JP3535089B2 - 位置制御方法、装置、及び、これを用いたフォーカシングサーボ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、位置制御方法、装
置、及び、これを用いたフォーカシングサーボ装置に係
り、特に、測定面の位置を検出する光学式変位計に用い
るのに好適な、フォーカス引込み制御からフォーカシン
グサーボ制御への移行を円滑に行うことが可能な、位置
制御方法、装置、及び、これを用いたフォーカシングサ
ーボ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学式変位計の１つに、光ビームを照射
する対物レンズを含み、該対物レンズの焦点位置から測
定面までのずれ量に応じた信号を出力する変位センサを
備え、該変位センサからの出力信号を基にフォーカシン
グサーボ動作を行うフォーカシングサーボ装置を用いた
光学式変位計が知られている。このような光学式変位計
の構成を図８に、その検出回路の各部信号波形の例を図
９に、前記変位センサからの信号を基にフォーカシング
サーボ動作を行う制御装置の各部動作波形の例を図１０
に、それぞれ示す。

【０００３】前記変位センサ１０１は、図８に示す如
く、半導体レーザ１と、該半導体レーザ１から放射され
た光を平行ビームとするコリメータレンズ２と、該コリ
メータレンズ２によって平行光線化された光ビーム３を
測定面４に向けて反射する偏光ビームスプリッタ５と、
該偏光ビームスプリッタ５により進行方向を変えられた
光ビーム３を測定面４に集光して光スポット６を形成す
る対物レンズ７と、測定面４による散乱反射光が半導体
レーザ１に戻らないようにすると共に、偏光ビームスプ
リッタ５との組合せで、ハーフミラーを用いた場合より
効率を高めるための１／４波長板８と、前記偏光ビーム
スプリッタ５を通過した反射光を結像する結像レンズ９
と、該結像レンズ９を通過した光を分割するビームスプ
リッタ１０と、該ビームスプリッタ１０により分割され
た各反射光の合焦位置よりも前及び後にそれぞれ配置さ
れた２つのピンホール１１Ａ、１１Ｂと、各ピンホール
１１Ａ、１１Ｂを通過した反射光の光量をそれぞれ検出
する受光素子（例えばホトダイオード）１２Ａ、１２Ｂ
と、各受光素子１２Ａ、１２Ｂからの出力を入力とする
検出回路２１とを含んで構成されている。

【０００４】前記対物レンズ７は、本体１３に対して光
軸方向に変位可能に設けられた対物レンズホルダ１４に
保持されている。本体１３と対物レンズホルダ１４との
間には、対物レンズホルダ１４を上下方向（対物レンズ
７の焦点位置が測定面４に一致する方向）へ駆動させる
駆動手段としてのアクチュエータ１５と、対物レンズホ
ルダ１４の上下方向位置を検出するリニアエンコーダ１
８とがそれぞれ設けられている。

【０００５】前記アクチュエータ１５は、前記本体１３
に固定されたマグネット１６と、前記対物レンズホルダ
１４に固定されたコイル１７とから構成されている。

【０００６】前記リニアエンコーダ１８は、前記対物レ
ンズホルダ１４に一端（図では下端）が固定されたスケ
ール１９と、該スケール１９に対向して、前記本体１３
に固定された検出器２０とから構成されている。

【０００７】前記検出回路２１は、前記各受光素子１２
Ａ、１２Ｂの出力電流を電圧に変換する電流−電圧（Ｉ
／Ｖ）変換器２２Ａ、２２Ｂと、各Ｉ／Ｖ変換器２２
Ａ、２２Ｂの出力電圧を増幅する増幅器２３Ａ、２３Ｂ
と、両増幅器２３Ａ、２３Ｂの出力の差を演算する減算
器２４と、前記両増幅器２３Ａ、２３Ｂの出力の和を演
算する加算器２５と、前記減算器２４の出力を前記加算
器２５の出力で割ってＳ字状のフォーカスエラー信号Ｓ
を出力する除算器２６と、該除算器２６からのフォーカ
スエラー信号Ｓが、基準レベル＋Ｖref1、−Ｖref1の範
囲より超えている時にＨレベルとなるサーボエリア信号
ＳＳを出力するＳＳコンパレータ２７とを含んで構成さ
れている。

【０００８】従って、各受光素子１２Ａ、１２Ｂから、
図９（Ａ）に示す受光信号ＰＤA、ＰＤBが出力される
と、除算器２６からは、図９（Ｂ）に示すように、対物
レンズ７の焦点位置から測定面４までのずれ量に応じた
フォーカスエラー信号Ｓが出力され、ＳＳコンパレータ
２７からは、図９（Ｃ）に示すサーボエリア信号ＳＳが
それぞれ出力される。

【０００９】前記検出回路２１からのフォーカスエラー
信号Ｓ及びサーボエリア信号ＳＳは、制御装置１０２に
入力される。この制御装置１０２は、フォーカスエラー
信号Ｓを基に、対物レンズ７の焦点位置が測定面４に一
致するように、駆動制御信号を前記アクチュエータ１５
に与えるサーボコントローラ３１、電力増幅器３４、フ
ォーカス引込み（以下、ＦＩと略する）用ＣＰＵ３６及
びＤ／Ａコンバータ３７、ＦＩ制御時にオンとなるスイ
ッチ３８、フォーカシングサーボ（以下、Ｆと略する）
制御時にオンとなるスイッチ３９を含んで構成されてい
る。

【００１０】ここで、前記ＦＩ用ＣＰＵ３６及びＤ／Ａ
コンバータ３７は、前記対物レンズ７の焦点位置から測
定面４までのずれ量が一定範囲内のサーボエリア内に入
るように、フォーカス引込み（ＦＩ）制御を行うＦＩ制
御部３５を構成している。

【００１１】ＦＩ制御時において、ＣＰＵ３６は、スイ
ッチ３８をオン、スイッチ３９をオフとすると共に、Ｄ
／Ａコンバータ３７の出力を、図１０（Ａ）に示す如く
徐々に増やしていく。すると、Ｄ／Ａコンバータ３７の
出力は、電力増幅器３４を通じてアクチュエータ１５に
与えられる結果、対物レンズ７が測定面４に接近する方
向に移動されていく。この間、ＣＰＵ３６は、ＳＳコン
パレータ２７からのサーボエリア信号ＳＳをチェック
し、そのサーボエリア信号ＳＳがＨレベルからＬレベル
に変化した時、即ち、測定面４がサーボエリア内に入っ
たことを検出した時、図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、
（Ｄ）に示す如く、Ｄ／Ａコンバータ３７の出力を固定
し、且つ、スイッチ３８をオン、スイッチ３９をオンと
する。これにより、サーボループが閉じ、Ｆ制御に動作
が引き渡される。以後、サーボコントローラ３１から
は、図１０（Ｅ）に示すように、測定面形状に追従した
駆動制御信号が出力され、アクチュエータ１５に与えら
れる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来は、
サーボエリア外からサーボエリア内に入った時点（図９
（Ｃ）のｘ1又はｘ2）で、直ちに、ＦＩ制御からＦ制御
に切換えていたので、サーボエリア外でのＦＩ制御から
サーボエリア内でのＦ制御への動作切換時の過渡現象の
ために、Ｆ制御に移行する時、対物レンズ７がサーボエ
リア外に出てしまう等の現象が発生し、再度ＦＩ制御を
実行しなければならない等の不具合が発生する場合があ
った。

【００１３】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、サーボ引込み制御からサーボ制御へ
の移行を、過渡現象を小さくして、円滑にさせることを
第１の課題とする。

【００１４】本発明は、又、フォーカシングサーボ装置
において、ＦＩ制御からＦ制御への移行を、過渡現象を
小さくして、円滑にさせることを第２の課題とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、位置制御対象
の目標位置と現在位置の差が大きい時は、オープンルー
プで現在位置を目標位置に近付けるよう位置制御対象を
駆動するサーボ引込み制御を行い、位置制御対象の目標
位置と現在位置の差が小さくなった時は、クローズルー
プで現在位置を目標位置に一致させるよう位置制御対象
を駆動するサーボ制御に切換えるようにした位置制御方
法において、サーボ引込み制御中は、初期値設定機能付
積分器より前段の積分器の記憶部を短絡させ、サーボ制
御が可能なサーボエリアに入ってもサーボ引込み制御を
続け、位置制御対象の現在位置が目標位置と一致した時
点で、その時点の制御出力を初期値設定機能付積分器に
初期値として記憶させ、前記目標位置と一致した時点の
現在位置を初期値として、前記初期値設定機能付積分器
より前段の積分器の動作を可能として、サーボ引込み制
御からサーボ制御に切換えることにより、前記第１の課
題を解決したものである。

【００１６】又、前記サーボ引込み制御からサーボ制御
へ切換える前に、目標位置近傍で、前記サーボ引込み制
御による位置制御対象の駆動速度を減速するようにし
て、前記過渡現象を一層確実に防止するようにしたもの
である。

【００１７】本発明は、又、オープンループで現在位置
を目標位置に近付けるよう位置制御対象を駆動するサー
ボ引込み制御手段と、クローズループで現在位置を目標
位置に一致させるよう位置制御対象を駆動するサーボ制
御手段と、目標位置と現在位置の差が小さくなった時
に、サーボ引込み制御からサーボ制御に切換えるため
の、サーボ制御が可能なサーボエリアに入ってもサーボ
引込み制御を続け、位置制御対象の現在位置が目標位置
と一致した時点で、サーボ引込み制御からサーボ制御に
切換える制御切換手段と、を備えた位置制御装置であっ
て、前記制御切換手段が、前記サーボ引込み制御手段の
出力が初期値として設定される初期値設定機能付積分器
を含み、該初期値設定機能付積分器が、前記サーボ制御
手段の最終段に配置され、該初期値設定機能付積分器よ
り前段の積分器の記憶部が、サーボ引込み制御中は短絡
されるようにして、同じく前記第１の課題を解決したも
のである。

【００１８】

【００１９】

【００２０】又、前記初期値が、サーボエリア内で位置
制御対象の現在位置が目標位置と一致した時にオンとな
るスイッチを介して設定されるようにしたものである。

【００２１】あるいは、前記初期値が、サーボエリア内
に入った時にオンとなるスイッチを介して設定されるよ
うにして、構成を簡略化したものである。

【００２２】本発明は、又、光ビームを照射する対物レ
ンズを含み、その対物レンズの焦点位置から測定面まで
のずれ量に応じた信号を出力する変位センサと、この変
位センサにおける対物レンズの焦点位置が測定面に一致
する方向へ変位センサを駆動させる駆動手段と、オープ
ンループで対物レンズの焦点位置を測定面に近付けるよ
う、前記駆動手段に出力を与えるフォース引込み制御手
段と、クローズループで対物レンズの焦点位置を測定面
に一致させるよう、前記駆動手段に出力を与えるフォー
カシングサーボ制御手段と、対物レンズの焦点位置と測
定面の差が小さくなった時に、フォース引込み制御から
フォーカシングサーボ制御に切換えるための、フォーカ
シングサーボ制御が可能なサーボエリア内に入ってもフ
ォース引込み制御を続け、対物レンズの焦点位置が測定
面に一致した時点で、フォース引込み制御からフォーカ
シングサーボ制御に切換える制御切換手段とを備えたフ
ォーカシングサーボ装置であって、前記制御切換手段
が、前記フォース引込み制御手段の出力が初期値として
設定される初期値設定機能付積分器を含み、該初期値設
定機能付積分器が、前記フォーカシングサーボ制御手段
の最終段に配置され、該初期値設定機能付積分器より前
段の積分器の記憶部が、フォース引込み制御中は短絡さ
れるようにして、前記第２の課題を解決したものであ
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００２４】本発明の第１実施形態は、図１に示す如
く、図７に示した従来例と同様の光学式変位計におい
て、精度を増すため複数段設けたサーボコントローラ３
１内に備えられた積分器３１Ａ・・・３１Ｆのうち、電
力増幅器３４直前の最終段の積分器３１Ｆを初期値設定
機能付積分器（以下、Ｉ積分器と略する）とすると共
に、サーボエリア内でフォーカスエラー信号Ｓがゼロと
なったことを検知するゼロ（Ｚ）信号発生回路４０を設
け、該Ｚ信号発生回路４０によりサーボエリア内でフォ
ーカスエラー信号Ｓがゼロとなったことが検知された時
にオンとなるゼロスイッチ４１を介して、その時のＦＩ
制御部３５のＤ／Ａコンバータ３７の出力を前記Ｉ積分
器３１Ｆに設定されるようにしたものである。

【００２５】前記Ｚ信号発生回路４０は、前記検出回路
２１の除算器２６の出力により、フォーカスエラー信号
ＳがゼロになったときにＺ信号を発生するＺコンパレー
タ４０Ａと、該Ｚコンパレータ４０Ａの出力を微分して
整形する、例えば図２に示すような微分器４０Ｃ及びシ
ュミットトリガ回路４０Ｄからなる微分・整形回路４０
Ｂと、該微分・整形回路４０Ｂにより出力される、Ｚ信
号がオンであり、且つ、前記ＳＳコンパレータ２７から
出力されるサーボエリア信号ＳＳがオンである時、即
ち、サーボエリア内で、且つ、フォーカスエラー信号Ｓ
がゼロである時に前記ゼロスイッチ４１をオンとする信
号を出力するアンドゲート４０Ｅから構成されている。

【００２６】前記サーボコントローラ３１は、図３に詳
細に示す如く、前記スイッチ３８と連動してオンオフさ
れるスイッチ３８Ａ、３８Ｂ・・・によりＦＩ制御時に
短絡される積分器３１Ａ、３１Ｂ・・・と、前記ゼロス
イッチ４１により、Ｚ信号がオンとなった時のＤ／Ａコ
ンバータ３７の出力が初期値としてコンデンサに設定さ
れる、最終段のＩ積分器３１Ｆを含んでいる。

【００２７】前記サーボコントローラ３１の他の構成や
ＦＩ制御部３５の構成としては、例えば出願人が特開平
７−８４１７２で提案したような構成を採用することが
できる。

【００２８】以下、本実施形態の作用を説明する。

【００２９】まずＦＩ制御時には、スイッチ３８がオ
ン、スイッチ３９がオフとされ、アクチュエータ１５と
サーボコントローラ３１が切り離されており、ＦＩ制御
部３５からアクチュエータ１５に図４の左側に示すよう
な駆動信号を与えて、オープンループで、対物レンズ７
の焦点位置が測定面４に近付くように、対物レンズホル
ダ１４を駆動する。

【００３０】ここで、図４の中央に示すように、サーボ
エリア内でフォーカスエラー信号Ｓがゼロになると、Ｚ
信号発生回路４０のＺコンパレータ４０ＡからＺ信号が
発生され、このタイミングで、瞬時に、サーボコントロ
ーラ３１内の最終段のＩ積分器３１Ｆに、ＦＩ制御部３
５が出力しているアクチュエータ駆動信号が、初期値と
して設定される。

【００３１】なお、ＦＩ制御時には、Ｉ積分器３１Ｆ以
外の前段の積分器３１Ａ・・・は、スイッチ３８Ａ・・
・をオンとして、積分動作が禁止される。

【００３２】ＦＩ制御からＦ制御への移行は、サーボエ
リア内で、且つ、フォーカスエラー信号Ｓがゼロの時実
行される。具体的には、スイッチ３８がオフとなって、
アクチュエータ１５とＦＩ制御部３５が切り離され、ス
イッチ３９がオンとなって、アクチュエータ１５とサー
ボコントローラ３１が接続され、サーボコントローラ３
１の最終段に配置された、ＦＩ制御時のフォーカスエラ
ー信号Ｓがゼロの時のアクチュエータ駆動信号を初期値
として、コンデンサに記憶したＩ積分器３１Ｆの信号
が、アクチュエータ１５に伝達される。この時、Ｓ＝０
なので、サーボコントローラ３１の入力もほぼ０であ
り、サーボコントローラ３１からは、Ｉ積分器３１Ｆに
記憶したＦＩ制御時のＳ＝０での値が、アクチュエータ
駆動信号として出力されることになる。この値は、可動
部をＳ＝０に保持する値に近い信号である。

【００３３】このようにして、フォーカスエラー信号Ｓ
＝０の時のエネルギ（ほぼＳ＝０の時に可動部を保持す
る力に近い）をＩ積分器３１Ｆに記憶させて、対物レン
ズ７がＳ＝０の位置を初期位置としてＦＩ制御からＦ制
御に切換えることにより、従来のようにサーボエリアの
境界で切換える場合に比べて、切換時の過渡現象を小さ
くして、円滑な切換えを行うことが可能となる。

【００３４】本実施形態においては、更に、ＦＩ制御中
に、サーボコントローラ３１内部のＩ積分器以外の積分
器３１Ａ・・・の記憶部をスイッチ３８Ａ・・・により
短絡しているので、その記憶はゼロであり、Ｓ＝０の切
換タイミングでは、記憶部入力は、フォーカスエリア信
号Ｓ＝０であるので、ＦＩ制御からＦ制御に移行する時
に、積分する信号がなく、エネルギの移動がないので、
迅速且つ円滑に制御を切換えることができる。これに対
して、例えば積分器３１ＡをＩ積分器とし、積分器３１
Ｆを通常の積分器とした場合には、積分器３１Ａのエネ
ルギが積分器３１Ｆ迄移動する過渡状態が発生してしま
う。

【００３５】又、アクチュエータ１５に与える駆動信号
についても、ドライバである電力増幅器３４の直前位置
にエネルギが蓄えられるＦ制御の定常状態を、スイッチ
３８Ａ・・・をオンとすることにより、ＦＩ制御時に強
制的に作り出して、そのままＦ制御に移行しているの
で、アクチュエータ１５への力は、Ｓ＝０を保持するた
めの力（初期加速度）であり、アクチュエータ駆動信号
の変動がなく、円滑な移行が可能である。

【００３６】特に、例えばＳ＝０でＤ／Ａコンバータ３
７を止めることで、速度を落としつつＦ制御に移行する
ようにして、Ｆ制御開始時に対物レンズ７を動かす初速
度を小さくすれば、より一層安定した切換えが可能であ
る。もし、Ｆ制御移行の初期時に、この初速度のために
Ｓが０でなくなっても、そのずれは少なく、過渡現象を
小さくすることができる。

【００３７】本実施形態においては、ＦＩ用ＣＰＵ３６
を加工することなく、本発明を実現できる。

【００３８】次に、図５を参照して、本発明の第２実施
形態を詳細に説明する。

【００３９】本実施形態は、第１実施形態と同様の光学
式変位計において、Ｚ信号発生回路４０の出力をＦＩ制
御部３５のＣＰＵ３６´に与え、サーボエリア内でフォ
ーカスエラー信号Ｓ＝０になるまでをＦＩ制御期間とし
て、この間は、Ｉ積分器３１Ｆの初期値として、次々に
変化するＦＩ制御部３５出力を、スイッチ３８Ｆを通じ
て与え続けるようにしたものである。

【００４０】本実施形態におけるサーボコントローラ３
１は、図６に示す如く、構成される。

【００４１】本実施形態においては、図７に示す如く、
サーボエリア内でフォーカスエラー信号Ｓ＝０になった
瞬間に、ＣＰＵ３６´がスイッチ３８、３８Ａ・・・３
８Ｆをオフにして、スイッチ３９をオンにする。

【００４２】ここで、Ｚ信号は、ＣＰＵ３６´内で判別
され、結果は、スイッチ３８、３８Ａ・・・３８Ｆ、３
９への指令信号として、ＣＰＵ３６´から出力される。

【００４３】本実施形態におけるＦ制御移行時の動作
は、第１実施形態と同じであるので、説明は省略す
る。。

【００４４】本実施形態においては、ＦＩ用ＣＰＵを加
工する必要はあるが、Ｚ信号発生回路４０の出力で直接
スイッチをオン・オフすることはないので、第１実施形
態のような微分・整形回路４０Ｂが不要であり、更に、
ゼロスイッチ４１も不要であるため、構成を簡略化でき
る。

【００４５】なお、前記実施形態においては、いずれ
も、Ｉ積分器のコンデンサに初期値を記憶させていた
が、初期値を記憶させる方法は、これに限定されず、例
えば、サンプルホールド回路で電圧値として記憶しても
良い。

【００４６】又、前記実施形態では、アクチュエータ１
５が、対物レンズ７の焦点位置が測定面４に一致するよ
うに、対物レンズ７を本体１３に対し移動させるもので
あったが、対物レンズ７を含む本体１３全体を測定面４
に対して接近、離間する方向へ移動させるものであって
もよい。又、逆に、測定面４を対物レンズ７に対して移
動させるものであってもよい。

【００４７】又、前記実施形態では、合焦方式として、
ピンホール法を用いた例で説明したが、この他、非点収
差法、風光法、臨界角法等でもよい。

【００４８】又、前記実施形態においては、いずれも、
本発明が、フォーカシングサーボ装置に適用されていた
が、本発明の適用対象はこれに限定されず、光学式変位
計以外の変位計や、フォーカシングサーボ装置以外の位
置制御にも同様に適用できることは明らかである。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、サーボ引込み制御から
サーボ制御への移行時の過渡現象を小さくして、サーボ
引込みエラーを解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光学式変位計の第１実施形態の全
体構成を示すブロック図

【図２】第１実施形態の微分・整形回路の具体的構成例
を示す回路図

【図３】同じくサーボコントローラの具体的構成例を示
す回路図

【図４】第１実施形態の制御装置の各部動作波形の例を
示す線図

【図５】本発明に係る光学式変位計の第２実施形態の全
体構成を示すブロック図

【図６】同じくサーボコントローラの具体的構成例を示
す回路図

【図７】同じく各部動作波形の例を示す線図

【図８】光学式変位計の従来例の全体構成を示すブロッ
ク線図

【図９】前記従来例の検出回路の各部信号波形の例を示
す線図

【図１０】同じく制御装置の各部動作波形の例を示す線
図

【符号の説明】

１…半導体レーザ ３…光ビーム ４…測定面 ６…光スポット ７…対物レンズ １１Ａ、１１Ｂ…ピンホール １２Ａ、１２Ｂ…受光素子 １５…アクチュエータ １７…コイル １８…リニヤエンコーダ １９…スケール ２１…検出回路 Ｓ…フォーカスエラー信号 ２７…ＳＳコンパレータ ＳＳ…サーボエリア信号 ３１…サーボコントローラ ３１Ａ…積分器 ３１Ｆ…初期値設定機能付（Ｉ）積分器 ３４…電力増幅器 ３５…フォーカス引込み（ＦＩ）制御部 ３６、３６´…フォーカス引込み（ＦＩ）用ＣＰＵ ３７…Ｄ／Ａコンバータ ４０…ゼロ（Ｚ）信号発生回路 ３８、３８Ａ・・・３８Ｆ、３９…スイッチ ４０Ａ…Ｚコンパレータ ４１…ゼロスイッチ １０１…変位センサ １０２…制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−106931（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−206928（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−144810（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−69013（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/20 G11B 7/08 - 7/10

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】位置制御対象の目標位置と現在位置の差が
   大きい時は、オープンループで現在位置を目標位置に近
   付けるよう位置制御対象を駆動するサーボ引込み制御を
   行い、 位置制御対象の目標位置と現在位置の差が小さくなった
   時は、クローズループで現在位置を目標位置に一致させ
   るよう位置制御対象を駆動するサーボ制御に切換えるよ
   うにした位置制御方法において、サーボ引込み制御中は、初期値設定機能付積分器より前
   段の積分器の記憶部を短絡させ、 サーボ制御が可能なサーボエリアに入ってもサーボ引込
   み制御を続け、位置制御対象の現在位置が目標位置と一
   致した時点で、その時点の制御出力を初期値設定機能付
   積分器に初期値として記憶させ、前記目標位置と一致し
   た時点の現在位置を初期値として、前記初期値設定機能
   付積分器より前段の積分器の動作を可能として、サーボ
   引込み制御からサーボ制御に切換えるようにしたことを
   特徴とする位置制御方法。
2. 【請求項２】前記サーボ引込み制御からサーボ制御へ切
   換える前に、目標位置近傍で、前記サーボ引込み制御に
   よる位置制御対象の駆動速度を減速することを特徴とす
   る請求項１に記載の位置制御方法。
3. 【請求項３】オープンループで現在位置を目標位置に近
   付けるよう位置制御対象を駆動するサーボ引込み制御手
   段と、 クローズループで現在位置を目標位置に一致させるよう
   位置制御対象を駆動するサーボ制御手段と、 目標位置と現在位置の差が小さくなった時に、サーボ引
   込み制御からサーボ制御に切換えるための、サーボ制御
   が可能なサーボエリアに入ってもサーボ引込み制御を続
   け、位置制御対象の現在位置が目標位置と一致した時点
   で、サーボ引込み制御からサーボ制御に切換える制御切
   換手段と、 を備えた位置制御装置であって、 前記制御切換手段が、前記サーボ引込み制御手段の出力
   が初期値として設定される初期値設定機能付積分器を含
   み、 該初期値設定機能付積分器が、前記サーボ制御手段の最
   終段に配置され、該初期値設定機能付積分器より前段の
   積分器の記憶部が、サーボ引込み制御中は短絡されるこ
   とを特徴とする位置制御装置。
4. 【請求項４】前記初期値が、サーボエリア内で位置制御
   対象の現在位置が目標位置と一致した時にオンとなるス
   イッチを介して設定されることを特徴とする請求項３に
   記載の位置制御装置。
5. 【請求項５】前記初期値が、サーボエリア内に入った時
   にオンとなるスイッチを介して設定されることを特徴と
   する請求項３に記載の位置制御装置。
6. 【請求項６】光ビームを照射する対物レンズを含み、そ
   の対物レンズの焦点位置から測定面までのずれ量に応じ
   た信号を出力する変位センサと、 この変位センサにおける対物レンズの焦点位置が測定面
   に一致する方向へ変位センサを駆動させる駆動手段と、 オープンループで対物レンズの焦点位置を測定面に近付
   けるよう、前記駆動手段に出力を与えるフォース引込み
   制御手段と、 クローズループで対物レンズの焦点位置を測定面に一致
   させるよう、前記駆動手段に出力を与えるフォーカシン
   グサーボ制御手段と、 対物レンズの焦点位置と測定面の差が小さくなった時
   に、フォース引込み制御からフォーカシングサーボ制御
   に切換えるための、フォーカシングサーボ制御が可能な
   サーボエリア内に入ってもフォース引込み制御を続け、
   対物レンズの焦点位置が測定面に一致した時点で、フォ
   ース引込み制御からフォーカシングサーボ制御に切換え
   る制御切換手段と、 を備えたフォーカシングサーボ装置であって、 前記制御切換手段が、前記フォース引込み制御手段の出
   力が初期値として設定される初期値設定機能付積分器を
   含み、 該初期値設定機能付積分器が、前記フォーカシングサー
   ボ制御手段の最終段に配置され、該初期値設定機能付積
   分器より前段の積分器の記憶部が、フォース引込み制御
   中は短絡されることを特徴とするフォーカシングサーボ
   装置。