JP5422521B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、図4に示すように、基板10に、一対の圧電部材13の素材である一対の圧電素材41を配置し、接着させる(ステップST1)。なお、この圧電素材41は、圧電板13a,13bが互いの分極方向が逆向きとなる配置で接着剤層13c(図4中では不図示)を介して張り合わされ、その断面形状が方形板状に形成されている。また、圧電素材41は、供給口21Aの列と排出口21Bの列との間にそれぞれ配置させる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1] 圧電部材を有する基板に、外部機器からの指示により前記圧電部材を駆動する外部回路基板を実装するインクジェットヘッドの製造方法において、
金属膜が形成された前記基板に前記外部回路基板を前記金属膜と導通させて接合し、
前記基板、前記金属膜及び前記外部回路基板の実装部にレーザー光を照射して、前記実装部のパターニングを行う
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
[2] 前記金属膜は、前記圧電部材にさらに形成され、
前記圧電部材及び前記基板にレーザー光を照射して、前記圧電部材の電極、及び、前記電極と前記実装部を接続する配線回路のパターニングを行う
ことを特徴とする[1]に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
[3] 複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルに対応する複数の圧力室、前記圧力室を加圧する側壁、及び、前記側壁に接続された電極を有し、前記電極から前記側壁に駆動パルス電圧を印加することで、前記圧力室を加圧して前記ノズルから液を吐出させる圧電部材と、
前記圧電部材が接着される基板と、
前記基板及び前記ノズルプレートに接着され、前記圧電部材を包囲することで、前記圧力室に前記液を供給する液室を形成する枠部材と、
前記基板上に設けられ、前記電極に接続された第1配線回路と、
第2配線回路を有し、外部機器からの指示により前記圧電部材を駆動する、前記外部機器に接続された外部回路基板と、
前記基板と前記外部回路基板を接合することで、前記第1配線回路及び前記第2配線回路を接続する端子部と、を備え、
前記端子部は、前記基板及び前記外部回路基板を接合した実装部を、レーザー光を照射してパターニングを行い、前記第1配線回路及び前記第2配線回路を接続することで形成されることを特徴とするインクジェットヘッド。
[4] 前記電極及び前記第1配線回路は、前記基板及び前記外部回路基板の接合後に、前記レーザー光を照射してパターニングを行うことで形成されることを特徴とする[3]に記載のインクジェットヘッド。
Claims (4)
- 圧電部材を有する基板に、外部機器からの指示により前記圧電部材を駆動する外部回路基板を実装するインクジェットヘッドの製造方法において、
金属膜が形成された前記基板に前記外部回路基板を前記金属膜と導通させて接合し、
前記基板、前記金属膜及び前記外部回路基板の実装部に渡ってレーザー光を照射して、前記金属膜及び前記実装部のパターニングを行う
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記金属膜は、前記圧電部材にさらに形成され、
前記圧電部材及び前記基板にレーザー光を照射して、前記圧電部材の電極、及び、前記電極と前記実装部を接続する配線回路のパターニングを行う
ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルに対応する複数の圧力室、前記圧力室を加圧する側壁、及び、前記側壁に接続された電極を有し、前記電極から前記側壁に駆動パルス電圧を印加することで、前記圧力室を加圧して前記ノズルから液を吐出させる圧電部材と、
前記圧電部材が接着される基板と、
前記基板及び前記ノズルプレートに接着され、前記圧電部材を包囲することで、前記圧力室に前記液を供給する液室を形成する枠部材と、
前記基板上に設けられ、前記電極に接続された第1配線回路と、
第2配線回路を有し、外部機器からの指示により前記圧電部材を駆動する、前記外部機器に接続された外部回路基板と、
前記基板と前記外部回路基板を接合することで、前記第1配線回路及び前記第2配線回路を接続する端子部と、を備え、
前記第1配線回路及び前記端子部は、前記基板、前記基板に形成された金属膜及び前記外部回路基板を接合した実装部を、レーザー光を照射してパターニングを行うことで形成されることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記電極は、前記基板及び前記外部回路基板の接合後に、前記レーザー光を照射してパターニングを行うことで形成されることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
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