KR100956547B1 - 3차원형상 측정장치 및 방법 - Google Patents

3차원형상 측정장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수개의 결상부를 이용하여 검사대상물을 여러 방향에서 동시에 촬영할 수 있는 3차원형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 3차원형상 측정장치는 격자무늬조명을 발생하여 조사하는 투영부(10)와, 투영부(10)의 하측에 설치되어 검사대상물(P)을 이송시키는 X-Y축 이송테이블(20)과, 투영부(10)와 X-Y축 이송테이블(20) 사이에 설치되어 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부(30)와, 빔 분리부(30)의 하측에 서로 원주방향으로 이격되도록 설치되어 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지가 조사되면 이를 반사시키는 다수개의 반사거울(40)과, 빔 분리부(30)와 다수개의 반사거울(40)의 일측에 각각 설치되어 빔 분리부(30)에서 통과되는 격자무늬 이미지와 다수개의 반사거울(40)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영하는 다수개의 결상부(50)로 구성됨을 특징으로 한다.
3차원, 측정, 격자, 조명, 카메라, 제어

Description

3차원형상 측정장치 및 방법{Apparatus and method for measuring three dimension shape of a object}
본 발명은 3차원형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수개의 결상부를 이용하여 검사대상물을 여러 방향에서 동시에 촬영할 수 있는 3차원형상 측정장치 및 방법에 관한 것이다.
검사대상물의 3차원형상을 측정하기 위해 3차원형상 측정장치가 적용되며, 이러한 3차원형상 측정장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1에서와 같이 종래의 3차원형상 측정장치는 X-Y축 이송테이블(1), 투영부(2) 및 카메라(3)로 구성되며, 각각의 구성을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
X-Y축 이송테이블(1)은 검사대상물(object: P)을 X축이나 Y축으로 이송시키며, 투영부(2)는 검사대상물(P)로 격자무늬조명을 발생하여 조사한다. 격자무늬조명을 발생하여 조사하는 투영부(2)는 조명원(2a), 격자소자(2b), 격자이송기구(2c), 투영렌즈(2d)로 구성된다. 조명원(2a)은 빛을 발생하여 격자소자(2b)로 조사하며, 격자소자(2b)는 조사된 빛을 격자무늬조명으로 변환시켜 투영렌즈(2d)를 통해 검사대상물(P)로 조사한다.
검사대상물(P)로 격자무늬조명이 조사되어 반사되면 이를 카메라(3)에서 촬영한다. 카메라(3)에서 격자무늬 이미지의 촬영이 완료되면 격자이송기구(2c)는 격자소자(2b)를 반복 이송시키고, 매 이송 시 마다 카메라(3)는 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영한다.
격자소자(2b)를 반복 이송시켜 검사대상물(P)의 일측의 촬영이 완료되면 검사대상물(P)의 타측을 촬영하게 된다. 검사대상물(P)의 타측을 촬영하기 위해 투영부(2)는 화살표(A)와 같은 방향으로 회전된다. 투영부(2)가 회전되면 격자소자(2b)를 반복 이송시키고 각 이송마다 카메라(3)에서 격자무늬 이미지를 촬영하여 검사대상물(P)의 3차원형상을 측정하게 된다.
이와 같이 종래의 3차원형상 측정장치는 검사대상물의 3차원형상을 측정하기 위해 투영부를 검사대상물의 일측과 타측으로 회전시키는 경우에 투영부를 회전시키기 위한 작업시간이 추가되어 검사대상물의 3차원형상 측정 작업의 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 다수개의 결상부를 이용하여 검사대상물을 여러 방향에서 동시에 촬영하여 검사대상물의 3차원형상 측정 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 3차원형상 측정장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 결상부를 검사대상물의 측면을 촬영할 수 있도록 설치함으로써 검사대상물의 측면에 돌출되는 부분이 있는 경우에 이를 보다 정확하게 측정할 수 있는 3차원형상 측정장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 3차원형상 측정장치는 격자무늬조명을 발생하여 조사하는 투영부와, 투영부의 하측에 설치되어 검사대상물을 이송시키는 X-Y축 이송테이블과, 투영부와 X-Y축 이송테이블 사이에 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부와, 빔 분리부의 하측에 서로 원주방향으로 이격되도록 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지가 조사되면 이를 반사시키는 다수개의 반사거울과, 빔 분리부와 다수개의 반사거울의 일측에 각각 설치되어 빔 분리부에서 통과되는 격자무늬 이미지와 다수개의 반사거울에서 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영하는 다수개의 결상부로 구성됨을 특징으로 하는 한다.
본 발명의 3차원형상 측정방법은 X-Y축 이송테이블에 의해 검사대상물을 측정위치로 이송시키는 단계와, 검사대상물이 측정위치로 이송되면 격자이송기구에 의해 격자소자를 피치(pitch) 이송시키는 단계와, 격자소자가 피치 이송되면 결상부의 조명원을 온(on)시켜 격자무늬조명을 검사대상물로 조사하는 단계와, 검사대상물로 격자무늬조명이 조사되면 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 다수개의 반사거울을 통해 조사받아 다수개의 결상부에서 촬영하는 단계와, 다수개의 결상부에서 격자무늬 이미지가 촬영되면 결상부의 조명원을 오프(off)시키는 단계와, 결상부의 조명원이 오프되면 제어부는 격자소자가 N+1 번째 피치이송인지 여부를 확인하는 단계와, 격자소자가 N+1 번째 피치 이송이면 제1원형램프부나 제2원형램프부를 온시킨 후 검사대상물을 다수개의 결상부로 촬영하는 단계와, 검사대상물 을 다수개의 결상부가 촬영하면 검사대상물의 측정이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계와, 검사대상물의 측정이 완료되면 제어부는 제1원형램프부나 제2원형램프부를 온시킨 후 검사대상물을 촬영한 검사대상물의 이미지와 다수개의 결상부에서 촬영된 격자무늬 이미지를 이용하여 검사대상물의 3차원형상을 산출하는 단계로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명의 3차원형상 측정장치 및 방법은 다수개의 결상부를 이용하여 검사대상물을 여러 방향에서 동시에 촬영할 수 있도록 함으로써 검사대상물의 3차원형상 측정 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 이점을 제공한다. 또한, 본 발명의 3차원형상 측정장치 및 방법은 결상부를 검사대상물의 측면을 촬영할 수 있도록 설치함으로써 검사대상물의 측면에 돌출되는 부분이 있는 경우에 이를 보다 정확하게 측정할 수 있는 이점을 제공한다.
본 발명의 3차원형상 측정장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 3차원형상 측정장치의 구성을 나타낸 도이고, 도 3은 도 2에 도시된 투영부의 평면도이며, 도 4는 도 2에 도시된 제2 및 제3조명원의 평면도이다. 여기서 도 2에 도시된 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)는 각각 측단면 상태를 나타내며, 도 3에 도시된 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)는 각각 평단면 상태를 나타낸다.
도 2 내지 도 4에서와 같이 본 발명의 3차원형상 측정장치는 투영부(10), X-Y축 이송테이블(20), 빔 분리부(30), 다수개의 반사거울(40) 및 다수개의 결상부(50)로 구성되며, 각 구성 요소들은 설명하면 다음과 같다.
투영부(10)는 격자무늬조명을 발생하여 조사하며, X-Y축 이송테이블(20)은 투영부(10)의 하측에 설치되어 검사대상물(P)을 이송시킨다. 빔 분리부(30)는 투영부(10)와 X-Y축 이송테이블(20) 사이에 설치되어 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시킨다. 다수개의 반사거울(40)은 빔 분리부(30)의 하측에 서로 원주방향으로 이격되도록 설치되어 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지가 조사되면 이를 반사시킨다. 다수개의 결상부(50)는 빔 분리부(30)와 다수개의 반사거울(40)의 일측에 각각 설치되어 빔 분리부(30)에서 통과되는 격자무늬 이미지와 다수개의 반사거울(40)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영한다.
본 발명의 3차원형상 측정장치를 구성하는 투영부(10), X-Y축 이송테이블(20), 빔 분리부(30), 다수개의 반사거울(40) 및 다수개의 결상부(50)의 상세한 구성을 설명하면 다음과 같다.
투영부(10)는 조명원(11), 격자소자(12), 격자이송기구(13), 투영렌즈(14) 및 투영렌즈 필터(15)로 구성된다.
투영부(10)의 조명원(11)은 조명을 발생시켜 조사하며, 격자소자(12)는 조명원(11)의 하측에 설치되어 조명원(11)에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시켜 조사한다. 조명을 격자무늬조명으로 변환시키는 격자소자(12)의 경사각도(g)는 도 3에 도시된 것과 같이 X-Y축 평면에서 Y축 방향을 기준으로 45도 경사지게 설치된다. 격자이송기구(13)는 PZT(piezoelectric)가 적용되어 격자소자(12)에 설치되어 격자소자(12)를 이송시키며, 투영렌즈(14)는 격자소자(12)의 하측에 설치되어 격자무늬조명을 투영시킨다. 투영렌즈 필터(15)는 투영렌즈(14)의 하측에 설치되어 투영렌즈(14)를 통해 조사되는 격자무늬조명을 여과시켜 조사한다.
X-Y축 이송테이블(20)은 X-Y축 이송테이블(20)을 X축 방향으로 구동시키기 위한 모터(21)와, X-Y축 이송테이블(20)을 Y축 방향으로 구동시키기 위한 모터(22)가 구비되어 검사대상물(P)을 정렬하거나 측정위치로 이송시키게 된다.
빔 분리부(30)는 투영부(10)에 의해 발생되는 격자무늬 이미지나, 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)에서 발생된 조명이 검사대상물(P)로 조사되는 반사되는 이미지를 빔 분리부(30)의 일측에 설치된 다수개의 결상부(50)중 하나의 결상부(50)로 조사시키기 위해 빔스플릿터(beam splitter)가 적용된다.
다수개의 반사거울(40)은 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 빔 분리부(30)에서 설치되는 결상부(50)를 제외하고 나머지 다수개의 결상부(50)로 조사하기 위해 X축 방향으로 경사지게 설치되며, 서로 원주방향으로 이격되도록 설치된다. 즉, 다수개의 반사거울(40)은 도 4에 일점쇄선으로 도시된 원을 따라 서로 등 간격으로 이격되도록 설치된다.
다수개의 결상부(50)는 반사거울(40)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하며 각각 카메라 필터(51), 결상렌즈(52) 및 카메라(53)로 구성된다. 카메라 필터(51)는 반사거울(40)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 여과시켜 조사한다. 격자무늬 이미지를 여과시키는 카메라 필터(51)는 주파수 필터, 칼라필터나 광세기 조절필터중의 하나가 적용된다. 결상렌즈(52)는 카메라 필터(51)의 일측에 설치되어 카메라 필터에서 투과된 격자무늬 이미지를 결상하며, 결상렌즈(52)에서 결상되어 조사되는 격자무늬 이미지는 카메라(53)에서 촬영한다. 카메라(53)는 결상렌즈(52)의 일측에 설치되어 결상렌즈(52)에서 조사되는 격자무늬 이미지를 촬영한다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 3차원형상 측정장치는 검사대상물(P)의 특이형상을 추출하기 위한 2차원 이미지 즉, 조명 이미지를 촬영하기 위해 제1원형램프부(60) 및 제2원형램프부(70)가 추가되어 구성되며, 이러한 구성 요소들을 제어하기 위한 제어부(80)가 더 구비된다.
본 발명의 3차원형상 측정장치에 추가로 구성되는 제1원형램프부(60), 제2원형램프부(70)를 설명하면 다음과 같다.
제1원형램프부(60)는 빔 분리부(30)의 하측에 설치되어 검사대상물(P)에서 조명 이미지가 반사되도록 검사대상물(P)로 조명을 발생하여 조사한다. 제2원형램프부(70)는 다수개의 반사거울(40)의 하측에 설치되어 검사대상물(P)에서 조명 이미지가 반사되도록 검사대상물(P)로 조명을 발생하여 검사대상물(P)로 조사한다. 검사대상물(P)로 조명을 조사하는 제1원형램프부(60)와 제2원형램프부(70)는 각각 원형 링부재(61,71)와 다수개의 발광소자(62,72)로 구성된다.
원형 링부재(61,71)는 격자무늬조명이나 격자무늬 이미지가 통과되도록 관통구(61a,71a)를 갖는다. 여기서, 제2원형램프부(70)의 관통구(71a)는 제1원형램프부(60)에서 조사되는 조명이 검사대상물(P)로 조사되도록 하거나 검사대상물(P)에 서 반사되는 격자무늬 이미지가 다수개의 반사거울(40)로 조사되도록 제1원형램프부(60)의 관통구(61a)보다 직경이 크다. 다수개의 발광소자(62,72)는 원형 링부재(61,71)의 하측에 설치되어 조명을 발생한다.
제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)에서 조명이 발생되어 검사대상물(P)로 조사되면, 검사대상물(P)에서 반사되는 조명 이미지는 빔 분리부(30)와 다수개의 반사거울(40)로 조사된다. 빔 분리부(30)와 다수개의 반사거울(40)로 조사된 조명 이미지는 각각 다수개의 결상부(50)에서 촬영한다.
다수개의 결상부(50)에서 촬영된 격자무늬 이미지나 조명 이미지는 제어부(80)에서 수신받는다, 제어부(80)는 격자무늬 이미지나 조명 이미지가 수신되면 이를 이용하여 검사대상물(P)의 3차원형상을 산출한다. 검사대상물(P)의 3차원형상을 산출하는 제어부(80)는 투영부(10), X-Y축 이송테이블(20), 다수개의 결상부(50), 제1원형램프부(60) 및 제2원형램프부(70)등 본 발명의 3차원형상 측정장치를 전반적으로 제어한다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 3차원형상 측정장치를 이용한 3차원형상 측정방법을 첨부된 도 2 및 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 및 도 4에서와 같이 본 발명의 3차원형상 측정방법은 먼저, X-Y축 이송테이블(20)에 의해 검사대상물(P)을 측정위치로 이송시킨다(S10). 검사대상물(P)이 측정위치로 이송되면 격자이송기구(13)에 의해 격자소자(12)를 피치(pitch) 이송시킨다(S20). 격자소자(12)가 피치 이송되면 결상부(50)의 조명원(11)을 온시켜 격자무늬조명을 검사대상물(P)로 조사한다(S30).
검사대상물(P)로 격자무늬조명이 조사되면 검사대상물(P)에서 반사되는 격자무늬 이미지를 다수개의 반사거울(40)을 통해 조사받아 다수개의 결상부(50)에서 촬영한다(S40). 격자무늬 이미지의 촬영 시 다수개의 결상부(50)는 이를 동시에 촬영한다. 다수개의 결상부(50)에서 격자무늬 이미지가 촬영되면 결상부(50)의 조명원(11)을 오프시킨다(S50).
결상부(50)의 조명원(11)이 오프되면 제어부(80)는 격자소자(12)가 N+1 번째 피치이송인지 여부를 확인한다(S60). 이와 같이 N+1 번째 피치이송인지 여부를 확인하는 단계(S60)는 격자소자(12)가 N+1 번째 피치 이송이 아니면 격자소자(12)를 피치 이송시키는 단계(S20)로 리턴한다. 즉, 4-버킷 알고리즘을 이용하여 검사대상물(P)의 3차원 형상을 산출하는 경우에 격자소자(12)의 피치 간격으로 4번 이송시킨다.
격자소자(12)가 N+1 번째 피치 이송이면 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)를 온시킨 후 검사대상물(P)을 다수개의 결상부(50)로 촬영한다(S70). 즉, 검사대상물(P)의 2차원 이미지인 조명 이미지를 촬영한다.
조명 이미지를 촬영하기 위한 방법을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 먼저, 격자소자(12)가 N+1 번째 피치 이송이면 제1원형램프부(60)를 온시킨다(S71). 제1원형램프부(60)가 온되면 다수개의 결상부(50)에서 검사대상물(P)을 촬영한다(S72). 다수개의 결상부(50)에서 검사대상물(P)이 촬영되면 제1원형램프부(60)를 오프시킨다(S73). 제1원형램프부(60)가 오프되면 제2원형램프부(70)를 온시킨다(S74). 제2원형램프부(70)가 온되면 다수개의 결상부(50)에서 검사대상물(P) 을 촬영한다(S75). 다수개의 결상부(50)에서 검사대상물(P)이 촬영되면 제2원형램프부(70)를 오프시킨다(S76). 이와 같이 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)에서 발생된 조명에 따라 다수개의 결상부(50)에서 조명이미지를 촬영함으로써 검사대상물(P)의 여러 방향에서의 특이점을 보다 신속하게 촬영할 수 있게 된다.
조명 이미지가 촬영되면 검사대상물(P)을 다수개의 결상부(50)가 촬영하면 검사대상물(P)의 측정이 완료되었는지 여부를 확인한다(S80). 검사대상물(P)의 측정이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계(S80)에서 검사대상물(P)의 측정이 완료되지 않으면 검사대상물(P)을 측정위치로 이송시키는 단계로 리턴한다. 반대로, 검사대상물(P)의 측정이 완료되면 제어부(80)는 제1원형램프부(60)나 제2원형램프부(70)를 온시킨 후 검사대상물(P)을 촬영한 검사대상물(P)의 이미지와 다수개의 결상부(50)에서 촬영된 격자무늬 이미지를 이용하여 검사대상물(P)의 3차원형상을 산출한다(S90).
이와 같이 다수개의 결상부를 이용하여 검사대상물을 동시에 촬영하여 검사대상물의 3차원형상을 산출함으로써 검사대상물의 3차원형상 측정 작업 시간을 감소시킬 수 있게 된다.
본 발명의 3차원형상 측정장치 및 방법은 인쇄회로기판이나 솔더(solder)등과 같은 검사대상물의 3차원형상을 측정하는 분야에 적용할 수 있다.
도 1은 종래의 3차원형상 측정장치의 구성을 나타낸 도,
도 2는 본 발명의 3차원형상 측정장치의 구성을 나타낸 도,
도 3은 도 2에 도시된 투영부의 평면도,
도 4는 도 2에 도시된 제2 및 제3조명원의 평면도,
도 5는 본 발명의 3차원형상 측정방법을 나타낸 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10: 투영부 11: 조명원
12: 격자소자 13: 격자이송기구
14: 투영렌즈 15: 투영렌즈 필터
20: X-Y축 이송테이블 30: 빔 분리부
40: 반사거울 50: 결상부
51: 카메라 필터 52: 결상렌즈
53: 카메라 60: 제1원형램프부
70: 제2원형램프부 80: 제어부

Claims (15)

  1. 조명원 및 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키며 X-Y축 평면에서 Y축 방향으로 경사지게 설치된 격자소자를 포함하는 투영부,
    상기 투영부의 하측에 설치되어 검사대상물을 이송시키는 이송테이블,
    상기 투영부와 상기 이송테이블 사이에 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부,
    상기 빔 분리부의 하측에 서로 원주방향으로 이격되도록 설치되어 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지가 조사되면 이를 반사시키는 다수의 반사거울들, 및
    상기 빔 분리부와 상기 반사거울들의 일측에 각각 설치되어 상기 빔 분리부에서 통과되는 격자무늬 이미지와 상기 반사거울들에서 반사되는 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하는 다수의 결상부들을 포함하는 3차원형상 측정장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 조명원 및 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키는 격자소자를 포함하는 투영부,
    상기 투영부의 일측에 설치되어 검사대상물을 이송시키는 이송테이블,
    상기 이송테이블의 상측에 설치되어 상기 검사대상물로 조명을 조사하는 원형램프부,
    상기 투명부에서 조사된 격자무늬조명이 상기 검사대상물에 의해 여러 방향으로 반사되는 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하고, 상기 원형램프부에서 상기 검사대상물로 조사된 조명이 상기 검사대상물에 의해 반사되는 조명 이미지를 촬영하기 위하여 다수의 방향으로 배치된 다수의 결상부들, 및
    상기 결상부들에서 촬영된 상기 격자무늬 이미지와 상기 조명 이미지를 수신받아 상기 검사대상물의 3차원형상을 산출하는 제어부를 포함하는 3차원형상 측정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 원형램프부는
    관통구를 갖는 원형 링부재, 및
    상기 원형 링부재의 하측에 설치되어 조명을 발생시키는 발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  7. 이송테이블에 의해 검사대상물을 측정위치로 이송시키는 단계,
    상기 검사대상물이 측정위치로 이송되면 격자이송기구에 의해 격자소자를 이송시키는 단계,
    상기 격자소자가 이송되면 투영부의 조명원을 온시켜 격자무늬조명을 상기 검사대상물로 조사하는 단계,
    상기 검사대상물로 격자무늬조명이 조사되면 상기 검사대상물에서 반사되는 격자무늬 이미지를 다수의 결상부들에서 동시에 촬영하는 단계,
    상기 격자소자가 N+1 번째 피치이송인지 여부를 확인하는 단계,
    원형램프부를 온시킨 후 상기 검사대상물에서 반사되는 조명 이미지를 상기 결상부들 중 적어도 하나 이상에서 촬영하는 단계,
    상기 검사대상물을 상기 결상부들이 촬영하면 상기 검사대상물의 측정이 완료되었는지 여부를 확인하는 단계, 및
    상기 검사대상물의 측정이 완료되면 제어부는 상기 결상부들에서 촬영된 상기 격자무늬 이미지와 상기 조명 이미지를 이용하여 상기 검사대상물의 3차원형상을 산출하는 단계를 포함하는 3차원형상 측정방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서, 상기 원형램프부를 온시킨 후 상기 검사대상물을 상기 다수의 결상부들로 촬영하는 단계는,
    상기 격자소자가 N+1 번째 피치 이송이면 상기 원형램프부를 온시키는 단계, 및
    상기 원형램프부가 온되면 상기 다수의 결상부들에서 각각 검사대상물을 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
  10. 삭제
  11. 제5항에 있어서,
    상기 다수의 결상부들은 여러 방향으로 반사되는 상기 조명 이미지를 동시에 촬영하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  12. 조명원과 상기 조명원의 일측에 설치되어 상기 조명원에서 조사되는 조명을 격자무늬조명으로 변환시키는 격자소자를 포함하는 투영부,
    상기 투영부의 일측에 설치되어 검사대상물을 이송하는 이송테이블,
    상기 검사대상물에 의해 여러 방향으로 반사되는 격자무늬 이미지를 촬영하기 위해 다수의 방향으로 배치된 다수의 결상부들을 포함하며,
    상기 다수의 결상부들은 상기 격자무늬 이미지를 동시에 촬영하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 격자소자는 X-Y축 평명에서 Y축 방향을 기준으로 경사지게 설치된 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 투영부와 상기 이송테이블 사이에 설치되어 상기 검사대상물에서 반사되는 상기 격자무늬 이미지를 분리하여 통과시키는 빔 분리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 이송테이블 상측에 서로 이격되도록 설치되어 상기 검사대상물에 의해 반사되는 상기 격자무늬 이미지를 상기 결상부들로 반사시키는 다수의 반사거울들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
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