JP5435909B2 - スライドの変形を吸収するためのひずみメカニズムモジュールを有する試料移動ステージ - Google Patents
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Description
10 ベースフレーム
11 ガイドレール
31 ガイドレール
20 第1のスライド
30 第2のスライド
40 試料テーブル
41 試料
42 Xバーミラー
43 Yバーミラー
50 ひずみメカニズム
52 取付部
53 緩衝孔
54 変形ライン
63 干渉計
64 受信機
Claims (9)
- 相互横断方向に取り付けられた第1のスライド(20)及び第2のスライド(30)を有する可動部並びに試料(41)を移動させるために構成された試料テーブル(40)を有する移動部から構成される試料移動ステージ(1)であって、前記第1のスライド(20)は、ベースフレーム(10)に取り付けられ且つ第1のガイドブロック(21)に沿って移動可能であり、前記第2のスライド(30)は、前記第1のスライド(20)に取り付けられ且つ第2のガイドブロック(32)に沿って移動可能であり、前記試料テーブル(40)は、ひずみメカニズムモジュール(50)を介して前記第2のスライド(30)に取り付けられている当該試料移動ステージ(1)において、
前記ひずみメカニズムモジュール(50)が、前記試料テーブル(40)を取り付けるための1つの接続孔(51)を有する取付部(52)と、前記取付部(52)を前記第2のスライド(30)に取り付けるための1つのブリッジ部(56)と、特定の規則的な間隔で配置されている複数の緩衝孔(53)と、前記複数の緩衝孔(53)の中心につながっている複数の変形ライン(54)とを有する結果、前記ひずみメカニズムモジュール(50)が、前記第2のスライドの変形を吸収する変形空間を提供するように構成されている当該試料移動ステージ(1)。 - 前記ひずみメカニズムモジュール(50)は、前記第2のスライド(30)上に形成されていて、前記緩衝孔(53)は、前記第2のスライド(30)の上側に形成されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記第2のスライドの変形を吸収するために適合された1つのひずみメカニズムモジュール(50)が、前記第2のスライド(30)の4つの角の各々に配置されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記第2のスライドの変形を吸収するために適合された1つのひずみメカニズムモジュール(50)が、前記第2のスライド(30)の、一方の側の2つの角と他方の側の2つの角とに配置されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
- 5つ以上のひずみメカニズムモジュール(50)が、前記第2のスライド(30)に対して対称に(a)又は非対称に(b)に配置されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記取付部(52)の上面が、前記試料テーブル(40)に接触する緩衝材を有する請求項2に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記取付部(52)と前記ブリッジ部(56)との接触領域が、(a)線形、(b)半円形及び(c)楕円形のうちの少なくとも1つの形を有する請求項2に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記ひずみメカニズムモジュール(50)は、前記第2のスライド(30)に接合されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
- 前記移動部は、試料テーブル(40)上に取付たれたXバーミラー(42)及びYバーミラー(43)を有し、前記試料移動ステージは、前記可動部の動作経路に取り付けられたレーザーヘッド(61)、ビーム分割器(62)及び干渉計(63)を有する計測部からさらに構成され、この計測部は、前記Xバーミラー(42)及び前記Yバーミラー(43)によって反射された入力ビーム干渉信号を受信機(64)から受信することによって変位信号を出力するために構成されている請求項1に記載の試料移動ステージ(1)。
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