JP5436227B2 - 電子写真感光体、これを備えた画像形成装置および電子写真感光体の製造方法 - Google Patents
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Description
2 電子写真感光体
20 円筒状基体(導電性基体)
21 被覆層
22 (被覆層の)感光層
23 (被覆層の)耐圧層
24 (被覆層の)a−SiONB含有層
25 (感光層の)電荷注入阻止層
26 (感光層の)光導電層
。この場合の帯電器10は、たとえば電子写真感光体2の軸方向に延びるように張設された放電ワイヤを備えたものとされる。
電子写真感光体は、下記表1に示した寸法を有するアルミニウム製の引き抜き管(円筒状基体)に対して、グロー放電分解装置を用いて、下記表2および表3に示す条件で被覆層を形成することにより作成した。円筒状基体としては、外周面を鏡面加工して洗浄したものを使用した。また、被覆層としては、a−SiONB含有層、耐圧層、電荷注入阻止層、光導電層、および表面層からなる構成とした。なお、a−SiONB含有層におけるO元素およびN元素の含有量は、a−SiONB含有層を形成するときのNOの流量により調整した。
膜剥がれは、目視および光学顕微鏡(「MMFP−TR」;OLYMPAS社製)により確認した。膜剥がれの評価結果については、膜剥がれがないものを「○」、実使用上は問題ない程度の微小な膜剥がれがあるものを「△」、実使用上問題となる程度の膜剥がれが発生しているものを「×」として表3に示した。
電子写真感光体は、基本的に実施例1と同様に表1および表2に示す条件にて作成した。ただし、a−SiONB含有層を形成する場合において、B元素の含有量はa−SiONB含有層を形成するときのB2H6の流量により調整し、NO流量は200sccmに固定した。
電気的特性は、暗部電位および除電後電位として評価した。暗部電位および除電後電位は、電子写真感光体を電位測定機(京セラ株式会社製)に組み込んだ状態で測定した。暗部電位は、電子写真感光体の表面を500Vに帯電させた後の電位として、非接触型表面電位計(「MODEL344」:TREK社製)を用いて測定した。除電後電位は、帯電後の電子写真感光体の表面を除電した後の電位として、接触型表面電位計(「MODEL344」:TREK社製)を用いて測定した。暗部電位および除電後電位の測定結果については、図3に示した。
電子写真感光体は、基本的に実施例1と同様に表1および表2に示す条件にて作成した。ただし、a−SiONB含有層を形成する場合において、a−SiONB含有層の厚みは成膜時間により調整し、NO流量は200sccmに固定した。
画像特性は、除電後電位として評価した。除電後電位は、実施例2と同様に測定した。除電後電位の測定結果については、図4に示した。
電子写真感光体は、a−SiONB含有層を除いて、実施例1と同様の条件にて作成した。a−SiONB含有層は、高周波電力の大きさ除いて、表4に示した条件で形成した。高周波電力は、表5に示した範囲に設定した。
膜剥がれの発生の有無は、実施例1と同様にして検討した。膜剥がれの発生の有無の評価結果は、表5に示した。
電気特性ムラは、電位測定機(京セラ株式会社製)により評価した。電子写真感光体の回転速度は1443.6mm/secとした。電子写真感光体の帯電は、コロナ放電により行なった。このコロナ放電は、グリッド電圧が800V±10Vで、グリッド開効率が95%の帯電器を用いて行なった。電源としては、TREK社製高圧電源「MODEL610E」を用いた。電子写真感光体の露光は、光源としてハロゲンランプ(12V、100W)を連続点灯さるとともに波長720nmの干渉フィルターを用いて行なった。露光エネルギーは1.04μJ/cm2に設定した。除電は、光源として透明フィルター付きLEDユニット(波長660nm、光量600μW/cm2)を用いて行なった。測定時の感光体温度は、42±2℃に設定した。表面電位の値は、TREK社製プローブ「MODEL6000B−7C」を用いて、測定位置は露光後の58°の位置とした。電気特性ムラの評価結果は、表5に示した。
電子写真感光体は、a−SiONB含有層を除いて、実施例1と同様の条件にて作成した。a−SiONB含有層は、高周波電力の大きさを除いて、表6に示した条件で形成した。高周波電力は、表7に示した範囲に設定した。
膜剥がれの発生の有無は、実施例1と同様にして検討した。膜剥がれの発生の有無の評価結果は、表7に示した。
解像度は、富士ゼロックス社製「PS5600A」を用いて形成した画像について、qea社製「personal IAS(Image Analysis System)」を用いて、線幅あるいはドットの確認をすることにより評価した。解像度の評価結果については、表7に示した。表7においては、解像度が600dpi以上を「○」とし、解像度が600dpiよりも小さい場合を「×」として示した。
電子写真感光体は、a−SiONB含有層を除いて、実施例1と同様の条件にて作成した。a−SiONB含有層は、圧力を除いて、表8に示した条件で形成した。圧力は、表9に示した範囲に設定した。
膜剥がれの発生の有無は、実施例1と同様にして検討した。膜剥がれの発生の有無の評価結果は、表9に示した。
電気特性ムラは、電位測定機(京セラ株式会社製)を用いて実施例4と同様にして評価した。電気特性ムラの評価結果は、表9に示した。
電子写真感光体は、a−SiONB含有層を除いて、実施例1と同様の条件にて作成した。a−SiONB含有層は、成膜時間を除いて、表10に示した条件で形成した。成膜時間は、表11に示した範囲に設定した。
膜剥がれの発生の有無は、実施例1と同様にして検討した。膜剥がれの発生の有無の評価結果は、表11に示した。
電気特性ムラは、電位測定機(京セラ株式会社製)を用いて実施例4と同様にして評価した。電気特性ムラの評価結果は、表9に示した。
Claims (13)
- 導電性基体と、該導電性基体を被覆する被覆層とを備える電子写真感光体であって、
前記被覆層は、感光層と、前記導電性基体と前記感光層との間に位置し、第13族元素および窒素以外の第15族元素を含まない耐圧層と、前記導電性基体と前記耐圧層との間に位置するa−SiONB含有層と、を含んでなる、電子写真感光体。 - 前記a−SiONB含有層におけるN元素の含有量は、原子数を基準として、Si元素の含有量を100としたときに0.630%以上である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記a−SiONB含有層におけるO元素の含有量は、原子数を基準として、Si元素の含有量を100としたときに1.05%以上である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記a−SiONB含有層におけるB元素の含有量は、Si元素の含有量を100としたときに、200ppm以上1000ppm以下である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記a−SiONB含有層の厚みは、0.15μm以上1.05μm以下である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記耐圧層は、a−SiNを含んでいる、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記耐圧層における窒素原子数とシリコン原子数との合計に対する窒素原子数の比率は、0.01以上0.55以下である、請求項6に記載の電子写真感光体。
- 前記耐圧層の厚みは、0.5μm以上1.2μm以下である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 前記感光層の厚みは、15μm以上90μm以下である、請求項1に記載の電子写真感光体。
- 請求項1に記載の電子写真感光体を備えることを特徴とする、画像形成装置。
- 導電性基体上にa−SiONB含有層を形成する第1工程と、前記a−SiONB含有層上に第13族元素および窒素以外の第15族元素を含まない耐圧層を形成する第2工程と、前記耐圧層上に感光層を形成する第3工程と、を含む電子写真感光体の製造方法であって、
前記第1工程は、導電性基体を収容した反応室に原料ガスを供給するとともに、前記導電性基体に高周波電力を供給することにより行なわれ、かつ、
前記高周波電力は、50W以上400W以下に設定される、電子写真感光体の製造方法。 - 前記第1工程において、前記原料ガスとしてSi化合物を含有するものが使用され、かつ、前記高周波電力1W当たりの前記Si化合物の流量が2.5sccm以上13.3sccm以下に設定される、請求項11に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記第1工程において、前記反応室における圧力が40.0Pa以上146.7Pa以下に設定される、請求項11に記載の電子写真感光体の製造方法。
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