JP5412415B2 - 磁気記録ヘッド及びその製造方法、及び磁気ディスク装置 - Google Patents
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Description
これらの報告にあるように、現在ではスピントルク発振器を搭載したマイクロ波アシスト磁気記録方式の研究が加速している。
1つには、主磁極とスピントルク発振器のオフセット(ホトズレ)が挙げられる。スピントルク発振器の加工には、素子高さ方向とトラック幅方向を形成する必要があり、これらの加工にはミリングなどのエッチングとホトリソグラフィなどの技術を用いられる。このホトリソグラフィの技術は近年発達しており、数十nmの微細なパターンをホトズレ±20nmの精度での露光を可能にしている。しかし、このホトズレをゼロにすることは事実上不可能であり、微細なパターンではホトズレによる影響がより顕著になってくる。スピントルク発振器の加工も例外ではなく、主磁極という数十nm幅のパターンの上に、同じく数十nm幅というスピントルク発振器を形成するさいにこのホトズレは無視できない問題である。
垂直磁気記録方式において、主磁極から生じる記録磁界の空間的な広がりにより、いわゆる“書きにじみ”という現象が問題となり、その対策として主磁極の周囲に磁性材料から成るシールドを配置することが有効であることが知られている。同様に、スピントルク発振器においても、アシスト磁界が所望の記録ビット近傍に集中するようにスピントルク発振器の周囲にサイドシールドを配置することは有効である。主磁極やスピントルク発振器とシールドの間には磁気的な相互作用を低減するためにギャップ膜を配置する。主磁極やスピントルク発振器とシールドの間隔(ギャップ膜厚に相当)は、それぞれの性能を発揮させる上で、重要な制御因子である。なぜならば、ギャップ膜厚が過度に薄い場合、発生した記録磁界またはアシスト磁界がシールドに吸収され、磁気記録媒体へ所望の磁界を発生することができないし、一方でギャップ膜厚が過度に薄厚い場合は、記録磁界またはアシスト磁界の空間的な広がりを抑える効果が減少してしまう為である。更には、磁気記録媒体からの信号磁界や主磁極からの記録磁界によってシールドの磁化に変化が生じた場合の影響も考慮する必要がある。スピントルク発振器においては、ギャップ膜厚が過度に薄い場合に、シールドの磁化過程がスピントルク発振器の発振特性に影響し、望ましい記録アシスト効果が損なわれる懸念がある。
また、好ましくは、磁気記録ヘッドにおいて、該スピントルク発振器の周囲に形成された、該保護膜と該絶縁膜の厚さ(ギャップ膜厚)は、該主磁極の周囲に形成された該絶縁膜の厚さ(ギャップ膜厚)よりも厚く形成される。
また、好ましくは、磁気記録ヘッドにおいて、該スピントルク発振器の周囲に形成された該保護膜と該絶縁膜の厚さは、5nm以上に設定される。
また、好ましくは、磁気記録ヘッドにおいて、前記スピントルク発振器のトラック幅方向に形成された左右の保護膜は、該トラック幅方向の膜厚が左右非対称である。
また、好ましくは、磁気記録ヘッドにおいて、前記スピントルク発振器のトラック幅方向に配置された保護膜の材料は、Al2O3、SiO2、SiNの単層膜または積層膜である。
該磁気ヘッドは、マイクロ波アシスト記録に用いられる磁気ヘッドであって、主磁極と、該主磁極上に配置され、スピントルクによって磁化が高速回転する磁化高速回転層を含むスピントルク発振器と、該スピントルク発振器のトラック幅方向に配置された保護膜と、該主磁極の壁面と該保護膜の壁面を覆うように形成された絶縁層と、少なくとも該主磁極を覆うように、該絶縁層上に形成された磁性膜と、を有することを特徴とする磁気ディスク装置として構成される。
セルフアラインで主磁極とスピントルク発振器を形成するため、オフセットなく形成することが可能である。また、保護膜を設けることでスピントルク発振器の端部をミリングからのダメージを抑えることができる。また、保護膜の膜厚を調節することで、スピントルク発振器とサイドシールドとの距離を任意に調節することが可能である。
これらの効果によりマイクロ波アシスト記録におけるスピントルク発振器搭載型磁気記録ヘッドを安定に形成することが可能になる。
図1において、10はスピントルク発振器、20は下部シールド、30は再生素子、40は上部シールド、50は下部磁極、60は下部コイル、70は下部コイル絶縁膜、80は主磁極、90は副磁極兼発振器用下部電極、100は上部コイル、110は上部コイル絶縁膜、120はトレーリングシールド、130は上部磁極兼発振器用上部電極である。
次に、スピントルク発振器層10の上に比較的にエッチング耐性の強いホトレジストにてエッチングマスク170を形成し[図5A(b)]、そのホトレジストを第1エッチングマスクにしてスピントルク発振器10の層までエッチングする[図5A(c)]。
主磁極80が生じる記録磁界に対して、スピントルク発振器10から生じるアシスト磁界の強度は著しく小さい。従って、主磁極80の周囲のギャップ膜厚よりもスピントルク発振器10のギャップ膜厚を厚く設定した方が、適切な記録磁界強度及びアシスト磁界強度を確保しつつ、それらの空間的な広がりを抑制できて好ましい性能を発揮できる。更に、上述したように、シールド磁化過程のスピントルク発振器10の発振特性への影響を緩和できるという効果も期待できる。また、良好な記録アシスト効果を得る為に、上記の2層のギャップ膜厚の総和を5nm以上に設定すると良い。上述した工程は、主磁極80及びスピントルク発振器10の周囲のギャップ膜厚を独立に設定できる上、サイドシールドは同時に形成できるため、量産性の観点からも非常に有効な手段である。
次に、素子高さ方向の形成について述べる。スピントルク発振器10の素子高さを形成する際、トラック方向の形成とは異なり主磁極80は電極として利用するため、エッチングは行わない。そのため、エッチングマスク170を形成してスピントルク発振器10のみをエッチングする[図5C(h)]。その後、Al2O3やSiO2などの絶縁膜200で埋め戻し[図5C(i)]、リフトオフなどでエッチングマスク170を剥離することで、スピントルク発振器10を形成する[図5D(j)]。
ここで、スピントルク発振器10内のFGL層におけるトラック方向の幅をTWfgl、FGL層のトラック方向に配置された保護膜180の両側での合計幅をTWins、保護膜の直下における主磁極80のトラック方向の幅をTWmp、FGL層と磁性膜とのトラック方向の距離をGAPfgl、保護膜の直下における主磁極の端部と磁性膜150とのトラック方向の距離をGAPmpとし、TWfglとWinsとの合計幅における中央位置をCsw、TWmpの中央位置をCmとした場合、CswとCmは膜厚方向(主磁極-FGL層方向)においてほぼ同一線上に配置され、かつ、GAPfgl > GAPmp の関係を有している。
実施例1では主磁極とスピントルク発振器の端部にサイドシールドを設ける例について述べた。上述したように、スピントルク発振器10から生じるアシスト磁界の強度は小さい。スピントルク発振器10の形状、またそれを構成する材料やスピントルク発振に要する通電電流密度等により、発振特性やアシスト磁界の強度は、それぞれ最適化された設計により異なる。場合によっては、スピントルク発振器の周囲にサイドシールドを形成しない方が、良好な記録アシスト効果を実現する場合もある。その場合は、実施例1の製造工程において、サイドシールドの形成を主磁極の上面で終え、その上にギャップ膜を形成することで対応することができる。
実施例1および2ではミリングなどドライエッチングにより主磁極80を形成しているが、これに限らず、ダマシンによって形成した主磁極80上に、実施例1の各工程で種々の膜を形成することも可能である。以下、その具体例を述べる。
スピントルク発振器のトラック方向の形成において、保護膜のデポ角度を調節することで、左右非対称のShingle記録向けのスピントルク発振器搭載型の記録ヘッドを形成することも可能である。このとき、主磁極幅に対する保護膜とスピントルク発振器を合わせた幅の関係は一定であるが、スピントルク発振器と主磁極の位置関係が異なる。
本発明によるスピントルク発振器10を搭載した磁気ヘッド220を使用することで、マイクロ波のアシスト効果によって局所的に磁化が容易になり、より高記録密度が可能となる。
10:スピントルク発振器 20:下部シールド 30:再生素子
40:上部シールド 50:下部磁極 60:下部コイル
70:下部コイル絶縁膜 80:主磁極 90:副磁極兼発振器用下部電極
100:上部コイル 110:上部コイル絶縁膜
120:トレーリングシールド 130:上部磁極兼発振器用上部電極
140:SIC保護膜 150:サイドシールド 160:絶縁層
170:エッチングマスク
180:保護膜兼第2エッチングマスク
190:トラック方向絶縁層
200:素子高さ方向絶縁層
210:ダマシン主磁極トレンチ幅調整膜
220:スピントルク発振器搭載型磁気記録再生分離磁気ヘッド(磁気ヘッド)
230:アーム
240:磁気記録媒体(磁気ディスク)
250:スピンドルモーター
260:信号処理回路
270:ボイスコイルモーター。
Claims (9)
- マイクロ波アシスト記録に用いられる磁気記録ヘッドであって、
主磁極と、
該主磁極上に配置され、スピントルクによって磁化が高速回転する磁化高速回転層を含むスピントルク発振器と、
該スピントルク発振器のトラック幅方向に配置された保護膜と、
該主磁極の壁面と該保護膜の壁面を覆うように形成された絶縁層と、
少なくとも該主磁極を覆うように、該絶縁層上に形成された磁性膜と、
を有し、
前記スピントルク発振器のトラック幅方向に形成された左右の保護膜は、該トラック幅方向の膜厚が左右非対称であることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項1記載の磁気記録ヘッドにおいて、
前記磁性膜は、該スピントルク発振器上に形成された該保護膜及び該主磁極を覆うように、該絶縁膜上に形成されたことを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項2記載の磁気記録ヘッドにおいて、
該スピントルク発振器の周囲に形成された、該保護膜と該絶縁膜の厚さ(ギャップ膜厚)は、該主磁極の周囲に形成された該絶縁膜の厚さ(ギャップ膜厚)よりも厚く形成されることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項3記載の磁気記録ヘッドにおいて、
該スピントルク発振器の周囲に形成された該保護膜と該絶縁膜の厚さは、5nm以上に設定されることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項1乃至4のいずれかの項記載の磁気記録ヘッドにおいて、
スピントルク発振器内のFGL層におけるトラック方向の幅をTWfgl、FGL層のトラック方向に配置された前記保護膜の両側での合計幅をWins、前記保護膜直下における主磁極のトラック方向の幅をTWmp、FGL層と磁性膜とのトラック方向の距離をGAPfgl、前記保護膜直下における主磁極端部と磁性膜とのトラック方向の距離をGAPmpとし、TWfglとWinsとの合計幅における中央位置をCsw、TWmpの中央位置をCmとした場合、
CswとCmは膜厚方向(主磁極-FGL層方向)においてほぼ同一線上に配置され、かつ、 GAPfgl > GAPmp の関係を有することを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項1乃至5のいずれかの項記載の磁気記録ヘッドにおいて、
前記磁性膜は、該主磁極及び該スピントルク発振器のトラック方向側に形成されたサイドシールド磁性膜と、スピントルク発振器の上部側に形成されたトレーリングシールド磁性膜とした場合、該サイドシールド磁性膜の膜厚方向の端部は該主磁極の膜厚方向の端部位置にほぼ同等であることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 請求項1乃至6のいずれかの項記載の磁気記録ヘッドにおいて、
前記スピントルク発振器のトラック幅方向に配置された保護膜の材料は、Al2O3、SiO2、SiNの単層膜または積層膜であることを特徴とする磁気記録ヘッド。 - 主磁極上にスピントルク発振器を成膜する工程と、該スピントルク発振器の上に形成したトラック形成用のエッチングマスクで、該スピントルク発振器をエッチングする工程と、エッチングマスクを残したまま該スピントルク発振器の端部を保護するための保護膜を成膜する工程と、該トラック形成用エッチングマスク及び保護膜をエッチングマスクとして用いて該主磁極をエッチングする工程と、該主磁極及び該スピントルク発振器を絶縁するための絶縁膜を成膜する工程と、該絶縁膜の周囲にめっき下地膜を成膜して磁性膜を形成する工程からなるトラック形成工程と、
素子高さ形成用のエッチングマスクを形成し、該スピントルク発振器をエッチングする工程と、該エッチングされた部分を絶縁膜で埋め戻す工程と、該エッチングに用いたマスクを除去する工程を含む素子高さを形成する工程と、
トラックと素子高さをそれぞれ形成した該スピントルク発振器の上にめっき下地膜を成膜して磁性膜兼スピントルク発振器用上部電極膜を形成する工程を有し、
前記スピントルク発振器のトラック幅方向に形成された左右の保護膜は、該トラック幅方向の膜厚が左右非対称である磁気記録ヘッドの製造方法。 - 磁気ヘッドを所定方向に移動させながら、回転する磁気ディスクに情報を書き込む磁気ディスク装置において、
該磁気ヘッドは、マイクロ波アシスト記録に用いられる磁気ヘッドであって、
主磁極と、
該主磁極上に配置され、スピントルクによって磁化が高速回転する磁化高速回転層を含むスピントルク発振器と、
該スピントルク発振器のトラック幅方向に配置された保護膜と、
該主磁極の壁面と該保護膜の壁面を覆うように形成された絶縁層と、
少なくとも該主磁極を覆うように、該絶縁層上に形成された磁性膜と、
を有し、
前記スピントルク発振器のトラック幅方向に形成された左右の保護膜は、該トラック幅方向の膜厚が左右非対称であることを特徴とする磁気ディスク装置。
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Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8419954B1 (en) * | 2011-10-31 | 2013-04-16 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer |
JP2013254547A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Hitachi Ltd | マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2014017030A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Toshiba Corp | 磁気ヘッド、その製造方法、及び磁気記録再生装置 |
JP2014049155A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Hitachi Ltd | 高周波磁界アシスト磁気記録ヘッド |
JP5959384B2 (ja) * | 2012-09-20 | 2016-08-02 | 株式会社東芝 | 高周波アシスト磁気記録ヘッド、その製造方法、これを用いた磁気ヘッドアッセンブリ、及び磁気記録再生装置 |
US8553507B1 (en) * | 2012-11-13 | 2013-10-08 | HGST Netherlands B.V. | Write track shift control in shingled-microwave-assisted magnetic recording (MAMR-SMR) |
US8848317B2 (en) | 2012-12-21 | 2014-09-30 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic data recording system with mirror image asymmetric magnetic write elements |
JP6000866B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2016-10-05 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2015008026A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | 株式会社東芝 | 磁気記録再生装置 |
US8837088B1 (en) | 2013-09-19 | 2014-09-16 | HGST Netherlands B.V. | Microwave-assisted magnetic recording (MAMR) head with a current confinement structure |
US8964332B1 (en) | 2013-09-30 | 2015-02-24 | HGST Netherlands B.V. | Microwave-assisted magnetic recording head with asymmetric side gap for shingled magnetic recording |
US9047894B2 (en) | 2013-10-03 | 2015-06-02 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic write head having spin torque oscillator that is self aligned with write pole |
US9390733B2 (en) | 2013-10-10 | 2016-07-12 | HGST Netherlans B.V. | Microwave-assisted magnetic recording (MAMR) head with an inclined and recessed main pole structure |
US9406316B2 (en) | 2014-05-15 | 2016-08-02 | HGST Netherlands B.V. | Asymmetric MAMR head with self-aligned spin torque oscillator along flare edge for shingled magnetic recording |
US9196271B1 (en) | 2014-10-21 | 2015-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Spin-torque oscillation element and microwave-assisted magnetic recording head using the same |
JP2016081551A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 株式会社東芝 | スピントルク発振素子、及びこれを用いた高周波アシスト磁気記録ヘッド |
US9202484B1 (en) * | 2015-01-09 | 2015-12-01 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head provided spin torque oscillator with low drive voltage for microwave assisted magnetic recording |
US9741373B1 (en) * | 2016-04-26 | 2017-08-22 | Tdk Corporation | Microwave assisted magnetic head, head gimbal assembly, and magnetic recording device |
US10891974B1 (en) | 2017-06-07 | 2021-01-12 | Sandisk Technologies Llc | Magnetic head with current assisted magnetic recording and method of making thereof |
US10896690B1 (en) * | 2017-06-07 | 2021-01-19 | Sandisk Technologies Llc | Magnetic head with current assisted magnetic recording and method of making thereof |
US10109302B1 (en) * | 2017-07-18 | 2018-10-23 | Tdk Corporation | Magnetic recording head with spin torque oscillator, head gimbal assembly and magnetic recording apparatus |
US10762917B1 (en) | 2018-05-21 | 2020-09-01 | Western Digital Technologies, Inc. | Reversed mode spin torque oscillator with shaped field generation layer |
US10839844B1 (en) | 2018-06-18 | 2020-11-17 | Western Digital Technologies, Inc. | Current-assisted magnetic recording write head with wide conductive element in the write gap |
US10891975B1 (en) | 2018-10-09 | 2021-01-12 | SanDiskTechnologies LLC. | Magnetic head with assisted magnetic recording and method of making thereof |
US11017801B1 (en) | 2018-10-09 | 2021-05-25 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic head with assisted magnetic recording and method of making thereof |
JP2020140752A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 株式会社東芝 | 磁気ディスク装置及びライト処理方法 |
US11011190B2 (en) * | 2019-04-24 | 2021-05-18 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic write head with write-field enhancement structure including a magnetic notch |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06243527A (ja) | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Hitachi Ltd | 磁気記録方法およびその装置 |
JPH06243529A (ja) | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Fujitsu Ltd | 光磁気ディスク装置 |
JP3790347B2 (ja) | 1997-11-26 | 2006-06-28 | Tdk株式会社 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
US7804666B2 (en) * | 2007-04-13 | 2010-09-28 | Headway Technologies, Inc. | Composite shield structure of PMR writer for high track density |
US20090310244A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-17 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head for microwave assist and microwave-assisted magnetic recording method |
JP5377893B2 (ja) * | 2008-06-19 | 2013-12-25 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置 |
JP2010040126A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
JP5570745B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2014-08-13 | 株式会社東芝 | 磁気記録ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
US8547661B2 (en) | 2009-10-21 | 2013-10-01 | Headway Technologies, Inc. | MAMR head with self-aligned write element and microwave field generator |
JP4686630B1 (ja) * | 2009-11-30 | 2011-05-25 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド、およびこれを備えたディスク装置 |
US8164861B2 (en) * | 2009-12-11 | 2012-04-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Spin torque oscillator sensor employing antiparallel coupled oscilation layers |
JP4975836B2 (ja) * | 2010-02-19 | 2012-07-11 | 株式会社東芝 | 磁気記録ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置 |
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