JP5879288B2 - インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]第1の面を有した基材と、前記第1の面に隣接する第2の面を有して前記基材に付けられた圧電部材と、前記基材および前記圧電部材にあって、前記第1および第2の面を通る配線と、前記配線と前記第1および第2の面との間に介在し、前記基材の一部と前記圧電部材の一部とを露出させた被覆部と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
[2]前記被覆部が前記第1の面と前記第2の面との境界部分を覆うことを特徴とする[1]に記載のインクジェットヘッド。
[3]前記被覆部がエポキシ系樹脂または有機もしくは無機系プライマーであることを特徴とする[1]または[2]に記載のインクジェットヘッド。
[4]第1の面を有した基材に圧電部材を取り付け、前記基材の前記第1の面と、前記圧電部材と、を削り、前記圧電部材に前記第1の面に隣接する第2の面を形成し、前記第1および第2の面の隣接部分を含む少なくとも一部を覆い、前記基材の一部と前記圧電部材の一部とを露出させる被覆部を形成し、前記被覆部を含む前記第1および第2の面に配線を形成する、ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
[5]前記被覆部が形成されてから、前記圧電部材に溝を形成することを特徴とする[4]に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Claims (5)
- 第1の面を有した基材と、
前記第1の面に隣接する第2の面を有して前記基材に付けられた圧電部材と、
前記基材および前記圧電部材にあって、前記第1および第2の面を通る配線と、
前記配線と前記第1および第2の面との間に介在し、平坦化性および密着性が良い材料によって形成され、前記基材の一部と前記圧電部材の一部とを露出させ、かつ前記第1および第2の面よりも表面粗さが小さい被覆部と、
を具備し、
前記被覆部は、前記圧電部材の前記第2の面に形成された加工痕を覆うとともに、前記圧電部材の前記第2の面と前記基材との接触面との間の陵部に生じる欠けであるチッピング、または前記圧電部材の前記第2の面から凹むオーバーハング部のいずれかを覆うことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記被覆部が前記第1の面と前記第2の面との境界部分を覆うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記被覆部がエポキシ系樹脂または有機もしくは無機系プライマーであることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。
- 第1の面を有した基材に圧電部材を取り付け、
前記基材の前記第1の面と、前記圧電部材と、を削り、前記圧電部材に前記第1の面に隣接する第2の面を形成し、
平坦化性および密着性が良い材料によって形成され、前記第1および第2の面の隣接部分を含む少なくとも一部を覆い、前記基材の一部と前記圧電部材の一部とを露出させ、かつ前記第1および第2の面よりも表面粗さが小さい被覆部を形成し、
前記被覆部によって前記圧電部材の前記第2の面に形成された加工痕を覆うとともに、前記圧電部材の前記第2の面と前記基材との接触面との間の陵部に生じる欠けであるチッピング、または前記圧電部材の前記第2の面から凹むオーバーハング部のいずれかを覆ったのち、
前記被覆部を含む前記第1および第2の面に配線を形成する、
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記被覆部が形成されてから、前記圧電部材に溝を形成することを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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