JP5419818B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5419818B2 JP5419818B2 JP2010159843A JP2010159843A JP5419818B2 JP 5419818 B2 JP5419818 B2 JP 5419818B2 JP 2010159843 A JP2010159843 A JP 2010159843A JP 2010159843 A JP2010159843 A JP 2010159843A JP 5419818 B2 JP5419818 B2 JP 5419818B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- lens holder
- lens
- flexible heat
- heat conducting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
また、レーザ光の熱を用いて溶接、切断、穿孔などの加工を行う際に、レーザ光とともにノズル先端から噴射されるアシストガスを、レンズおよびレンズホルダに吹き付けてもよいが、この冷却方法による冷却効率は悪く、レンズの過度の温度上昇を抑えることができない。
また、U字状に形成された第1および第2可撓性熱伝導部材が、レンズホルダのx軸方向およびy軸方向の移動に対して、U字状の形状を変形して追従するように構成されているので、レンズホルダのx軸方向およびy軸方向の移動が第1および第2可撓性熱伝導部材に阻害されない。
図1はこの発明の実施の形態1に係るレーザ加工機のヘッド部を示す概略構成図、図2は図1のII−II矢視断面図、図3はこの発明の実施の形態1に係るレーザ加工機のヘッド部におけるレンズの揺動動作を説明する図であり、図3の(a)はレンズが中立位置からx軸方向に移動した状態を示し、図3の(b)はレンズが中立位置からy軸方向に移動した状態を示している。ここで、x軸方向およびy軸方向は、図1および図2に記した座標系に示されるように、互いに直交し、かつレンズに入射されるレーザ光の光軸方向(z軸方向とする)と直交する方向である。また、図3では、第1および第2駆動手段を省略している。
第1および第2駆動手段11,12は、加工ヘッド3に装着され、モータなどの既知装置が用いられ、その回転トルクをクランクを介してレンズホルダ6に伝達し、レンズホルダ6をx軸方向又はy軸方向に往復移動させるように構成されている。
まず、レンズホルダ6は、図1に示されるように、相対する1組の側面がyz平面と平行となり、他の1組の側面がxz平面と平行となるように配置されているものとする。なお、xz平面とは、x軸とz軸とを含む平面であり、yz平面とは、y軸とz軸とを含む平面である。
まず、x軸方向一側への移動力が第1駆動手段11によりレンズホルダ6に作用すると、x軸方向一側の移動力は、第1支持板ばね8の中間支持部材8との固定部を支点として第1支持板ばね8をx軸方向一側に湾曲させるように作用するとともに、第1支持板ばね9を介して中間支持部材8に伝達される。中間支持部材8に伝達されたx軸方向一側の移動力は、第2支持板ばね10の長辺方向に作用するので、中間支持部材8のx軸方向一側への移動が阻止される。これにより、第1支持板ばね9が、図3の(a)に示されるように、弾性変形して中間支持部材8との固定部を支点としてx軸方向一側に湾曲し、レンズホルダ6がx軸方向一側に移動する。
このレンズホルダ6のx軸方向他側への移動により、端子部16が端子部17から離反するようにx軸方向他側に移動し、第1可撓性熱伝導部材13は、U字状からJ字状に変形する。同時に、端子部18が端子部19から離反するようにx軸方向他側に移動し、第2可撓性熱伝導部材14は、U字状の幅が広くなるように変形する。
そして、第1駆動手段11によるレンズホルダ6に作用するx軸方向の移動力が無くなると、第1支持板ばね9の復元力により初期位置(中立位置)に戻る。同時に、第1可撓性熱伝導部材13はU字状に復元し、第2可撓性熱伝導部材14が元の幅のU字状に復元する。
このレンズホルダ6のy軸方向他側への移動により、端子部16が端子部17から離反するようにy軸方向他側に移動し、第1可撓性熱伝導部材13は、U字状の幅が広くなるように変形する。同時に、端子部18が端子部19から離反するようにy軸方向他側に移動し、第2可撓性熱伝導部材14は、U字状からJ字状に変形する。
そして、第2駆動手段12によるレンズホルダ6に作用するy軸方向の移動力が無くなると、第2支持板ばね10の復元力により初期位置(中立位置)に戻る。同時に、第1可撓性熱伝導部材13は元の幅のU字状に復元し、第2可撓性熱伝導部材14がU字状に復元する。
まず、レーザ発振器(図示せず)より出力されたレーザ光1は、レンズ系(図示せず)により拡径された口径の大きな平行ビームとなり、ミラー(図示せず)により変向されて加工ヘッド3に導かれる。加工ヘッド3はz軸方向に位置調整され、レーザ光1がレンズ5により収束され、ワーク20の近傍で収束点を結ぶ。また、制御装置(図示せず)が第1および第2駆動手段11,12の駆動を制御し、レンズ5をx軸方向およびy軸方向に往復移動させ、レーザ光1の収束点を小さな振幅で動かす。そして、収束されエネルギー密度が上がったレーザ光1の熱により、ワーク20が加熱、溶融、切断される。このとき、アシストガスが加工ヘッド3に供給され、ノズル4から加工点に噴出される。
また、上記実施の形態1では、レンズホルダが両底面を正方形とする直角柱に作製されているものとしているが、レンズホルダの形状はこれに限定されるものではなく、底面の中心にレンズの中心Oを一致させてレンズを保持できればよく、例えば直円柱でもよい。
図4はこの発明の実施の形態2に係るレーザ加工機のヘッド部を示す概略構成図、図5はこの発明の実施の形態2に係るレーザ加工機のヘッド部におけるレンズの揺動動作を説明する図であり、図5の(a)はレンズが中立位置からx軸方向に移動した状態を示し、図5の(b)はレンズが中立位置からy軸方向に移動した状態を示している。ここで、図4および図5では、第1および第2駆動手段を省略している。
なお、他の構成は、上記実施の形態1と同様に構成されている。
図6はこの発明の実施の形態3に係るレーザ加工機のヘッド部における可撓性熱伝導部材による熱接続状態を説明する要部拡大図である。
なお、第1可撓性熱伝導部材も第2可撓性熱伝導部材14Aと同一材料を用いて同一形状に作製されているので、ここではその説明を省略する。
図7はこの発明の実施の形態4に係るレーザ加工機のヘッド部における可撓性熱伝導部材による熱接続状態を説明する要部拡大図である。
なお、第1可撓性熱伝導部材も第2可撓性熱伝導部材14Bと同一材料を用いて同一形状に作製されているので、ここではその説明を省略する。
図8はこの発明の実施の形態5に係るレーザ加工機のヘッド部における可撓性熱伝導部材による熱接続状態を説明する要部拡大図である。
Claims (6)
- レーザ光をレンズにより収束してレーザ加工するレーザ加工機であって、
加工ヘッドと、
上記加工ヘッド内に配置され、上記レンズが保持されたレンズホルダと、
上記レンズに入射される上記レーザ光の光軸方向と平行なz軸方向と直交し、かつ互いに直交するx軸方向とy軸方向とに往復移動可能に上記レンズホルダを上記加工ヘッドに保持するレンズホルダ保持機構と、
x軸方向に上記レンズホルダを挟んで上記加工ヘッドに装着された第1および第2冷却治具と、
U字状に形成され、U字状の開口をx軸方向の一側に向けて、上記第1冷却治具と上記レンズホルダとの間にxy平面と平行に配置され、U字状の一端を該第1冷却治具に熱接触状態に接続され、U字状の他端を該レンズホルダに熱接触状態に接続され、該レンズホルダのx軸方向およびy軸方向の移動に対して、U字状の形状を変形して追従する第1可撓性熱伝導部材と、
上記第1可撓性熱伝導部材と同一材料で同一形状に形成され、U字状の開口をy軸方向の一側に向けて、上記第2冷却治具と上記レンズホルダとの間に、該第1可撓性熱伝導部材とz軸方向の位置を同じくしてxy平面と平行に配置され、U字状の一端を該第2冷却治具に熱接触状態に接続され、U字状の他端を該レンズホルダに熱接触状態に接続され、該レンズホルダのx軸方向およびy軸方向の移動に対して、U字状の形状を変形して追従する第2可撓性熱伝導部材と、
を備えていることを特徴とするレーザ加工機。 - 上記第1および第2可撓性熱伝導部材のU字状の他端と上記レンズホルダとの接続部が、上記レンズの中心を通るx軸上に位置していることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機。
- 上記第1および第2可撓性熱伝導部材は、それぞれ、多数枚の金属箔テープを積層して構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のレーザ加工機。
- 上記第1および第2可撓性熱伝導部材は、それぞれ、金属素線を編み込んで構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のレーザ加工機。
- 上記第1および第2可撓性熱伝導部材は、それぞれ、熱伝導性ゴムにより構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のレーザ加工機。
- レンズホルダ保持機構は、y軸方向に上記レンズホルダを挟んで相対して、かつx軸方向と平行に配置された一対の中間支持部材と、上記レンズホルダと上記一対の中間支持部材とのそれぞれの間に、x軸方向に離間して、かつy軸方向と平行に配置され、それぞれ、両端を上記中間支持部材と該レンズホルダとに固定され、該レンズホルダのx軸方向の変位に応じて弾性変形し、該中間支持部材との固定点を支点としてx軸方向に湾曲する4つの第1支持板ばねと、上記一対の中間支持部材のそれぞれのx軸方向の両側に、該中間支持部材とx軸方向に1列に並んで配置され、それぞれ、両端を該中間支持部材と上記加工ヘッドとに固定され、該加工ヘッドとの固定点を支点としてy軸方向に湾曲する4つの第2支持板ばねと、を備え、
上記第1および第2支持板ばねは、同一材料を用いて、同一形状に作製され、
上記中間支持部材、上記第1支持板ばね、および第2支持板ばねが、上記レンズの中心を通るxz平面およびyz平面に対して対称な位置関係に配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010159843A JP5419818B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010159843A JP5419818B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012020311A JP2012020311A (ja) | 2012-02-02 |
JP5419818B2 true JP5419818B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=45775026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010159843A Expired - Fee Related JP5419818B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5419818B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6161188B2 (ja) * | 2013-02-05 | 2017-07-12 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザ加工装置、レーザ加工方法 |
EP2875896B1 (en) * | 2013-11-22 | 2016-10-05 | SALVAGNINI ITALIA S.p.A. | Laser cutting head for tool machine with a cooling unit fixed to the head |
CN106001922A (zh) * | 2016-07-15 | 2016-10-12 | 东莞市环亚激光科技有限公司 | 激光焊接机 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01153881U (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-23 | ||
JPH026185U (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-16 | ||
JPH05185265A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置の加工ヘッド |
JP2003019585A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置及び方法 |
JP4615238B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2011-01-19 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザ加工装置 |
-
2010
- 2010-07-14 JP JP2010159843A patent/JP5419818B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012020311A (ja) | 2012-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6430677B1 (ja) | ラインビーム光源およびラインビーム照射装置ならびにレーザリフトオフ方法 | |
JP5419818B2 (ja) | レーザ加工機 | |
WO2017056469A1 (ja) | 光源装置および投光装置 | |
US10449595B2 (en) | Protrusion forming device and method for forming protrusion part for heat exchanger | |
JP6326945B2 (ja) | ロボット | |
CN104849951A (zh) | 投影仪 | |
WO2015129292A1 (ja) | ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 | |
JP6660528B2 (ja) | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 | |
JP5705390B1 (ja) | ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 | |
CN102139409B (zh) | 绝热振动焊接工具 | |
KR102028017B1 (ko) | 열전 모듈 패키징 장치 | |
KR102497048B1 (ko) | 그래파이트 시트를 핀으로 사용한 히트 싱크 장치 | |
CN102045983B (zh) | 散热模块及其制造方法 | |
JP6536842B2 (ja) | レーザ装置 | |
JP4558589B2 (ja) | 温度制御装置、温度調節機能付き可動ステージ、及び輻射伝熱装置 | |
JP5987817B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2006207935A (ja) | 電子冷却装置 | |
WO2021100803A1 (ja) | ミラースキャナ | |
JP6417885B2 (ja) | 光モジュール | |
CN219124647U (zh) | 车辆 | |
JP7558359B1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP2013105120A (ja) | 光走査装置 | |
JP2003017878A (ja) | ヒートシンク | |
JP2022114153A (ja) | 冷却装置 | |
JP2007329469A (ja) | レーザダイオード冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5419818 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |