JP5411464B2 - 電子線描画装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の概略構成図である。
次に、試料表面を表す高精度な近似関数の導出について説明する。
G2=X(=F2)
G3=Y(=F3)
G4=F4−0.1F1=X*X−0.1
G5=F6−0.1F1+(2/3)G4
=Y*Y−0.1+(2/3)*((X*X)−0.1)
この基底変換により、すべての基底が直交することになり、新たな基底G1からG5を使用して曲面近似をすれば一意に解が求められる。すなわち、Z(x、y)=α+β*x+γ*y+δ*(x*x−0.1)+ε*(y*y−0.1+(2/3)*(x*x−0.1))となるα、β、γ、δ、εを最小二乗近似により決定することにより試料表面の近似曲面を一意に決定することができる。
K個の基底から作った近似曲面Z(x、y)は、<Pn、Gm>=znGm(xi、yi)とするとき、
次に、上記した電子ビーム露光装置における試料表面の高精度な近似曲面の算出を含む露光方法について説明する。
Claims (5)
- 電子線を放出する電子銃と、
前記電子線によりパターンが描画される被描画試料を保持するホルダーと、
前記試料の高さに応じて描画位置を補正する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記試料の表面を線形結合により近似する正規直交関数系の各関数について次式で定義される内積を求め、各関数の中で自身との内積がゼロ又はゼロに近い所定のしきい値以下の関数を除去した上で、グラム・シュミット法により新たな正規直交関数系に変換し、当該新たな正規直交関数系の各関数に対するN個の高さ測定点のデータの射影を係数としてそれぞれ求め、前記係数による前記新たな正規直交系の各関数の線形結合を試料の近似曲面とすることを特徴とする電子線描画装置。
ここで、Fn,Fmは正規直交系の関数、i、Nは整数、(xi,yi)は試料表面の高さを測定するサンプリング位置である。 - 前記制御部は、前記新たな正規直交関数系に変換される前の正規直交関数系として、直交座標上の多項式のうち、次数の低い多項式群を用いることを特徴とする請求項1に記載の電子線描画装置。
- 前記制御部は、前記新たな正規直交関数系に変換される前の正規直交関数系として、ゼルニケ関数系のうち、次数の低い関数を用いることを特徴とする請求項1に記載の電子線描画装置。
- 前記制御部は、前記試料の表面を線形結合により近似する正規直交関数系の各関数のうち、前記式に基づいて求めた自身との内積がゼロ又はゼロに近いものがある場合、又はグラム・シュミット法により求めた前記新たな正規直交関数系の各関数のうち2つの関数における直交度が小さく、前記近似曲面が前記試料の高さの測定誤差よりも大きな近似誤差を含む可能性が高いとき、前記サンプリング位置の再設定を促すことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の電子線描画装置。
- 前記制御部は、グラム・シュミット法により求めた前記新たな正規直交関数系の各関数のうち2つの関数における直交度が大きくなるように新たなサンプリング位置を再設定し、又は、新たなサンプリング位置を追加させる旨の指示をすることを特徴とする請求項4に記載の電子線描画装置。
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