JP5427128B2 - 基板検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
Vi(x,y)=Bi(x,y)/Ai(x,y)・・・・(1)
100 測定ステージ部
200 画像撮影部
300 第1投射部
400 第2投射部
450 第2照明ユニット
500 画像取得部
600 モジュール制御部
700 中央制御部
900 プリント回路基板
910 ターミナル
920 半田
1100 実装基板検査装置
1110 検査対象物
1120 ステージ
1130 画像撮影部
1140 第1照明部
1150 投射部
1160 第2照明部
1170 第3照明部
1180 制御部
Claims (8)
- 測定対象物を撮影して前記測定対象物の少なくとも明度を示すイメージデータを、ピクセル別に取得し、
前記測定対象物の高さの値を示す高さデータ及び前記測定対象物のビジビリティ(visibility)データのうち少なくとも1つを、ピクセル別に取得し、
前記取得された前記イメージデータと、前記取得された前記高さデータ及び前記ビジビリティデータのうち少なくとも1つとを、前記ピクセル別に乗算して結果値を算出し、
前記算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含み、
前記ビジビリティデータは、格子パターン光を前記測定対象物にN回投射したときのN回分の明るさ信号の平均を前記ピクセル別に示す平均(Ai(x、y))に対する、当該N回分の明るさ信号の振幅を前記ピクセル別に示す振幅(Bi(x、y))の比率(Vi(x、y)=Bi(x、y)/Ai(x、y))であることを特徴とする検査方法。 - 前記測定対象物の高さの値を示す高さデータ及び前記測定対象物のビジビリティ(visibility)データを、ピクセル別に取得し、
前記結果値は、前記ピクセル別に前記イメージデータと前記高さデータと前記ビジビリティデータとを、前記ピクセル別に乗算して算出することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 - 前記測定対象物の前記高さデータ及び前記ビジビリティデータのうち少なくとも1つを、ピクセル別に取得することは、
格子パターン光をN回前記測定対象物上に投射し、
前記測定対象物上にN回投射された前記格子パターン光により反射イメージデータをN回取得し、
前記取得されたN個の反射イメージデータを利用して前記高さデータを取得し、
前記反射イメージデータを利用して前記ビジビリティデータを取得すること、を含むことを特徴にする請求項1に記載の検査方法。 - 前記測定対象物上に投射された前記格子パターン光により反射イメージデータをN回取得した後、
前記N個の反射イメージデータを平均化して前記イメージデータを取得すること、を含むことを特徴とする請求項3に記載の検査方法。 - 前記測定対象物は複数の方向から撮影され、
前記測定対象物の前記ピクセル別イメージデータ、前記ピクセル別高さデータ、及び前記ピクセル別ビジビリティデータは、前記複数の方向別にそれぞれ取得され、
前記イメージデータと、前記高さデータ及び前記ビジビリティデータのうち少なくとも1つとを、前記ピクセル別に乗算して前記結果値を算出することは、
前記ピクセル別の前記複数の方向のイメージデータからイメージデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別の前記複数の方向の高さデータから高さデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別の前記複数の方向のビジビリティデータからビジビリティデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別に選択された前記イメージデータ最大値、前記高さデータ最大値、及び前記ビジビリティデータ最大値を、前記ピクセル別に乗算して前記結果値を算出すること、を含むことを特徴とする請求項3に記載の検査方法。 - 前記ピクセル別に取得された前記イメージデータと、前記高さデータ及び前記ビジビリティデータのうち少なくとも1つとを、前記ピクセル別に乗算して前記結果値を算出することは、
前記イメージデータ最大値、前記高さデータ最大値、及び前記ビジビリティデータ最大値が、それぞれ所定の基準値より大きいか否かを確認すること、を更に含むことを特徴とする請求項5に記載の検査方法。 - 複数のM個の方向に格子パターン光を測定対象物にN回ずつ照射して前記測定対象物のM×N個のイメージデータ、M個の高さデータ、及びM個のビジビリティデータを、ピクセル別に取得し(NとMは、2以上の自然数)、
前記M×N個のイメージデータのうち、M個の方向別にN個のイメージデータをそれぞれ平均化して、前記ピクセル別に前記M個の方向に対応するM個の平均イメージデータを算出し、
前記ピクセル別に前記M個の平均イメージデータから平均イメージデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別に前記M個の高さデータから高さデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別に前記M個のビジビリティデータからビジビリティデータ最大値を選択し、
前記ピクセル別に選択された前記平均イメージデータ最大値、前記高さデータ最大値、前記ビジビリティデータ最大値を前記ピクセル別に乗算して結果値を算出し、
前記算出された結果値を利用してターミナル領域を区分すること、を含み、
前記イメージデータは、前記測定対象物の少なくとも明度を示し、
前記高さデータは、前記測定対象物の高さの値を示し、
前記ビジビリティデータは、格子パターン光を前記測定対象物にN回投射したときのN回分の明るさ信号の平均を前記ピクセル別に示す平均(Ai(x、y))に対する、当該N回分の明るさ信号の振幅を前記ピクセル別に示す振幅(Bi(x、y))の比率(Vi(x、y)=Bi(x、y)/Ai(x、y))であることを特徴とする検査方法。 - 前記算出された結果値を利用して前記ターミナル領域を区分することは、
前記ピクセル別に算出された結果値を少なくとも2つのグループに分類し、同一のグループに属するピクセルは、連続して分布するようにし、
前記分類されたグループを利用して半田領域から前記ターミナル領域を区分すること、を含むことを特徴とする請求項7に記載の検査方法。
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