JP2006250592A - 形状測定用プローブとその制御方法 - Google Patents
形状測定用プローブとその制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006250592A JP2006250592A JP2005064789A JP2005064789A JP2006250592A JP 2006250592 A JP2006250592 A JP 2006250592A JP 2005064789 A JP2005064789 A JP 2005064789A JP 2005064789 A JP2005064789 A JP 2005064789A JP 2006250592 A JP2006250592 A JP 2006250592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- control circuit
- movable part
- output
- switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【課題】 押し込みすぎのない位置制御を実現し、しかも制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定でき、高精度測定可能な形状測定用プローブを提供する。
【解決手段】 出力ホールド回路(49)と加算器(45)を備え、フォーカスをかける時に、フォーカス制御回路(39)の出力にZ位置制御回路(38)の出力をローパスフィルタ(48)を通して出力ホールド回路(49)でホールドしたものを加算したものを電流指令としてZ駆動回路(35)出力する。
【選択図】図3
【解決手段】 出力ホールド回路(49)と加算器(45)を備え、フォーカスをかける時に、フォーカス制御回路(39)の出力にZ位置制御回路(38)の出力をローパスフィルタ(48)を通して出力ホールド回路(49)でホールドしたものを加算したものを電流指令としてZ駆動回路(35)出力する。
【選択図】図3
Description
本発明はレンズなどの形状を高精度に測定する形状測定装置用プローブ及びその制御方法に関する。
従来、三次元測定用プローブとして、一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Aと、エアー軸受けにより可動部Aと移動可能な状態で連結された可動部Bと、光源からの光をミラー面に向けて照射し、ミラー面による反射光から可動部Aと可動部Bの相対位置を測定する相対位置測定手段と、スタイラスが被測定面を走査し、被測定面の移動方向の変化に伴って移動方向に動く時、相対位置測定手段から得られた可動部Aと可動部Bの相対位置が一定になるように可動部Bを移動方向に駆動する可動部B駆動手段を備えたものが知られている。(例えば、特許文献1参照)
特許第3000819号明細書
しかしながら、上記のような従来の形状測定用プローブにおいては、スタイラスが被測定物に押し込みすぎて、エラーとなって位置制御がかからない場合がある。それを防ぐためには制御に係るパラメータを微妙に調整する必要があり、その調整に多大な時間を要するという課題を有していた。
また、調整により位置制御がかけられるようになっても、少し押し込みすぎが発生する瞬間が存在するため、被測定物の材質によっては、傷を付けてしまうという課題を有していた。
また、制御回路の制御パラメータは制御の追従性にも影響を与えるパラメータであるが、位置制御がかかることが優先されるため、追従性を犠牲にせざるを得なかった。追従性が不十分であると、被測定面が高傾斜のところでの測定精度が悪くなったり、傾斜に追従できずに、エラーとなって測定できなくなるという課題を有していた。
また、調整により位置制御がかけられるようになっても、少し押し込みすぎが発生する瞬間が存在するため、被測定物の材質によっては、傷を付けてしまうという課題を有していた。
また、制御回路の制御パラメータは制御の追従性にも影響を与えるパラメータであるが、位置制御がかかることが優先されるため、追従性を犠牲にせざるを得なかった。追従性が不十分であると、被測定面が高傾斜のところでの測定精度が悪くなったり、傾斜に追従できずに、エラーとなって測定できなくなるという課題を有していた。
本発明は、押し込みすぎのない位置制御を実現し、しかも制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定でき、高精度測定可能な形状測定用プローブを提供することを目的とする。
本発明は、第1の態様においては、
一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光をミラー面に照射し、レーザ光の焦点が常にミラー面に合うように可動部Bを駆動することにより、可動部Aと可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段と、レーザ光のミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、フォーカス誤差信号がゼロとなるようにフォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路と、可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、位置検出器からの実位置信号と位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、フォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御する位置制御回路と、位置制御回路の出力をホールドするホールド回路と、フォーカス制御機構駆動手段に位置制御回路とホールド回路とを切り換え接続するスイッチAと、フォーカス制御機構駆動手段にフォーカス制御回路を接続または遮断するスイッチBと、フォーカス誤差信号を監視し位置制御回路とフォーカス制御回路の切り換えタイミングを判断してスイッチAとスイッチBを切り換えるフォーカス制御ON/OFF設定手段と、を備えた形状測定用プローブである。
一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光をミラー面に照射し、レーザ光の焦点が常にミラー面に合うように可動部Bを駆動することにより、可動部Aと可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段と、レーザ光のミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、フォーカス誤差信号がゼロとなるようにフォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路と、可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、位置検出器からの実位置信号と位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、フォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御する位置制御回路と、位置制御回路の出力をホールドするホールド回路と、フォーカス制御機構駆動手段に位置制御回路とホールド回路とを切り換え接続するスイッチAと、フォーカス制御機構駆動手段にフォーカス制御回路を接続または遮断するスイッチBと、フォーカス誤差信号を監視し位置制御回路とフォーカス制御回路の切り換えタイミングを判断してスイッチAとスイッチBを切り換えるフォーカス制御ON/OFF設定手段と、を備えた形状測定用プローブである。
また、本発明は、第2の態様においては、本発明第1態様に係る形状測定用プローブの制御方法であって、被測定物をスタイラスの下に設置した状態でスイッチAを位置制御回路に接続するステップと、位置指令生成器により可動部Bを徐々に下げる信号を出力するステップと、スタイラスが被測定物に接触したことをフォーカス誤差信号の変化で検知するステップと、フォーカス誤差信号があらかじめ設定した値を超えた時にスイッチBを接続すると同時にスイッチAを切り換えて位置制御回路の出力をホールドしたものをフォーカス制御回路の出力に加算するステップと、を有する形状測定用プローブの制御方法である。
本発明の効果は、押し込みすぎのないフォーカス制御への切り換えを行うことができること、および、フォーカス制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定して高精度な測定を行うことができること、である。
以下、本発明の実施形態について、図1〜図3を参照しながら説明する。
<形状測定用プローブの制御装置>
図1は、本実施形態におけるフォーカス制御系の構造図である。Z方向に移動可能なフォーカス制御機構15において半導体レーザ1から発したレーザ光Gはコリメートレンズ2、偏光ビームスプリッタ3、λ/4波長板4を透過した後、ダイクロイックミラー5を反射し、対物レンズ6によってスタイラス7の上面に取り付けられたミラー面23上に集光する。対物レンズ6に戻ったレーザ光Gの反射光はダイクロイックミラー5及び偏光ビームスプリッタ3を全反射し、レンズ8で集光されてハーフミラー9で2つに分離され、ピンホール10a、10bを通過し、2つの光検出器11a、11bで受光される。2つの光検出器11a、11bの出力はフォーカス誤差信号発生部12によりフォーカス誤差信号となり、サーボ回路13によってこのフォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ14を制御し、スタイラス7とフォーカス制御機構15の相対位置を一定にするように構成されている。なお、フォーカス制御機構15を含むZ移動部の自重分は渦巻きバネ16により支持されている。
図1は、本実施形態におけるフォーカス制御系の構造図である。Z方向に移動可能なフォーカス制御機構15において半導体レーザ1から発したレーザ光Gはコリメートレンズ2、偏光ビームスプリッタ3、λ/4波長板4を透過した後、ダイクロイックミラー5を反射し、対物レンズ6によってスタイラス7の上面に取り付けられたミラー面23上に集光する。対物レンズ6に戻ったレーザ光Gの反射光はダイクロイックミラー5及び偏光ビームスプリッタ3を全反射し、レンズ8で集光されてハーフミラー9で2つに分離され、ピンホール10a、10bを通過し、2つの光検出器11a、11bで受光される。2つの光検出器11a、11bの出力はフォーカス誤差信号発生部12によりフォーカス誤差信号となり、サーボ回路13によってこのフォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ14を制御し、スタイラス7とフォーカス制御機構15の相対位置を一定にするように構成されている。なお、フォーカス制御機構15を含むZ移動部の自重分は渦巻きバネ16により支持されている。
スタイラス7の上部には円筒状のスライド部22が設けられ、スライド部22はエアー供給部18から供給されるエアーの吹き出し穴を有するガイド19の内壁をエアースライドとしてZ方向に可動である。スライド部22の上部にはミラー面23が固定され、スライド部22、スタイラス7、ミラー面23からなる可動部の重量はバネ20によって支えられている。
スタイラス7の下端には各種の曲率半径を持つ針がついており、被測定面21上を10〜100mgという弱い測定圧で走査され、被測定面21の形状に沿って上下するが、スタイラス7が上下するとフォーカス制御が働いてフォーカス制御機構15全体が上下するのでミラー面23上に常に対物レンズ6の焦点が合っている。Fzは発振周波数安定化ヘリウムネオンゼーマンレーザの光でミラー面23に当たって反射し、レーザ測長器によってZ座標を測定するためのものである。
図2は、対物レンズ6とミラー面23との距離Lと各光検出器11a、11bで検出される信号との関係を示す図である。図2(a)は光検出器11aで検出される電流から変換された電圧V1に関するグラフで、図2(b)は光検出器11bで検出される電流から変換された電圧V2に関するグラフで、図2(c)は電圧V1と電圧V2の差電圧Veに関するグラフである。図2(c)の曲線を以下、S字曲線と呼ぶ。このS字曲線の真中のVe=0の点がフォーカス位置であり、この位置にくるようにフォーカス制御がかけられる。フォーカスOFF時のVeが図2(c)に示すV0にある状態で、スタイラス7を被測定面21に接触させるようにし、その状態でフォーカス制御をかけると、図2(c)に示す押し込み量だけスタイラス7が押し込まれた状態になる。したがって、フォーカス制御OFF時の対物レンズ6とミラー面23の距離を調整することにより、フォーカス制御時のスタイラス7の押し込み量、すなわち測定圧を自由に設定することができる。
S字曲線のリニアな領域は、フォーカス引き込み範囲と呼ばれるが、この範囲は数十μm程度であるのに対し、様々な形状の被測定物に対応するためには、対物レンズ6の可動範囲としては数十mm程度は必要なため、フォーカス引き込み範囲外では、フォーカス制御機構15の位置を制御する必要がある。そのため、フォーカス誤差信号発生部12とサーボ回路13を含めた制御装置は、図3に示すように構成されている。
図3は本実施形態における形状測定用プローブの制御装置の制御構成を示すブロック図である。フォーカス制御機構15の位置制御を行うために、位置指令信号を出力するZ位置指令出力手段42と、フォーカス制御機構15の位置を検出し実位置信号として出力する位置検出器30と、位置指令信号と実位置信号との誤差を検出する減算器40と、減算器40から出力される位置誤差信号に基づき、リニアモータ14に流す電流指令信号を出力するZ位置制御回路38と、Z位置制御回路38から出力される電流指令信号に基づき、リニアモータ14に流れる電流を制御するZ駆動回路35が設けられている。
また、フォーカス制御を行うために、光検出器11a、11bで検出された光量に比例した電気信号を発生させるフォーカス信号1発生器31及びフォーカス信号2発生器32と、フォーカス信号1発生器31から出力される信号とフォーカス信号2発生器32から出力される信号との差をフォーカス誤差信号として出力するフォーカス誤差信号発生器33と、フォーカス誤差信号の目標値をゼロとし、目標値とフォーカス誤差信号との誤差を検出する減算器41と、減算器41から出力される誤差信号がゼロになるようにリニアモータ14に流す電流指令信号を出力するフォーカス制御回路39とが設けられ、フォーカス制御回路39から出力される電流指令信号は2系統に分岐され、一方は直接切換スイッチB47に入力され、他方は、ローパスフィルタ48および出力ホールド回路49に入力され、出力ホールド回路49の出力が切換スイッチB47に入力される。切換スイッチB47からの出力は、加算機45により切換スイッチA46の出力と加算され、Z駆動回路35に入力される。切換スイッチA46および切換スイッチB47は、フォーカス制御ON/OFF設定手段44により切り換えられる。
被測定物がない時には切換スイッチA46および切換スイッチB47は実線の位置にあり、フォーカス制御機構15はZ位置指令出力手段42により出力される指令に基づいてその位置を制御される。操作者は、被測定物を設置した後、Z位置指令出力手段42により、スタイラス7が被測定物の少し上に来るようにフォーカス制御機構15の位置を調整し、フォーカススタートスイッチ43をONにする。フォーカススタートスイッチ43がON状態になると、Z位置指令出力手段42はあらかじめ設定された速度でフォーカス制御機構15の位置を下げていく。その間、フォーカス制御ON/OFF設定手段44は、フォーカス誤差信号発生器33から出力される図2(c)に示すようなフォーカス誤差信号を監視しており、スタイラス7が被測定面21に接触すると、フォーカス誤差信号がV0から+方向へ変化していくので、その値があらかじめ設定された値を超えると、切換スイッチA46をONすると同時に切換スイッチB47を破線の位置に切り換える。これにより、フォーカス制御回路39の出力に、出力ホールド回路49から出力される、切換スイッチB47を切り換える直前のZ位置制御回路38の出力をホールドしたものが加算され、電流指令として加算器45に入力される。以後は、フォーカス誤差信号が目標値である0になるようにフォーカス制御がかかり、一定の押し込み量でスタイラスと測定物が接触することになる。
ここで、Z位置制御回路38の出力をホールドしたものをフォーカス制御回路39の出力に加算するのは、位置制御からフォーカス制御に切り換えた瞬間の電流指令の変化を小さくし、スムーズにフォーカス誤差信号を0にするためである。
もし、Z位置制御回路38の出力をホールドしたものをフォーカス制御回路39の出力に加算しない場合、フォーカス制御に切り換える時に、状態により、スタイラス7が被測定面21から離れてしまい、フォーカスをかけられなくなってしまったり、逆にスタイラス7が被測定面21に押し込み過ぎてしまったりする場合がある。具体的に説明すると、渦巻きバネ16の釣り合い位置よりもかなり下の方でフォーカスをかけた場合は、バネがもどろうとする力が上方向に加わるため、スタイラス7が被測定面21から離れやすくなる。逆に、渦巻きバネ16の釣り合い位置よりもかなり上の方でフォーカスをかけた場合は、フォーカスをかけようとする力とバネがもどろうとする力が共に下方向に加わるため、スタイラス7が被測定面21に押し込み過ぎる可能性がある。
次に、ローパスフィルタ48の役割について説明する。位置制御は高精度である必要はないので、位置検出器30はあまり精度の高くない安価なものを使用するため、Z位置制御回路38の出力の変動が大きい。このため、同じ位置でフォーカスをかけてもホールドした値が変わり、その値によっては、フォーカスはスムーズにかかるものの、わずかな押し込み過ぎを発生させる場合がある。スタイラス7にダイヤモンドのように固い材質で先端が数μm程度の細いものを使用した場合、被測定物の材質によっては、傷を付ける場合がある。そのため、Z位置制御回路38の出力をローパスフィルタ48に通したものをホールドすることにより、少しでも電流指令の変化を小さくしている。
本発明の形状測定用プローブとその制御方法は、制御機構の位置によらず容易に、押し込みすぎのないフォーカス制御への切り換えを行うことができ、また、制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定することができ、高精度な測定を行うことができるという効果を有し、レンズなどの形状を高精度に測定する三次元形状測定装置のプローブの制御に有効に利用できる。
G : レーザ光 1 : 半導体レーザ
2 : コリメートレンズ 3 : 偏光ビームスプリッタ
4 : λ/4波長板 5 : ダイクロイックミラー
6 : 対物レンズ 7 : スタイラス
8 : レンズ 9 : ハーフミラー
10a、10b : ピンホール 11a、11b : 光検出器
12 : フォーカス誤差信号発生部 13 : サーボ回路
14 : リニアモータ 15 : フォーカス制御機構
16 : 渦巻きバネ 18 : エアー供給部
19 : ガイド 20 : バネ
21 : 被測定面 22 : スライド部
23 : ミラー面 30 : 位置検出器
31 : フォーカス信号1発生器 32 : フォーカス信号2発生器
33 : フォーカス誤差信号発生器 34 : 電流検出器
35 : Z駆動回路 36 : 減算器
37 : 切換スイッチ 38 : Z位置制御回路
39 : フォーカス制御回路 40 : 減算器
41 : 減算器 42 : Z位置指令出力手段
43 : フォーカススタートスイッチ
44 : フォーカス制御ON/OFF設定手段
45 : 加算器 46 : 切換スイッチA
47 : 切換スイッチB
2 : コリメートレンズ 3 : 偏光ビームスプリッタ
4 : λ/4波長板 5 : ダイクロイックミラー
6 : 対物レンズ 7 : スタイラス
8 : レンズ 9 : ハーフミラー
10a、10b : ピンホール 11a、11b : 光検出器
12 : フォーカス誤差信号発生部 13 : サーボ回路
14 : リニアモータ 15 : フォーカス制御機構
16 : 渦巻きバネ 18 : エアー供給部
19 : ガイド 20 : バネ
21 : 被測定面 22 : スライド部
23 : ミラー面 30 : 位置検出器
31 : フォーカス信号1発生器 32 : フォーカス信号2発生器
33 : フォーカス誤差信号発生器 34 : 電流検出器
35 : Z駆動回路 36 : 減算器
37 : 切換スイッチ 38 : Z位置制御回路
39 : フォーカス制御回路 40 : 減算器
41 : 減算器 42 : Z位置指令出力手段
43 : フォーカススタートスイッチ
44 : フォーカス制御ON/OFF設定手段
45 : 加算器 46 : 切換スイッチA
47 : 切換スイッチB
Claims (2)
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、
前記可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、
前記スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光を前記ミラー面に照射し、前記レーザ光の焦点が常に前記ミラー面に合うように前記可動部Bを駆動することにより、前記可動部Aと前記可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段と、
前記レーザ光の前記ミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、
前記可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、
前記フォーカス誤差信号がゼロとなるように前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路と、
前記可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、
前記可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、
前記位置検出器からの実位置信号と前記位置指令生成器からの前記位置指令信号とが等しくなるように、前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御する位置制御回路と、
前記位置制御回路の出力をホールドするホールド回路と、
前記フォーカス制御機構駆動手段に前記位置制御回路と前記ホールド回路とを切り換え接続するスイッチAと、
前記フォーカス制御機構駆動手段に前記フォーカス制御回路を接続または遮断するスイッチBと、
前記フォーカス誤差信号を監視し前記位置制御回路と前記フォーカス制御回路の切り換えタイミングを判断して前記スイッチAと前記スイッチBを切り換えるフォーカス制御ON/OFF設定手段と、を備えたことを特徴とする形状測定用プローブ。 - 請求項1記載の形状測定用プローブの制御方法であって、
前記被測定物を前記スタイラスの下に設置した状態で前記スイッチAを前記位置制御回路に接続するステップと、
前記位置指令生成器により前記可動部Bを徐々に下げる信号を出力するステップと、
前記スタイラスが前記被測定物に接触したことを前記フォーカス誤差信号の変化で検知するステップと、
前記フォーカス誤差信号があらかじめ設定した値を超えた時に前記スイッチBを接続すると同時に前記スイッチAを切り換えて前記位置制御回路の出力をホールドしたものを前記フォーカス制御回路の出力に加算するステップと、を有する形状測定用プローブの制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005064789A JP2006250592A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | 形状測定用プローブとその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005064789A JP2006250592A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | 形状測定用プローブとその制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006250592A true JP2006250592A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=37091273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005064789A Pending JP2006250592A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | 形状測定用プローブとその制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006250592A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008292236A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Panasonic Corp | 三次元形状測定装置 |
-
2005
- 2005-03-09 JP JP2005064789A patent/JP2006250592A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008292236A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Panasonic Corp | 三次元形状測定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109791042B (zh) | 用于光学测量焊接深度的方法 | |
JP4021183B2 (ja) | 合焦状態信号出力装置 | |
US5847383A (en) | Approaching device of scanning probe microscope | |
JPH07103710A (ja) | 変位検出装置 | |
JP5131957B2 (ja) | レーザ微細加工装置及びレーザ微細加工装置のフォーカスサーボ方法 | |
US5315374A (en) | Three-dimensional measuring apparatus | |
US6667458B1 (en) | Spot size and distance characterization for a laser tool | |
JP2006250592A (ja) | 形状測定用プローブとその制御方法 | |
KR100242983B1 (ko) | 2중 반사를 이용한 오토포커싱시스템 | |
JP4925934B2 (ja) | 合焦装置及びこれを備えた加工装置 | |
JP2935548B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP2008292236A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2797521B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP3248275B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4377293B2 (ja) | 形状測定装置とその測定圧制御方法 | |
JP2009222520A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2006242689A (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP3182809B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP3179824B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP2021060310A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の位置調整方法 | |
TWI571341B (zh) | An auto focus system and method that can focus on beam sensitivity | |
JP3190783B2 (ja) | フォーカシングサーボ機構 | |
JP4278363B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
JP2007139557A (ja) | 複合型顕微鏡 | |
JPH03105202A (ja) | 自動焦点制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061208 |