JP5003283B2 - シリコン単結晶の引上げ方法 - Google Patents
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Description
転位が絞りの表面から抜ける際に、刃状転位の場合は上昇することがある。転位の上昇とは通常の転位のすべりとは異なり、空孔が転位のところに到達して初めて可能となる。つまり空孔の拡散が律速となる。引上げ速度を遅くすることにより、拡散の活発な高温域を長く滞留させることができ、これにより転位の上昇が促進され、低抵抗の結晶でも無転位化されるものと思われる。
(比較例1)
引上げ軸の先端部に、10mm角の単結晶育成用種結晶を取り付けて、ルツボ内のシリコン融液の表面に着液させ、直径5mmのネッキング部を作成した。まず、減径部では所定の速度で目標の5mmまで減径させ、直径5mmの定径部に至ってからは10mm/min以下(最高10mm/min、平均6.5mm/min)の引上げ速度でネッキング部を形成した。その後拡径して直径205mmのシリコン単結晶を育成した。また、予め原料融液に金属ボロンエレメントをドープする際に、表1に示すように、拡径したシリコン単結晶は肩部の位置での抵抗率を変化させてそれぞれのボロンドープシリコン単結晶を作製した。
引上げ軸の先端部に、10mm角の単結晶育成用種結晶を取り付けて、ルツボ内のシリコン融液の表面に着液させ、直径5mmのネッキング部を作成した。その後205mmまで拡径してシリコン単結晶を育成した。ネッキング部の形成は、表2に示すように、引上げ速度を変化させて行った。また、この時、拡径したシリコン単結晶は肩部の位置で抵抗率が1mΩ・cmとなるように予め原料融液に金属ボロンエレメントをドープした。
Claims (2)
- 種結晶を融液に接触させて引上げることでシリコン単結晶を育成するチョクラルスキー法において、前記種結晶を融液に接触させた後種結晶の下部にネッキング部を形成し、その後拡径して前記ネッキング部の下部にシリコン単結晶を形成する際、前記ネッキング部形成時の引上げ速度を2mm/min以下とし、前記拡径したシリコン単結晶は肩部の抵抗率が1.5mΩ・cm以下のボロンドープシリコン単結晶としてシリコン単結晶を引上げることを特徴とするシリコン単結晶の引上げ方法。
- 前記ネッキング部の直径を2mm以上5mm未満とすることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の引上げ方法。
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