JP5405195B2 - 変位計 - Google Patents
変位計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5405195B2 JP5405195B2 JP2009123716A JP2009123716A JP5405195B2 JP 5405195 B2 JP5405195 B2 JP 5405195B2 JP 2009123716 A JP2009123716 A JP 2009123716A JP 2009123716 A JP2009123716 A JP 2009123716A JP 5405195 B2 JP5405195 B2 JP 5405195B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarized light
- polarization
- beam splitter
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
特許文献1に記載の変位センサ(変位計)は、半導体レーザ(光源)と、対物レンズと、結像レンズと、2つのピンホールと、2つの受光素子(受光手段)とを備えている。
具体的に、被測定物の表面が対物レンズの光軸に対して傾斜していると、被測定物の表面にて反射される光の方向が変わるので、非点収差法や、ナイフエッジ法の変位計では、構造上、被測定物の表面の傾斜方向に依存して測定誤差が変化するという問題がある。すなわち、非点収差法や、ナイフエッジ法の変位計では、測定誤差に方向依存性があるという問題がある。
これに対して、ダブルピンホール式の変位計では、構造上、被測定物の表面の傾斜方向に依存して測定誤差が変化することはなく、測定誤差に方向依存性がない。
ここで、光路延長手段は、第1偏光、及び第2偏光のいずれか一方の光路を延長するので、対物レンズを介して第1偏光が集光される位置(以下、第1合焦位置とする)と、第2偏光が集光される位置(以下、第2合焦位置とする)とは異なることになる。
また、被測定物の表面が第2合焦位置にある場合には、被測定物の表面にて反射される光のうち、第1偏光は、対物レンズ、結像レンズ、光路延長手段を介してピンホールとは異なる位置に集光され、第2偏光は、ピンホールに集光される。
したがって、本発明によれば、各受光素子にて受光される光の強度に基づいて、被測定物の変位を測定することができる。
また、本発明では、変位計は、1つのピンホールを備えるので、構造上、測定誤差に方向依存性がなく、2つのピンホールを備えるダブルピンホール式の変位計と比較してピンホールの位置を容易に調整することができる。
さらに、本発明では、光路延長手段は、延長用分離素子と、光路延長素子と、合成素子とを備え、これらの素子は、一体化されているので、光路延長手段の位置を容易に調整することができる。したがって、変位計の調整を更に容易にすることができる。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る変位計1を示す概略模式図である。
変位計1は、被測定物Wの変位を測定するものであり、図1に示すように、所定方向(図1中右方向)に光を射出する光源2と、無偏光ビームスプリッタ3と、集光レンズ4と、ピンホール5と、光路延長手段6と、結像レンズ7と、対物レンズ8と、受光手段9と、演算処理手段10とを備える。
集光レンズ4は、光源2、及びピンホール5の間に配設されている。この集光レンズ4は、光源2から射出され、無偏光ビームスプリッタ3の界面3Aにて反射される光をピンホール5に集光させる。なお、集光レンズ4、結像レンズ7、及び対物レンズ8の光軸は、互いに略一致している。
ピンホール5は、光源2、及び結像レンズ7の間に配設され、集光レンズ4にて集光される光を通過させる。
偏光ビームスプリッタ61は、2つの直角プリズムを貼り合せた略直方体状に形成され、各直角プリズムの界面には、偏光分離膜61Aが形成されている。そして、偏光ビームスプリッタ61は、偏光分離膜61Aが集光レンズ4の光軸に対して略45度の角度となるように配設されている。偏光分離膜61Aは、偏光分離膜61Aに対してP偏光となる光を透過させるとともに、S偏光となる光を反射させて分離する。
偏光ビームスプリッタ63は、偏光ビームスプリッタ61と同様の構成を有し、各直角プリズムの界面には、偏光分離膜63Aが形成されている。そして、偏光ビームスプリッタ63は、偏光分離膜63Aがプリズム62の側面62Bと略平行となるように配設されている。
偏光ビームスプリッタ91は、偏光ビームスプリッタ61,63と同様の構成を有し、各直角プリズムの界面には、偏光分離膜91Aが形成されている。
受光素子92は、偏光分離膜91Aを透過したP偏光の光を受光する位置に配設され、受光素子93は、偏光分離膜91Aを反射したS偏光の光を受光する位置に配設されている。そして、受光素子92,93は、受光した光の強度を演算処理手段10に出力する。
演算処理手段10は、受光素子92,93にて受光される光の強度に基づいて、被測定物Wの変位を測定する。
光源2から射出された光は、無偏光ビームスプリッタ3の界面3Aにて反射され、集光レンズ4にてピンホール5に集光される。集光レンズ4にて集光された光は、ピンホール5を通過して偏光ビームスプリッタ61に入射する。
偏光ビームスプリッタ61は、偏光分離膜61AにてP偏光を透過させ、S偏光を反射させることで入射した光をP偏光、及びS偏光に分離する。なお、図1では、P偏光を実線で示し、S偏光を点線で示している。以下の図面においても同様である。
また、本実施形態では、所定の偏光方向を有する第1偏光を偏光分離膜61Aに対してP偏光となる光とし、第1偏光の偏光方向と直交する偏光方向を有する第2偏光を偏光分離膜61Aに対してS偏光となる光として説明する。すなわち、本実施形態では、偏光ビームスプリッタ61は、延長用分離素子として機能する。
偏光ビームスプリッタ63は、偏光分離膜63AにてP偏光を透過させ、S偏光を反射させることで偏光ビームスプリッタ61を透過したP偏光と、偏光ビームスプリッタ61を反射し、プリズム62を介したS偏光とを合成する。すなわち、本実施形態では、偏光ビームスプリッタ63は、合成素子として機能する。
ここで、光路延長手段6は、S偏光の光路を延長するので、対物レンズ8を介してP偏光が集光される位置(以下、第1合焦位置Pとする)と、S偏光が集光される位置(以下、第2合焦位置Sとする)とは異なることになる。
被測定物Wの表面が第1合焦位置Pにある場合には、図2に示すように、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、P偏光は、対物レンズ8、結像レンズ7、及び光路延長手段6を介してピンホール5に集光される。すなわち、結像レンズ7は、被測定物Wの表面にて反射される光を結像させる。また、ピンホール5は、結像レンズ7にて結像される光を通過させる。
また、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、ピンホール5とは異なる位置に集光される。
このため、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、P偏光は、ピンホール5を通過するが、S偏光は、ピンホール5を殆ど通過することができない。
偏光ビームスプリッタ91は、偏光分離膜91AにてP偏光を透過させ、S偏光を反射させることで入射した光をP偏光、及びS偏光に分離する。すなわち、本実施形態では、偏光ビームスプリッタ91は、受光用分離素子として機能する。
偏光ビームスプリッタ91を透過したP偏光は、受光素子92にて受光される。また、偏光ビームスプリッタ91を反射したS偏光は、受光素子93にて受光される。すなわち、受光素子92,93は、ピンホール5を通過した光を受光する。
したがって、受光素子92の受光量は多くなり、受光素子93の受光量は少なくなる。
被測定物Wの表面が第2合焦位置Sにある場合には、図3に示すように、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、対物レンズ8、結像レンズ7、及び光路延長手段6を介してピンホール5に集光される。
また、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、P偏光は、ピンホール5とは異なる位置に集光される。
したがって、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、ピンホール5を通過するが、P偏光は、ピンホール5を殆ど通過することができないので、受光素子93の受光量は多くなり、受光素子92の受光量は少なくなる。
受光素子92の受光した光の強度Int1は、図4(A)に示すように、被測定物Wの表面の変位が第1合焦位置Pであるときに最大となり、受光素子93の受光した光の強度Int2は、被測定物Wの表面の変位が第2合焦位置Sであるときに最大となる。
図5は、光源2から射出され、被測定物Wの表面に至る光の光路を示す図である。なお、図5では、P偏光の光路を左側に示し、S偏光の光路を右側に示し、プリズム62を直線的に表現している。
なお、図5に示すように、u1は、ピンホール5、及び偏光ビームスプリッタ61の間の距離であり、dは、偏光ビームスプリッタ61,63の一辺の距離であり、u2は、偏光ビームスプリッタ63、及び結像レンズ7の間の距離であり、tは、プリズム62内における光路の距離である。また、nPBSは、偏光ビームスプリッタ61,63の屈折率であり、nTRIは、プリズム62の屈折率である。
xS=u1+u2+2d/nPBS+t/nTRI ・・・(3)
ここで、図6に示すように、結像レンズ7におけるピンホール5側の焦点f1がPP、及びPSの中間位置となるように結像レンズ7を配置すると、第1合焦位置P、及び第2合焦位置Sは、対物レンズ8における被測定物W側(図6中下方側)の焦点f2の近傍となる。
そして、結像レンズ7の焦点距離と比較してΔxが十分に小さいとみなせる場合には、縦倍率が(f2/f1)2となることから、以下の式(5)が成立する。
(1)変位計1は、1つのピンホール5を備えるので、構造上、測定誤差に方向依存性がなく、2つのピンホールを備えるダブルピンホール式の変位計と比較してピンホール5の位置を容易に調整することができる。
(2)光路延長手段6は、偏光ビームスプリッタ61,63と、プリズム62とを備え、これらの素子は、一体化されているので、光路延長手段6の位置を容易に調整することができる。したがって、変位計1の調整を更に容易にすることができる。
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係る変位計1Aを示す概略模式図である。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第1実施形態では、対物レンズ8は、所定の位置に固定されていた。これに対して、本実施形態では、変位計1Aは、図7に示すように、対物レンズ8を光軸方向に沿って移動させる移動手段11と、移動手段11にて移動される対物レンズ8の移動量を検出する検出手段12とを備えている点で異なる。なお、図7では、対物レンズ8は、移動手段11にて結像レンズ7側に移動されている。
また、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、ピンホール5とは異なる位置に集光される。
したがって、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、P偏光は、ピンホール5を通過するが、S偏光は、ピンホール5を殆ど通過することができないので、受光素子92の受光量は多くなり、受光素子93の受光量は少なくなる。
移動手段11にて対物レンズ8が被測定物W側に移動されている場合には、第1合焦位置P、及び第2合焦位置Sは、被測定物W側に移動する。この状態において、例えば、被測定物Wの表面が第2合焦位置Sにある場合には、図8に示すように、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、対物レンズ8、結像レンズ7、及び光路延長手段6を介してピンホール5に集光される。
また、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、P偏光は、ピンホール5とは異なる位置に集光される。
したがって、被測定物Wの表面にて反射される光のうち、S偏光は、ピンホール5を通過するが、P偏光は、ピンホール5を殆ど通過することができないので、受光素子93の受光量は多くなり、受光素子92の受光量は少なくなる。
(3)移動手段11にて対物レンズ8を光軸方向に沿って移動させることで、第1合焦位置P、及び第2合焦位置Sを光軸方向に沿って移動させることができる。したがって、受光手段9にて受光される光の強度に基づいて、被測定物Wの変位を測定することができるだけでなく、受光手段9にて受光される光の強度と、検出手段12にて検出される対物レンズ8の移動量とに基づいて、被測定物Wの表面の位置を測定することができる。
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、所定の偏光方向を有する第1偏光を偏光分離膜61Aに対してP偏光となる光とし、第1偏光の偏光方向と直交する偏光方向を有する第2偏光を偏光分離膜61Aに対してS偏光となる光としていたが、第1偏光をS偏光とし、第2偏光をP偏光としてもよい。
2…光源
4…集光レンズ
5…ピンホール
6…光路延長手段
7…結像レンズ
8…対物レンズ
9…受光手段
10…演算処理手段
11…移動手段
12…検出手段
61…偏光ビームスプリッタ(延長用分離素子)
62…プリズム(光路延長素子)
63…偏光ビームスプリッタ(合成素子)
91…偏光ビームスプリッタ(受光用分離素子)
92,93…受光素子
Claims (3)
- 光源と、前記光源から射出された光を被測定物に向かって集光させる対物レンズと、前記被測定物の表面にて反射される光を結像させる結像レンズと、前記結像レンズにて結像される光を通過させるピンホールと、前記ピンホールを透過した光を受光する受光手段とを備え、前記受光手段にて受光される光の強度に基づいて、前記被測定物の変位を測定する変位計であって、
前記ピンホールは、前記光源、及び前記結像レンズの間に配設され、
前記光源、及び前記ピンホールの間に配設され、前記光源から射出される光を前記ピンホールに集光させる集光レンズと、
前記ピンホールと、前記結像レンズとの間に配設され、所定の偏光方向を有する第1偏光、及び前記第1偏光の偏光方向と直交する偏光方向を有する第2偏光のいずれか一方の光路を延長する光路延長手段とを備え、
前記受光手段は、
前記第1偏光、及び前記第2偏光を分離する受光用分離素子と、
前記受光用分離素子にて分離される前記第1偏光、及び前記第2偏光をそれぞれ受光する2つの受光素子とを備え、
前記光路延長手段は、
前記第1偏光、及び前記第2偏光を分離する延長用分離素子と、
前記延長用分離素子にて分離される前記第1偏光、及び前記第2偏光のいずれか一方の光路を延長する光路延長素子と、
前記延長用分離素子にて分離される前記第1偏光、及び前記第2偏光のいずれか他方と、前記光路延長素子にて光路を延長される前記第1偏光、及び前記第2偏光のいずれか一方とを合成する合成素子とを備え、
前記延長用分離素子、前記光路延長素子、及び前記合成素子は、一体化されていることを特徴とする変位計。 - 請求項1に記載の変位計において、
前記延長用分離素子は、2つの直角プリズムを貼り合わせた略直方体状に形成されるとともに、各直角プリズムの界面に第1偏光分離膜が形成された第1偏光ビームスプリッタであり、
前記光路延長素子は、略三角柱状に形成されたプリズムであり、
前記合成素子は、2つの直角プリズムを貼り合わせた略直方体状に形成されるとともに、各直角プリズムの界面に第2偏光分離膜が形成された第2偏光ビームスプリッタであり、
前記第1偏光ビームスプリッタは、前記第1偏光分離膜が前記集光レンズの光軸に対して約45度の角度となるように配設され、
前記第2偏光ビームスプリッタは、前記第2偏光分離膜が前記集光レンズの光軸に対して約45度の角度となり、かつ、前記第1偏光分離膜に対して約90度の角度となるように前記第1偏光ビームスプリッタに貼り合わされ、
前記プリズムは、第1側面が前記第1偏光ビームスプリッタの前記第1偏光分離膜と略平行となり、かつ、前記第1側面に対して略直交する第2側面が前記第2偏光分離膜と略平行となるように、前記第1偏光ビームスプリッタおよび前記第2偏光ビームスプリッタに貼り合わされていることを特徴とする変位計。 - 請求項1または請求項2に記載の変位計において、
前記対物レンズを光軸方向に沿って移動させる移動手段と、
前記移動手段にて移動される前記対物レンズの移動量を検出する検出手段とを備えることを特徴とする変位計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009123716A JP5405195B2 (ja) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009123716A JP5405195B2 (ja) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 変位計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010271208A JP2010271208A (ja) | 2010-12-02 |
JP5405195B2 true JP5405195B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=43419345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009123716A Active JP5405195B2 (ja) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 変位計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5405195B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5421231B2 (ja) | 2010-12-06 | 2014-02-19 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ブレーキ装置 |
JP5220832B2 (ja) | 2010-12-06 | 2013-06-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ブレーキ装置 |
US8783793B2 (en) | 2010-12-06 | 2014-07-22 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Brake apparatus |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0283222B1 (en) * | 1987-03-20 | 1994-01-12 | Digital Optronics Corporation | 3-Dimensional vision system utilizing coherent optical detection |
JPH0486514A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式変位計 |
JP2580824Y2 (ja) * | 1992-09-16 | 1998-09-17 | 旭光学工業株式会社 | 焦点調整装置 |
JPH09171954A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-06-30 | Nikon Corp | 位置測定装置 |
JPH10148505A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Ricoh Co Ltd | 光学式変位計およびこれを用いた変位測定方法 |
JP3535089B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2004-06-07 | 株式会社ミツトヨ | 位置制御方法、装置、及び、これを用いたフォーカシングサーボ装置 |
JP2003232606A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Mitsubishi Electric Corp | 角度検出システム、角度検出方法、及びレーザ加工装置 |
JP2004138554A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-13 | Nikon Corp | 計測装置及び露光装置 |
-
2009
- 2009-05-22 JP JP2009123716A patent/JP5405195B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010271208A (ja) | 2010-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7723657B2 (en) | Focus detection apparatus having extended detection range | |
JP2011039026A (ja) | 光学式変位計 | |
JP2008275453A (ja) | 光学的変位測定装置 | |
TW201120558A (en) | Focal position detecting apparatus and method | |
JP5713545B2 (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2001324678A (ja) | 光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡 | |
EP3081898A1 (en) | Displacement sensor | |
JP2007225341A (ja) | 干渉計、及び形状の測定方法 | |
JP5405195B2 (ja) | 変位計 | |
US6580495B2 (en) | Surveying instrument having a phase-difference detection type focus detecting device and a beam-splitting optical system | |
JP2004317424A (ja) | オートコリメータ | |
JP2008039750A (ja) | 高さ測定装置 | |
KR20190050859A (ko) | 웨이퍼의 3차원 맵핑 | |
JP2010032342A (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2005241621A (ja) | 光学測定装置及び光学測定装置における距離算出方法 | |
JP2011118108A (ja) | レーザ共焦点顕微鏡、及び、試料表面検出方法 | |
JP4008398B2 (ja) | 位置姿勢計測装置および位置と姿勢の計測方法 | |
JP3688560B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
US20010048517A1 (en) | Electronic distance meter | |
JP5332192B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2009294154A (ja) | 傾斜センサ | |
JP2008164719A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡 | |
JP4323230B2 (ja) | 光学系偏心測定装置及び光学系偏心測定方法 | |
US8913250B2 (en) | Grazing incidence interferometer | |
JP3542171B2 (ja) | 顕微鏡装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5405195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |