin composition can be improved.

前記熱硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、未変性のレゾールフェノール樹脂、桐油、アマニ油、クルミ油等で変性した油変性レゾールフェノール樹脂等のレゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネート樹脂等が挙げられる。
これらの中の1種類を単独で用いることもできるし、異なる重量平均分子量を有する2種類以上を併用したり、1種類または2種類以上と、それらのプレポリマーを併用したりすることもできる。複数種類有した構造のフェノキシ樹脂を用いることもできる。またこれらを単独、又は複数種併用してもよい。
Examples of the thermosetting resin include a novolak phenol resin such as a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, and a bisphenol A type novolak resin, an unmodified resole phenol resin, an oil-modified resole modified with tung oil, linseed oil, walnut oil, and the like. Phenol resin such as phenolic resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol M type epoxy resin, bisphenol P type epoxy resin, bisphenol Bisphenol type epoxy resin such as Z type epoxy resin, novolak type epoxy resin such as phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, biphenyl type epoxy Fatty, biphenyl aralkyl type epoxy resin, aryl alkylene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, phenoxy type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, norbornene type epoxy resin, adamantane type epoxy resin, fluorene type epoxy resin Such as epoxy resin, urea (urea) resin, melamine resin, etc., resin having triazine ring, unsaturated polyester resin, bismaleimide resin, polyurethane resin, diallyl phthalate resin, silicone resin, resin having benzoxazine ring, cyanate resin, etc. Is mentioned.
One of these can be used alone, or two or more having different weight average molecular weights can be used in combination, or one or two or more of these prepolymers can be used in combination. A phenoxy resin having a structure having a plurality of types can also be used. These may be used alone or in combination.

前記熱硬化性樹脂の中で、好ましくはエポキシ樹脂(実質的にハロゲン原子を含まない)を用いることが好ましい。前記エポキシ樹脂としては、例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂 ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂等のアリールアルキレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂として、これらの中の1種類を単独で用いることもできるし、異なる重量平均分子量を有する2種類以上を併用したり、1種類または2種類以上と、それらのプレポリマーを併用したりすることもできる。   Among the thermosetting resins, an epoxy resin (substantially free of halogen atoms) is preferably used. Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol M type epoxy resin, bisphenol P type epoxy resin, and bisphenol Z type epoxy resin. Type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, cresol novolac epoxy resins and other novolak type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, xylylene type epoxy resins, biphenyl aralkyl type epoxy resins and other aryl alkylene type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, anthracene Type epoxy resin, phenoxy type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, norbornene type epoxy resin, adamantane Epoxy resins, fluorene type epoxy resins and the like. As the epoxy resin, one of these can be used alone, or two or more having different weight average molecular weights are used in combination, or one or two or more thereof and a prepolymer thereof are used in combination. You can also.

本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、硬化促進剤を用いることができる。 The resin composition of this invention can use a hardening accelerator as needed.

前記硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えばトリエチルアミン、トリブチルアミン、ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン等の3級アミン類、2−エチル−4−エチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドルキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−〔2’−メチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−(2’−ウンデシルイミダゾリル)−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2’−エチル−4−メチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−s−トリアジン、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール等のイミダゾール系化合物、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物が挙げられる。 The curing accelerator is not particularly limited, but for example, tertiary amines such as triethylamine, tributylamine, diazabicyclo [2,2,2] octane, 2-ethyl-4-ethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl Imidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')] -Ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- (2'-undecylimidazolyl) -ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4-methylimidazolyl- ( 1 ′)]-ethyl-s-triazine, imidazole compounds such as 1-benzyl-2-phenylimidazole, triphenyl Phosphine compounds such as phosphine.

前記硬化促進剤の含有量は、特に限定されないが、前記樹脂組成物全体の0.05〜5重量%が好ましく、特に0.2〜2重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると硬化を促進する効果が現れない場合があり、前記上限値を超えるとプリプレグの保存性が低下する場合がある。 Although content of the said hardening accelerator is not specifically limited, 0.05-5 weight% of the whole said resin composition is preferable, and 0.2-2 weight% is especially preferable. When the content is less than the lower limit, the effect of promoting curing may not appear, and when the content exceeds the upper limit, the storability of the prepreg may deteriorate.

前記樹脂組成物は、特に限定されないが、カップリング剤を用いることが好ましい。前記カップリング剤は、前記熱硬化性樹脂と、前記無機充填材との界面の濡れ性を向上させることにより、基材に対して熱硬化性樹脂等および無機充填材を均一に定着させ、耐熱性を向上させることができる。中でも特に、吸湿後の半田耐熱性を向上させることができる。 The resin composition is not particularly limited, but it is preferable to use a coupling agent. The coupling agent improves the wettability of the interface between the thermosetting resin and the inorganic filler, thereby uniformly fixing the thermosetting resin or the like and the inorganic filler to the base material. Can be improved. Especially, the solder heat resistance after moisture absorption can be improved.

前記カップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、エポキシシランカップリング剤、カチオニックシランカップリング剤、アミノシランカップリング剤、チタネート系カップリング剤およびシリコーンオイル型カップリング剤の中から選ばれる1種以上のカップリング剤を使用することが好ましい。これにより、無機充填材の界面との濡れ性を良くすることができ、耐熱性をより向上させることできる。   Although it does not specifically limit as said coupling agent, For example, 1 chosen from an epoxy silane coupling agent, a cationic silane coupling agent, an aminosilane coupling agent, a titanate coupling agent, and a silicone oil type coupling agent. It is preferred to use more than one type of coupling agent. Thereby, wettability with the interface of an inorganic filler can be improved, and heat resistance can be improved more.

前記カップリング剤の添加量は、前記無機充填材の比表面積に依存するので特に限定されないが、無機充填材に対して0.05〜3重量%が好ましく、特に0.1〜2重量%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると無機充填材を十分に被覆できないため耐熱性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると反応に影響を与え、曲げ強度等が低下する場合がある。 The addition amount of the coupling agent is not particularly limited because it depends on the specific surface area of the inorganic filler, but is preferably 0.05 to 3% by weight, particularly 0.1 to 2% by weight with respect to the inorganic filler. preferable. If the content is less than the lower limit, the inorganic filler cannot be sufficiently coated, and thus the effect of improving the heat resistance may be reduced. If the content exceeds the upper limit, the reaction is affected, and the bending strength is reduced. There is a case.

本発明の樹脂組成物には、必要に応じて、顔料、染料、消泡剤、レベリング剤、紫外線吸収剤、発泡剤、酸化防止剤、難燃剤、イオン捕捉剤等の上記成分以外の添加物を添加しても良い。 In the resin composition of the present invention, additives other than the above components such as pigments, dyes, antifoaming agents, leveling agents, ultraviolet absorbers, foaming agents, antioxidants, flame retardants, ion scavengers, etc. May be added.

次に、プリプレグについて説明する。   Next, the prepreg will be described.

本発明のプリプレグは、前記樹脂組成物を基材に含浸させてなるものである。これにより、誘電特性、高温多湿下での機械的、電気的接続信頼性等の各種特性に優れたプリント配線板を製造するのに好適なプリプレグを得ることができる。   The prepreg of the present invention is obtained by impregnating a base material with the resin composition. Thereby, it is possible to obtain a prepreg suitable for manufacturing a printed wiring board excellent in various characteristics such as dielectric characteristics, mechanical and electrical connection reliability under high temperature and high humidity.

前記基材としては、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維、全芳香族ポリアミド樹脂繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙基材等の有機繊維基材等が挙げられる。これらの中でもガラス繊維基材が好ましい。これにより、プリプレグの強度、吸水率を向上することができる。また、プリプレグの熱膨張係数を小さくすることができる。 Examples of the substrate include glass fiber substrates such as glass woven fabric and glass nonwoven fabric, polyamide resin fibers, aromatic polyamide resin fibers, polyamide resin fibers such as wholly aromatic polyamide resin fibers, polyester resin fibers, and aromatic polyester resins. Synthetic fiber base material, kraft paper, cotton linter paper, linter, etc. composed of woven fabric or non-woven fabric mainly composed of fibers, polyester resin fibers such as wholly aromatic polyester resin fibers, polyimide resin fibers, fluororesin fibers, etc. Examples thereof include organic fiber base materials such as paper base materials mainly containing kraft pulp mixed paper. Among these, a glass fiber base material is preferable. Thereby, the intensity | strength of a prepreg and a water absorption rate can be improved. Moreover, the thermal expansion coefficient of the prepreg can be reduced.

前記樹脂組成物を基材に含浸させる方法は、例えば、本発明の樹脂組成物を用いて樹脂ワニスを調製し、基材を樹脂ワニスに浸漬する方法、各種コーターによる塗布する方法、スプレーによる吹き付ける方法等が挙げられる。これらの中でも、基材を樹脂ワニスに浸漬する方法が好ましい。これにより、繊維基材に対する樹脂組成物の含浸性を向上することができる。なお、基材を樹脂ワニスに浸漬する場合、通常の含浸塗布設備を使用することができる。   Examples of the method of impregnating the substrate with the resin composition include, for example, preparing a resin varnish using the resin composition of the present invention, immersing the substrate in the resin varnish, applying with various coaters, and spraying by spraying Methods and the like. Among these, the method of immersing the base material in the resin varnish is preferable. Thereby, the impregnation property of the resin composition with respect to the fiber base material can be improved. In addition, when a base material is immersed in a resin varnish, a normal impregnation coating equipment can be used.

前記樹脂ワニスに用いられる溶媒は、前記樹脂組成物中の樹脂成分に対して良好な溶解性を示すことが望ましいが、悪影響を及ぼさない範囲で貧溶媒を使用しても構わない。良好な溶解性を示す溶媒としては、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、セルソルブ系、カルビトール系等が挙げられる。   The solvent used in the resin varnish desirably exhibits good solubility in the resin component in the resin composition, but a poor solvent may be used within a range that does not adversely affect the resin varnish. Examples of the solvent exhibiting good solubility include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, tetrahydrofuran, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, ethylene glycol, cellosolve and carbitol.

前記樹脂ワニスの固形分は、特に限定されないが、前記樹脂組成物の固形分40〜80重量%が好ましく、特に50〜75重量%が好ましい。これにより、樹脂ワニスの繊維基材への含浸性を更に向上できる。前記繊維基材に前記樹脂組成物を含浸させ、所定温度、例えば80〜200℃等で乾燥させることによりプリプレグを得ることが出来る。   The solid content of the resin varnish is not particularly limited, but the solid content of the resin composition is preferably 40 to 80% by weight, and particularly preferably 50 to 75% by weight. Thereby, the impregnation property to the fiber base material of the resin varnish can further be improved. A prepreg can be obtained by impregnating the fiber base material with the resin composition and drying at a predetermined temperature, for example, 80 to 200 ° C.

次に、積層板について説明する。   Next, a laminated board is demonstrated.

本発明の積層板は、前記のプリプレグを少なくとも1枚成形してなるものである。これにより、誘電特性、高温多湿化での機械的、電気的接続信頼性に優れた積層板を得ることができる。
プリプレグ1枚のときは、その上下両面もしくは片面に金属箔あるいはフィルムを重ねる。また、プリプレグを2枚以上積層することもできる。プリプレグ2枚以上積層するときは、積層したプリプレグの最も外側の上下両面もしくは片面に金属箔あるいはフィルムを重ねる。次に、プリプレグと金属箔等とを重ねたものを加熱、加圧することで積層板を得ることができる。前記加熱する温度は、特に限定されないが、120〜240℃が好ましく、特に150〜230℃が好ましい。また、前記加圧する圧力は、特に限定されないが、2〜5MPaが好ましく、特に2.5〜4MPaが好ましい。
The laminate of the present invention is formed by molding at least one of the above prepregs. Thereby, the laminated board excellent in the dielectric property and the mechanical and electrical connection reliability in high temperature and high humidity can be obtained.
In the case of a single prepreg, a metal foil or film is stacked on both upper and lower surfaces or one surface. Two or more prepregs can be laminated. When two or more prepregs are laminated, a metal foil or film is laminated on the outermost upper and lower surfaces or one surface of the laminated prepreg. Next, a laminate can be obtained by heating and pressurizing a laminate of a prepreg and a metal foil. Although the temperature to heat is not specifically limited, 120-240 degreeC is preferable and especially 150-230 degreeC is preferable. Moreover, the pressure to pressurize is not particularly limited, but is preferably 2 to 5 MPa, and particularly preferably 2.5 to 4 MPa.

前記金属箔は、例えば、銅及び銅系合金、アルミ及びアルミ系合金、銀及び銀系合金、金及び金系合金、亜鉛及び亜鉛系合金、ニッケル及びニッケル系合金、錫及び錫系合金、鉄および鉄系合金等より得られるものが挙げられる。
また、前記フィルムは、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、フッ素系樹脂等を挙げることができる。
The metal foil is, for example, copper and copper alloy, aluminum and aluminum alloy, silver and silver alloy, gold and gold alloy, zinc and zinc alloy, nickel and nickel alloy, tin and tin alloy, iron And those obtained from iron-based alloys and the like.
Examples of the film include polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polyimide, and fluorine resin.

次に、多層プリント配線板について説明する。 Next, a multilayer printed wiring board will be described.

前記上下面に銅箔を有する積層板を用意し、その両面に、エッチング等により所定の導体回路(内層回路)を形成し、導体回路を黒化処理等の粗化処理することにより内層回路基板を作製する。   An inner layer circuit board is prepared by preparing a laminated board having copper foil on the upper and lower surfaces, forming a predetermined conductor circuit (inner layer circuit) by etching or the like on both surfaces, and subjecting the conductor circuit to a roughening treatment such as blackening treatment. Is made.

次に前記内層回路基板の上下面に、市販の樹脂シート、または前述したプリプレグを形成し、加熱加圧成形する。   Next, a commercially available resin sheet or the above-described prepreg is formed on the upper and lower surfaces of the inner layer circuit board, and is heated and pressed.

具体的には、樹脂シート、またはプリプレグと、内層回路基板とを合わせて、真空加圧式ラミネーター装置などを用いて真空加熱加圧成形させる。その後、熱風乾燥装置等で加熱硬化させることにより内層回路基板上に絶縁層を形成することができる。
ここで加熱加圧成形する条件としては特に限定されないが、一例を挙げると、温度60〜160℃、圧力0.2〜3MPaで実施することができる。また、加熱硬化させる条件としては特に限定されないが、一例を挙げると、温度140〜240℃、時間30〜120分間で実施することができる。
Specifically, the resin sheet or prepreg and the inner layer circuit board are combined and subjected to vacuum heating and press molding using a vacuum pressurizing laminator apparatus or the like. Thereafter, the insulating layer can be formed on the inner circuit board by heat-curing with a hot air drying device or the like.
Although it does not specifically limit as conditions to heat-press form here, if an example is given, it can implement at the temperature of 60-160 degreeC, and the pressure of 0.2-3 MPa. Moreover, it is although it does not specifically limit as conditions to heat-harden, If an example is given, it can implement in temperature 140-240 degreeC and time 30-120 minutes.

また、他の方法としては、樹脂シート、またはプリプレグを内層回路基板に重ね合わせ、これを平板プレス装置などを用いて加熱加圧成形することにより内層回路基板上に絶縁層を形成することもできる。
ここで加熱加圧成形する条件としては、特に限定されないが、一例を挙げると、温度140〜240℃、圧力1〜4MPaで実施することができる。
As another method, an insulating layer can be formed on the inner layer circuit board by superposing a resin sheet or a prepreg on the inner layer circuit board and then heating and pressing the same using a flat plate press or the like. .
Although it does not specifically limit as conditions to heat-press form here, If an example is given, it can implement at the temperature of 140-240 degreeC, and the pressure of 1-4 MPa.

前記の方法により得られた基板は、絶縁層表面を過マンガン酸塩、重クロム酸塩等の酸化剤などにより粗化処理した後、金属メッキにより新たな導電配線回路を形成することができる。   The substrate obtained by the above method can form a new conductive wiring circuit by metal plating after roughening the surface of the insulating layer with an oxidizing agent such as permanganate or dichromate.

その後、前記絶縁層を加熱することにより硬化させる。硬化させる温度は、特に限定されないが、例えば、100℃〜250℃の範囲で硬化させることができる。好ましくは150℃〜200℃で硬化させることである。   Thereafter, the insulating layer is cured by heating. Although the temperature to harden | cure is not specifically limited, For example, it can be made to harden | cure in the range of 100 to 250 degreeC. Preferably it is made to harden | cure at 150 to 200 degreeC.

次に、絶縁層に、炭酸レーザー装置を用いて開口部を設け、電解銅めっきにより絶縁層表面に外層回路形成を行い、外層回路と内層回路との導通を図る。なお、外層回路には、半導体素子を実装するための接続用電極部を設ける。   Next, an opening is provided in the insulating layer by using a carbonic acid laser device, and an outer layer circuit is formed on the surface of the insulating layer by electrolytic copper plating to achieve conduction between the outer layer circuit and the inner layer circuit. The outer layer circuit is provided with a connection electrode portion for mounting a semiconductor element.

その後、最外層にソルダーレジスト層を形成し、露光・現像により半導体素子が実装できるよう接続用電極部を露出させ、ニッケル金メッキ処理を施し、所定の大きさに切断し、多層プリント配線板を得ることができる。 After that, a solder resist layer is formed on the outermost layer, the connection electrode part is exposed so that a semiconductor element can be mounted by exposure and development, nickel gold plating treatment is performed, and a predetermined size is obtained to obtain a multilayer printed wiring board be able to.

次に、半導体装置について説明する。   Next, a semiconductor device will be described.

半導体装置は、前記方法にて製造された多層プリント配線板に半導体素子を実装し、製造することができる。   The semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor element on the multilayer printed wiring board manufactured by the above method.

前記半導体素子の実装方法、及び封止方法は、特に限定されないが、例えば、半導体素子と多層プリント配線板とを用い、フリップチップボンダーなどを用いて多層プリント配線板上の接続用電極部と半導体素子の半田バンプとの位置合わせを行う。その後、IRリフロー装置、熱板、その他加熱装置を用いて半田バンプを融点以上に加熱し、多層プリント配線板と半田バンプとを溶融接合することにより接続する。そして、多層プリント配線板と半導体素子との間に液状封止樹脂を充填し、硬化させることで半導体装置を得ることができる。   The mounting method and the sealing method of the semiconductor element are not particularly limited. For example, the semiconductor device and the multilayer printed wiring board are used, and the connection electrode portion and the semiconductor on the multilayer printed wiring board using a flip chip bonder or the like. Align with the solder bump of the element. Thereafter, the solder bump is heated to the melting point or higher by using an IR reflow device, a hot plate, or other heating device, and the multilayer printed wiring board and the solder bump are connected by fusion bonding. And a semiconductor device can be obtained by filling and hardening a liquid sealing resin between a multilayer printed wiring board and a semiconductor element.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.

以下、本発明を実施例および比較例により詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples.

実施例及び比較例において用いた原材料は以下の通りである。
(1)無機充填剤A/略立方体状ベーマイトA;大明化学工業社製C60 平均粒子径6.0μm BET比表面積3.0m/g
(2)無機充填剤B/略立方体状ベーマイトB;大明化学工業社製C20 平均粒子径1.9μm BET比表面積4.0m/g
(3)無機充填剤C/略立方体状ベーマイトC;大明化学工業社製C06 平均粒子径0.6μm BET比表面積15m/g
(4)無機充填剤D/シリカ;アドマテックス社製SO−C2、平均粒子径0.5μm
(5)無機充填剤E/シリカ;アドマテックス社製SO−C4、平均粒子径1.0μm
(6)無機充填剤F/シリカ;電気化学工業社製SFP−20M、平均粒子径0.3μm
(7)無機充填剤G/水酸化アルミニウム;日本軽金属社製BE033、平均粒子径2.2μm
(8)無機充填剤H/板状ベーマイト;河合石灰工業社製BMT 平均粒径4.0μm
(9)無機充填剤I/針状ベーマイト;河合石灰工業社製BMI 平均粒径4.0μm
(10)エポキシ樹脂A/ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂;DIC社製 「HP7200H」
(11)エポキシ樹脂B/メトキシナフタレンジメチレン型エポキシ樹脂;DIC社製 「HP−4032D」
(12)エポキシ樹脂C/ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂:日本化薬社製「NC−3000」
(13)シアネート樹脂/ノボラック型シアネート樹脂:ロンザジャパン社製・「プリマセットPT−30」
(14)フェノール樹脂A/トリアジンノボラック樹脂;DIC社製「KA−1356」
(15)フェノール樹脂B/トリアジンノボラック樹脂;DIC社製「LA−3018」
(16)フェノール樹脂C/フェノールノボラック樹脂;日本化薬社製「GPH−103」
(17)硬化促進剤/イミダゾール化合物;四国化成工業社製「2PHZ」
(18)カップリング剤/エポキシシランカップリング剤:GE東芝シリコーン社製「A-187」
The raw materials used in Examples and Comparative Examples are as follows.
(1) Inorganic filler A / substantially cubic boehmite A; C60 manufactured by Daimei Chemical Co., Ltd. Average particle size 6.0 μm BET specific surface area 3.0 m 2 / g
(2) Inorganic filler B / substantially cubic boehmite B; C20 manufactured by Daimei Chemical Co., Ltd. Average particle size 1.9 μm BET specific surface area 4.0 m 2 / g
(3) Inorganic filler C / substantially cubic boehmite C; C06 produced by Daimei Chemical Co., Ltd. Average particle size 0.6 μm BET specific surface area 15 m 2 / g
(4) Inorganic filler D / silica; Admatex SO-C2, average particle size 0.5 μm
(5) Inorganic filler E / silica; Admatex SO-C4, average particle size 1.0 μm
(6) Inorganic filler F / silica; SFP-20M manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., average particle size 0.3 μm
(7) Inorganic filler G / aluminum hydroxide; BE033 manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd., average particle size 2.2 μm
(8) Inorganic filler H / plate boehmite; BMT average particle diameter of 4.0 μm manufactured by Kawai Lime Industry Co., Ltd.
(9) Inorganic filler I / acicular boehmite; BMI average particle size of 4.0 μm manufactured by Kawai Lime Industry Co., Ltd.
(10) Epoxy resin A / dicyclopentadiene type epoxy resin; “HP7200H” manufactured by DIC
(11) Epoxy resin B / methoxynaphthalene dimethylene type epoxy resin; “HP-4032D” manufactured by DIC
(12) Epoxy resin C / biphenyldimethylene type epoxy resin: “NC-3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
(13) Cyanate resin / Novolac type cyanate resin: Lonza Japan Co., Ltd. “Primaset PT-30”
(14) Phenol resin A / triazine novolac resin; "KA-1356" manufactured by DIC
(15) Phenol resin B / triazine novolac resin; “LA-3018” manufactured by DIC
(16) Phenol resin C / phenol novolak resin; “GPH-103” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
(17) Curing accelerator / imidazole compound; “2PHZ” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.
(18) Coupling agent / epoxysilane coupling agent: “A-187” manufactured by GE Toshiba Silicone

参考例1>
(1)樹脂ワニスの調製
エポキシ樹脂A 33.1重量部、フェノール樹脂A 6.7重量部、硬化促進剤 0.2重量部、カップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填剤A 39.8重量部、無機充填剤E 19.9重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌し、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
< Reference Example 1>
(1) Preparation of resin varnish 33.1 parts by weight of epoxy resin A, 6.7 parts by weight of phenol resin A, 0.2 parts by weight of curing accelerator, and 0.3 parts by weight of coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. . Furthermore, 39.8 parts by weight of inorganic filler A and 19.9 parts by weight of inorganic filler E were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.

(2)プリプレグの作製
上記の樹脂ワニスをガラス織布1(厚さ94μm、日東紡績社製、WEA−2116)に含浸し、150℃の加熱炉で2分間乾燥して、プリプレグ中の樹脂組成物分が約50重量%のプリプレグ1を得た。同様にしてガラス織布2(厚さ24μm、日東紡績社製、WEA―1037)を用いて、プリプレグ中の樹脂組成物分が約60%のプリプレグ2を得た。同様にしてガラス織布3(厚さ20μm、日東紡績社製、WEA―1027)を用いて、プリプレグ中の樹脂組成物分が約75%のプリプレグ3を得た。
(2) Preparation of prepreg The above resin varnish was impregnated into glass woven fabric 1 (thickness 94 μm, manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd., WEA-2116), dried in a heating furnace at 150 ° C. for 2 minutes, and resin composition in the prepreg A prepreg 1 having a material content of about 50% by weight was obtained. Similarly, using glass woven fabric 2 (thickness 24 μm, manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd., WEA-1037), prepreg 2 having a resin composition content of about 60% was obtained. Similarly, using glass woven fabric 3 (thickness 20 μm, manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd., WEA-1027), a prepreg 3 having a resin composition content of about 75% was obtained.

(3)積層板の作製
上記のプリプレグ1を2枚重ね、両面に18μmの銅箔(三井金属社製)を重ねて、圧力4MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形することによって、両面に銅箔を有する厚さ0.2mmの積層板1を得た。同様にしてプリプレグ2の両面に12μmの銅箔(三井金属社製)を重ねて、圧力4MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形することによって、両面に銅箔を有する厚さ30μmの積層板2を得た。
(3) Production of Laminate Sheet Two prepregs 1 are stacked, 18 μm copper foil (made by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) is stacked on both sides, and heated and pressure-molded at a pressure of 4 MPa and a temperature of 200 ° C. for 2 hours to form both sides. A laminate 1 having a thickness of 0.2 mm having a copper foil was obtained. Similarly, a 12 μm copper foil (made by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) is stacked on both sides of the prepreg 2 and heated and pressed at a pressure of 4 MPa and a temperature of 200 ° C. for 2 hours to laminate a copper foil on both sides with a thickness of 30 μm. Plate 2 was obtained.

(4)多層プリント配線板の作製
前記で得られた積層板1に、0.1mmのドリルビットを用いてスルーホール加工を行った後、メッキによりスルーホールを充填した。さらに、両面をエッチングにより回路形成し、内層回路基板として用いた。前記内層回路基板の表裏に、前記で得られたプリプレグ3を重ね合わせ、両面に12μmの銅箔(三井金属社製)を重ねて、圧力3MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形させることによって、多層プリント配線板を得た。
(4) Production of multilayer printed wiring board After the through-hole processing was performed on the laminated board 1 obtained above using a 0.1 mm drill bit, the through-hole was filled by plating. Further, a circuit was formed on both sides by etching and used as an inner layer circuit board. The prepreg 3 obtained above is overlapped on the front and back of the inner layer circuit board, and a 12 μm copper foil (made by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) is overlapped on both sides, followed by heat-pressure molding at a pressure of 3 MPa and a temperature of 200 ° C. for 2 hours. Thus, a multilayer printed wiring board was obtained.

参考例2>
エポキシ樹脂B 22.4重量部、フェノール樹脂B 12.4重量部、硬化促進剤 0.2重量部、カップリング剤0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填剤B 39.8重量部と無機充填材F 19.9重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
< Reference Example 2>
22.4 parts by weight of epoxy resin B, 12.4 parts by weight of phenol resin B, 0.2 parts by weight of curing accelerator, and 0.3 parts by weight of coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 39.8 parts by weight of the inorganic filler B and 19.9 parts by weight of the inorganic filler F were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<実施例3>
エポキシ樹脂C 8.4重量部、シアネート樹脂B 15.0重量部、フェノール樹脂C 6.6重量部、シランカップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填剤B 29.9重量部と無機充填材G 39.8重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Example 3>
8.4 parts by weight of epoxy resin C, 15.0 parts by weight of cyanate resin B, 6.6 parts by weight of phenol resin C, and 0.3 parts by weight of silane coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 29.9 parts by weight of inorganic filler B and 39.8 parts by weight of inorganic filler G were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirring device to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<実施例4>
エポキシ樹脂C 11.2重量部、シアネート樹脂 20.0重量部、フェノール樹脂C 8.8重量部、カップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材C 19.9重量部と無機充填材D 9.9重量部、無機充填材G 29.9重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Example 4>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, 8.8 parts by weight of phenol resin C, and 0.3 parts by weight of a coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Further, 19.9 parts by weight of the inorganic filler C, 9.9 parts by weight of the inorganic filler D, and 29.9 parts by weight of the inorganic filler G were added, and the mixture was stirred for 10 minutes using a high-speed stirrer. A 60% by weight resin varnish was prepared.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<実施例5>
エポキシ樹脂C 11.2重量部、シアネート樹脂20.0重量部、フェノール樹脂C 8.8重量部、カップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材A 59.7重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Example 5>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, 8.8 parts by weight of phenol resin C, and 0.3 parts by weight of a coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 59.7 parts by weight of inorganic filler A was added, and the mixture was stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例1>
エポキシ樹脂C 11.2重量部、シアネート樹脂20.0重量部、フェノール樹脂C8.8重量部、をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材H 39.8重量部、無機充填材F 19.9重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative Example 1>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, and 8.8 parts by weight of phenol resin C were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 39.8 parts by weight of the inorganic filler H and 19.9 parts by weight of the inorganic filler F were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例2>
エポキシ樹脂C11.2重量部、シアネート樹脂20.0重量部、フェノール樹脂C8.8重量部、をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材I 39.8重量部、無機充填材F 19.9重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative example 2>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, and 8.8 parts by weight of phenol resin C were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 39.8 parts by weight of the inorganic filler I and 19.9 parts by weight of the inorganic filler F were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例3>
エポキシ樹脂C11.2重量部、シアネート樹脂20.0重量部、フェノール樹脂C8.8重量部、をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材H 9.9重量部、無機充填材F 49.8重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative Example 3>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, and 8.8 parts by weight of phenol resin C were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 9.9 parts by weight of the inorganic filler H and 49.8 parts by weight of the inorganic filler F were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例4>
エポキシ樹脂C11.2重量部、シアネート樹脂20.0重量部、フェノール樹脂C8.8重量部、をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材I 9.9重量部、無機充填材F 49.8重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative Example 4>
11.2 parts by weight of epoxy resin C, 20.0 parts by weight of cyanate resin, and 8.8 parts by weight of phenol resin C were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 9.9 parts by weight of the inorganic filler I and 49.8 parts by weight of the inorganic filler F were added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例5>
エポキシ樹脂B 19.2重量部、フェノール樹脂B 10.6重量部、硬化促進剤0.2重量部、シランカップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填剤G 69.7重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative Example 5>
19.2 parts by weight of epoxy resin B, 10.6 parts by weight of phenol resin B, 0.2 parts by weight of curing accelerator, and 0.3 parts by weight of silane coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 69.7 parts by weight of inorganic filler G was added, and the mixture was stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

<比較例6>
エポキシ樹脂A 33.1重量部、フェノール樹脂A 6.7重量部、硬化促進剤 0.2重量部、カップリング剤 0.3重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填剤D 59.7重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌し、固形分60重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、参考例1と同様にして、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板を得た。
<Comparative Example 6>
33.1 parts by weight of epoxy resin A, 6.7 parts by weight of phenol resin A, 0.2 parts by weight of curing accelerator, and 0.3 parts by weight of coupling agent were dissolved and dispersed in methyl ethyl ketone. Furthermore, 59.7 parts by weight of inorganic filler D was added and stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a resin varnish having a solid content of 60% by weight.
Using this resin varnish, a prepreg, a laminate, and a multilayer printed wiring board were obtained in the same manner as in Reference Example 1.

実施例および比較例で得られた積層板、多層プリント配線板について、特性の評価を行った。結果を表1、及び表2に示す。   The characteristics of the laminates and multilayer printed wiring boards obtained in the examples and comparative examples were evaluated. The results are shown in Tables 1 and 2.

評価方法は、以下で説明する。 The evaluation method will be described below.

(1)熱膨張係数
厚さ0.2mmの積層板1の銅箔を全面エッチングし、得られた積層板から4mm×20mmのテストピースを切り出し、TMAを用いて10℃/分の条件で、50℃〜150℃での面方向の線膨張係数(平均線膨張係数)を測定した。
(1) The entire surface of the copper foil of the laminate 1 having a thermal expansion coefficient thickness of 0.2 mm is etched, a test piece of 4 mm × 20 mm is cut out from the obtained laminate, and the condition is 10 ° C./min using TMA. The linear expansion coefficient (average linear expansion coefficient) in the plane direction at 50 ° C. to 150 ° C. was measured.

(2)成形性
得られた多層プリント配線板の回路部分の断面を観察し、回路埋め込み性を確認した。各符号は以下のとおりである。
○:異常無し。
×:埋め込み不良有り。
(2) Formability The cross section of the circuit portion of the obtained multilayer printed wiring board was observed to confirm the circuit embedding property. Each code | symbol is as follows.
○: No abnormality.
X: There is an embedding defect.

(3)ドリル加工性
厚さ0.2mmの積層板1を、0.1mmのドリル刃を用い、30万回転で、2000回穴を開けた後の、刃先の状態を評価した。各符号は以下のとおりである。
○:再研磨によるドリル刃の再生が可能
×:ドリル刃の再生が不可能
(3) Drill workability The state of the cutting edge of the laminate 1 having a thickness of 0.2 mm was evaluated after drilling 2000 times at 300,000 revolutions using a 0.1 mm drill blade. Each code | symbol is as follows.
○: Drill blade can be regenerated by regrinding ×: Drill blade cannot be regenerated

(4)半田耐熱性
得られた多層プリント配線板から50mm角にサンプルを切り出し、3/4エッチングし、プレッシャークッカーを用いて121℃2時間処理後、288℃の半田に30秒浸漬させ、膨れ、ミーズリングの有無を観察した。各符号は以下のとおりである。
○:異常なし
×:膨れ、ミーズリング発生
(4) Solder heat resistance A 50 mm square sample was cut out from the obtained multilayer printed wiring board, 3/4 etched, treated at 121 ° C. for 2 hours using a pressure cooker, immersed in 288 ° C. solder for 30 seconds, and swollen The presence or absence of measling was observed. Each code | symbol is as follows.
○: No abnormality ×: Swelling and mesuring

(5)難燃性試験
UL−94規格に従い、厚さ30μmの積層板2の銅箔をエッチングし、規格に従った試験片を作製した。その試験片を用い、垂直法により測定した。
(5) Flame retardance test According to UL-94 standard, the copper foil of the 30-micrometer-thick laminated board 2 was etched, and the test piece according to a standard was produced. The test piece was used and measured by the vertical method.

実施例1〜5は、本発明の略立方体状のベーマイトを含む樹脂組成物を用いたものである。評価全般にわたり良好であった。一方、比較例1、比較例2は、略立方体状のベーマイトを用いなかったため、多層プリント配線板の成形時に不具合が見られた。比較例3、及び比較例4は、比較例1、及び2の成形性を向上させるため球状シリカの配合量を増やしたためドリル加工性と難燃性が低下した。比較例5はベーマイトを使用せず、高硬度であるシリカのみを使用しているためドリル加工性が低下した。比較例6は水酸化アルミニウムのみを使用しているため、成形性、及び耐熱性が劣る結果であった。 Examples 1-5 use the resin composition containing the substantially cubic boehmite of this invention. Good overall evaluation. On the other hand, since Comparative Example 1 and Comparative Example 2 did not use substantially cubic boehmite, problems were observed during the formation of the multilayer printed wiring board. In Comparative Example 3 and Comparative Example 4, the drilling workability and flame retardancy were lowered because the blending amount of spherical silica was increased in order to improve the moldability of Comparative Examples 1 and 2. Since Comparative Example 5 did not use boehmite and only silica having high hardness was used, drill workability was lowered. Since Comparative Example 6 uses only aluminum hydroxide, the moldability and heat resistance were poor.

本発明によれば、吸湿劣化がなく、優れた絶縁信頼性を有し、熱寸法安定性に優れる積層板ならびに多層プリント配線板を製造することができる。これらは電子機器の高機能化等の要求に伴う、高密度実装対応の多層プリント配線板に有用である。 According to the present invention, it is possible to produce a laminated board and a multilayer printed wiring board having no moisture absorption deterioration, excellent insulation reliability, and excellent thermal dimensional stability. These are useful for multilayer printed wiring boards that support high-density mounting in response to demands for higher functionality of electronic devices.

Claims (9)

略立方体状のベーマイトを必須成分とする樹脂組成物であって、前記略立方体状のベーマイトの含有量が、前記樹脂組成物全体の10重量%以上70重量%以下であり、かつ、シアネート樹脂を含有することを特徴とする樹脂組成物。 A resin composition comprising substantially cubic boehmite as an essential component, wherein the content of the substantially cubic boehmite is 10 wt% or more and 70 wt% or less of the whole resin composition, and a cyanate resin is used. A resin composition characterized by containing. 前記略立方体状のベーマイトのBET比表面積が1m2/g以上20m2/g以下である請求項1に記載の樹脂組成物。 2. The resin composition according to claim 1, wherein the substantially cubic boehmite has a BET specific surface area of 1 m 2 / g or more and 20 m 2 / g or less. 前記略立方体状のベーマイトの平均粒子径が0.5μm以上10μm以下である請求項1または2に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1 or 2, wherein an average particle diameter of the substantially cubic boehmite is 0.5 µm or more and 10 µm or less. 請求項1ないし3のいずれかの樹脂組成物は、さらにシリカを含むものである樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising silica. 前記シリカの平均粒子径が0.1um以上2um以下である請求項4に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 4, wherein the silica has an average particle size of 0.1 μm or more and 2 μm or less. 請求項1ないし5のいずれかに記載の樹脂組成物を基材に含浸させてなるプリプレグ。 A prepreg obtained by impregnating a base material with the resin composition according to any one of claims 1 to 5. 請求項6に記載のプリプレグを1枚以上成形してなる積層板。 A laminate obtained by molding one or more prepregs according to claim 6. 請求項6に記載のプリプレグ、及び/または請求項7に記載の積層板を用いてなる多層プリント配線板。 A multilayer printed wiring board using the prepreg according to claim 6 and / or the laminated board according to claim 7. 請求項8に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体装置。   A semiconductor device comprising a semiconductor element mounted on the multilayer printed wiring board according to claim 8.
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