JP5445631B2 - シリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
以下に示す結晶育成条件でシリコン単結晶を育成し、単結晶の有転位化の有無を調査した。なお、シリコン結晶中のボロン濃度および種結晶の傾斜角度におけるいずれの水準についても、シリコン単結晶の引き上げ本数は3本とした。
抵抗率 100〜20mΩcm
p++:ボロン濃度 7×1018〜2×1020atoms/cm3
抵抗率 20〜0.8mΩcm
なお、P+やP++の単結晶を育成するためには、偏析現象を考慮して融液中のドーパント濃度は1/偏析係数倍(1/0.8=1.25倍:ボロンの場合)の濃度にする必要がある。
<結晶育成条件>
結晶軸方位:<110>
単結晶直径:300mm
育成結晶のボロン濃度:p−、p、p+、p++
種結晶のボロン濃度:p
種結晶の傾斜角度:0°、0.7°、1°、5°、10°
ネック部長さ:300mm
調査結果を表5に示す。表5において、3本全てのシリコン単結晶を無転位で育成できた場合を○とし、一部のシリコン単結晶が有転位化した場合を△とし、全ての単結晶が有転位化した場合を×として評価した。実施例2〜実施例4においても同様である。
ネック長さを400mmに変更した以外は実施例1と同一の条件でシリコン単結晶を育成した。シリコン単結晶の有転位化の有無の調査結果を表6に示す。
ネック長さを600mmに変更した以外は実施例1と同一の条件でシリコン単結晶を育成した。調査結果を表7に示す。
種結晶のボロン濃度を育成結晶のボロン濃度に合わせた以外は、全て実施例1と同条件でシリコン単結晶を引き上げた。調査結果を表8に示す。
種結晶の傾斜角度を5°とし、実施例1と同一の条件で、ボロン濃度がp++の種結晶を用いてp++のシリコン単結晶を育成し、(110)面に対する傾斜角度を種々変更してシリコンウェーハを切り出した。各ウェーハに対してエピタキシャル成長処理を施してウェーハ表面にエピタキシャル層を形成した後、エピタキシャル層表面の表面粗さを測定した。
7:シリコン結晶、 8:{111}面稜線方向、 9:種結晶軸方向(結晶引上げ方向)、
10:<110>方位
Claims (2)
- チョクラルスキー法により育成されたシリコン単結晶からシリコンウェーハを切り出すシリコンウェーハの製造方法であって、
中心軸が[110]結晶軸に対して0.6°〜10°傾斜したシリコン種結晶をシリコン融液に浸漬させ、中心軸が[110]結晶軸に対して0.6°〜10°傾斜したシリコン単結晶を育成し、
育成されたシリコン単結晶から、表面が(110)面に対して0.46°〜0.48°傾斜したシリコンウェーハを切り出すことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1に記載の方法により得られたシリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
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