JPH0968407A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 装置が複雑、高価になることなく、被測定面
の変位の変化量の大小に関係なく、被測定面の変位を非
接触で高精度に検出することのできる変位検出装置を得
る。 【解決手段】 被測定面１０に対向する如く配され、レ
ーザビームを対物レンズ９にその光軸に沿って入射さ
せ、その集束出射ビームを被測定面１０に入射させるレ
ーザ光源２と、被測定面１０から反射し、反射ビームが
入射せしめられるフォーカスエラー検出手段６、７と、
対物レンズ９の光軸方向の位置を測定する測定手段１
２、１４とを有し、被測定面１０の測定毎に、対物レン
ズ９を移動させて、フォーカスエラー検出手段６、７に
よってフォーカスエラーが所定値になったときの対物レ
ンズ９の位置を測定手段１２、１４によって測定し、フ
ォーカスエラーが所定値となったときの対物レンズ９の
位置の変位から、被測定面１０の対物レンズ９の光軸方
向の変位を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被測定面の変位を検
出する変位検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】以下に、図４を参照して、従来の被測定
面の変位を非接触で検出することのできる変位検出装置
を説明する。９は光軸方向に移動可能な対物レンズ（そ
の焦点距離をｆ₁ とする）で、被測定面１０に対向して
おり、棒１１を介してアクチュエータ１５によって駆動
せしめられる。アクチュエータ１５は、円筒状の永久磁
石１６及びの内側の円筒状の可動コイル１７から構成さ
れるボイスコイルモータである。棒１１が設けられ、そ
の下端に対物レンズ９が取付けられ、上端が連結部１１
ａを介して、可動コイル１７の下端に取付けられてい
る。

【０００３】次に、シャーシ等の固定部に取付けられた
検出光学系１について説明する。レーザ光源としてのレ
ーザダイオード２からの発散出射レーザビームが、コリ
メータレンズ３に入射して、平行ビームに変換される。
この平行ビームは、偏光ビームスプリッタ４を透過し、
更に、λ／４板（ここで、λはレーザダイオード２から
のレーザビームの波長である）８を透過することによっ
て偏光され、対物レンズ９にその光軸に沿って入射す
る。対物レンズ９からの集束出射ビームは、被測定面１
０に入射し、その発散反射ビームは対物レンズ９に再度
入射して、平行出射ビームに変換され、その平行出射ビ
ームは、λ／４板８を透過して再度偏光された後、偏光
ビームスプリッタ４に入射して、その反射面で進行方向
が９０°変更され、その平行出射ビームは集光レンズ５
に入射すことによって集光せしめられ、その集束出射ビ
ームは円筒レンズ６を通じて、４分割光検出器（例え
ば、フォトダイオードからなる）７上に入射する。これ
ら円筒レンズ６及び４分割光検出器７にて、非点収差法
によるフォーカスエラー検出手段が構成される。

【０００４】光検出器７は、図２に示す如く、４分割さ
れた光検出部７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ（この符号は、光
検出部に対し、反時計回りに付されている）から構成さ
れ。対物レンズ９のフォーカスエラー信号Ｅは、光検出
器７の受光面上のビームスポットＢＳに基づく光検出部
７Ａ〜７Ｄよりの各検出信号をそれぞれＡ〜Ｄとする
と、

【０００５】

【数１】Ｅ＝（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）

【０００６】のように表される。対物レンズ９からの集
束出射ビームが被測定面１０上に焦点を結んでいると
き、即ち、対物レンズ９と被測定面１０との間の距離ｄ
が対物レンズ９の焦点距離ｆ₁ に等しいときは、図２
（Ｂ）に示す如くビームスポットＢＳは、４個の光検出
部７Ａ〜７Ｄの中心と一致する中心を有する円となり、
フォーカスエラー信号は０となる。又、対物レンズ９と
被測定面１０との間の距離ｄが対物レンズ９の焦点距離
ｆ₁ より短くなると、図２（Ａ）に示す如く、光検出器
７の受光面上のビームスポットＢＳは、４個の光検出部
７Ａ〜７Ｄの中心と一致する中心を有し、長径の方向が
光検出部７Ｂ、７Ｄを結ぶ方向の楕円になり、フォーカ
スエラー信号Ｅのレベルは負になる。更に、対物レンズ
９と被測定面１０との間の距離ｄが対物レンズ９の焦点
距離ｆ₁ より長くなると、図２（Ｃ）に示す如く、光検
出器７の受光面上のビームスポットＢＳは、４個の光検
出部７Ａ〜７Ｄの中心と一致する中心を有し、長径の方
向が光検出部７Ａ、７Ｃを結ぶ方向の楕円になり、フォ
ーカスエラー信号Ｅのレベルは正になる。そして、フォ
ーカスエラー信号Ｅは、図３に示す如く、対物レンズ９
から被測定面１０までの距離ｄの変化に応じて、Ｓ字状
に変化する。そして、ｄ＝ｆ₁ のとき、対物レンズ９は
被測定面１０に対し合焦位置にある。

【０００７】そして、光検出器７からのフォーカスエラ
ー信号Ｅがサーボ回路２０に供給され、そのサーボ回路
２０によって、可動コイル１７が駆動されて、光検出器
７からのフォーカスエラー信号Ｅのレベルが０となるよ
うに、対物レンズ９が駆動される。

【０００８】棒１１の中間には、目盛１３を有するリニ
アスケール（磁気スケール、光学スケール、容量型スケ
ール等）１２が取付けられ、このリニアスケール１２に
対し、検出ヘッド（磁気ヘッド、光学ヘッド、容量型ヘ
ッド等）が固定部に設けられて、検出ヘッド１４がスケ
ール１２の目盛信号を読み取る。検出ヘッド１４の検出
出力が信号処理回路１８によって信号処理されることに
より、目盛示す信号が得られる。この目盛を示す信号は
表示器（数字等を表示する単純な表示器又はデータロガ
ー等の如く、記憶手段、制御手段、表示器等を備え、数
字と共にグラフをも表示する表示装置）１９に供給され
て、目盛を示す数字、グラフ等が表示される。尚、上述
とは逆に、検出ヘッド１４を棒１１に取付け、リニアス
ケール１２を固定部に取付けても良い。

【０００９】この表示器１９に表示される目盛は、対物
レンズ９の光軸方向の位置を間接的に示している。被測
定面１０の位置が対物レンズ９の光軸方向に、第１の位
置から第２の位置に変化すれば、合焦状態にある対物レ
ンズ９も他の第１の位置から他の第２の位置に移動す
る。合焦状態にある対物レンズ９と被測定面１０との間
の距離ｄは対物レンズ９の焦点距離ｆ₁ に等しく一定で
ある。従って、被測定面１０の対物レンズ９の光軸方向
の変位（第１及び第２の位置間の距離）は、対物レンズ
９の変位（他の第１及び第２の位置間の距離）に等しい
ので、対物レンズ９の変位から被測定面の１０の変位が
分かる。

【００１０】尚、被測定物を対物レンズ９の光軸と直角
な方向に移動させることにより、その被測定物のある面
の各部の変位が検出される。又、同じ被測定面１０が対
物レンズ９の光軸方向に移動する場合も、その被測定面
１０の変位が検出される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】かかる従来の変位検出
装置は、図３に示すフォーカスエラー信号の特性から明
らかなように、被測定面１０の変位が小さいときは問題
ないが、被測定面１０の変位が大きい場合、即ち、測定
範囲が広い場合はリニアスケール１２を長くする必要が
生じる。しかし、リニアスケール１２を長くすると、ア
クチュエータ１５の駆動対象が重くなり、サーボが掛け
難くなる。更に、サーボを適切に掛けようとすると、装
置が複雑、高価となってしまう。

【００１２】かかる点に鑑み、本発明は、装置が複雑、
高価になることなく、被測定面の変位の大きさに無関係
に、被測定面の変位を非接触で高精度に検出することの
できる変位検出装置を提案しようとするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】第１の本発明は、被測定
面に対向する如く配され、その光軸方向に移動可能な対
物レンズと、レーザビームを対物レンズにその光軸に沿
って入射させ、その集束出射ビームを被測定面に入射さ
せるレーザ光源と、被測定面から反射し、対物レンズを
再度通過した反射ビームが入射せしめられるフォーカス
エラー検出手段と、対物レンズの光軸方向の位置を測定
する測定手段とを有し、被測定面の測定毎に、対物レン
ズ及び被測定面間の距離が対物レンズの焦点距離より長
い距離及び短い距離の間に亘って変化するように対物レ
ンズを移動させて、フォーカスエラー検出手段によって
フォーカスエラーが所定値になったときの対物レンズの
位置を測定手段によって測定し、フォーカスエラーが所
定値となったときの対物レンズの位置の変位から、被測
定面の対物レンズの光軸方向の変位を検出するようにし
たことを特徴とする変位検出装置である。

【００１４】かかる第１の本発明によれば、被測定面の
測定毎に、対物レンズ及び被測定面間の距離が対物レン
ズの焦点距離より長い距離及び短い距離の間に亘って変
化するように対物レンズを移動させて、フォーカスエラ
ー検出手段によってフォーカスエラーが所定値になった
ときの対物レンズの位置を測定手段によって測定し、フ
ォーカスエラーが所定値となったときの対物レンズの位
置の変位から、被測定面の対物レンズの光軸方向の変位
を検出する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、図１を参照して、本発明
の実施の形態を説明するも、図１において、図４と対応
する部分には、同一符号を付して示す。９は光軸方向に
移動可能な対物レンズ（その焦点距離をｆ₁ とする）
で、被測定面１０に対向しており、棒１１を介して、ア
クチュエータ１５によって駆動せしめられる。アクチュ
エータ１５は、円筒状の永久磁石１６及びの内側の円筒
状の可動コイル１７から構成されるボイスコイルモータ
である。棒１１が設けられ、その下端に対物レンズ９が
取付けられ、上端が連結部１１ａを介して、可動コイル
１７の下端に取付けられている。

【００１６】次に、シャーシ等の固定部に取付けられた
検出光学系１について説明する。レーザ光源としてのレ
ーザダイオード２からの発散出射レーザビームが、コリ
メータレンズ３に入射して、平行ビームに変換される。
この平行ビームは、偏光ビームスプリッタ４を透過した
後、λ／４板（ここでλはレーザダイオード１４からの
レーザビームの波長を示す）８を透過することによって
偏光された後、対物レンズ９にその光軸に沿って入射す
る。対物レンズ９からの集束出射ビームは、被測定面１
０に入射し、その発散反射ビームは対物レンズ９に再度
入射して、平行出射ビームに変換され、その平行出射ビ
ームはλ／４板８を透過することによって再度偏光され
た後、偏光ビームスプリッタ４に入射して、その反射面
で進行方向が９０°変更され、その平行出射ビームは集
光レンズ５に入射して集光せしめられ、その集束出射ビ
ームは円筒レンズ６を通じて、４分割光検出器（例え
ば、フォトダイオードからなる）７上に入射する。これ
ら円筒レンズ６及び４分割光検出器７にて、非点収差法
によるフォーカスエラー検出手段が構成される。

【００１７】光検出器７は、図２に示す如く、４分割さ
れた光検出部７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ（この符号は、光
検出部に対し、反時計回りに付されている）から構成さ
れる。対物レンズ９のフォーカスエラー信号Ｅは、光検
出器７の受光面上のビームスポットＢＳに基づく光検出
部７Ａ〜７Ｄよりの各検出信号をそれぞれＡ〜Ｄとした
とき、上述の数１の式で表される。

【００１８】対物レンズ９からの集束出射ビームが被測
定面１０上に焦点を結んでいるとき、即ち、対物レンズ
９と被測定面１０との間の距離ｄが対物レンズ９の焦点
距離ｆ₁ に等しいときは、図２（Ｂ）に示す如くビーム
スポットＢＳは、４個の光検出部７Ａ〜７Ｄの中心と一
致する中心を有する円となり、フォーカスエラー信号は
０となる。又、対物レンズ９と被測定面１０との間の距
離ｄが対物レンズ９の焦点距離ｆ₁ より短くなると、図
２（Ａ）に示す如く、光検出器７の受光面上のビームス
ポットＢＳは、４個の光検出部７Ａ〜７Ｄの中心と一致
する中心を有し、長径の方向が光検出部７Ｂ、７Ｄを結
ぶ方向の楕円になり、フォーカスエラー信号のレベルは
負になる。更に、対物レンズ９と被測定面１０との間の
距離ｄが対物レンズ９の焦点距離ｆ₁ より長くなると、
図２（Ｃ）に示す如く、光検出器７の受光面上のビーム
スポットＢＳは、４個の光検出部７Ａ〜７Ｄの中心と一
致する中心を有し、長径の方向が光検出部７Ａ、７Ｃを
結ぶ方向の楕円になり、フォーカスエラー信号のレベル
正になる。そして、フォーカスエラー信号Ｅのレベル
は、図３に示す如く、対物レンズ９から被測定面１０ま
での距離ｄの変化に応じて、Ｓ字状に変化する。そし
て、ｄ＝ｆ₁ のとき、対物レンズ９は被測定面１０に対
し合焦位置にある。

【００１９】２１は制御器で、制御器２１からの駆動信
号が可動コイル１７に供給されて、対物レンズ９がその
光軸方向に駆動せしめられる。棒１１の中間には、目盛
１３を有するリニアスケール（磁気スケール、光学スケ
ール、容量型スケール等）１２が取付けられ、このリニ
アスケール１２に対し、検出ヘッド（磁気ヘッド、光学
ヘッド、容量型ヘッド等）１４が固定部に取付けられ
て、この検出ヘッド１４がスケール１２の目盛信号を読
み取る。検出ヘッド１４の検出出力が信号処理回路２２
によって信号処理されることにより、目盛を示す信号が
得られる。尚、上述とは逆に、検出ヘッド１４を棒１１
に取付け、リニアスケール１２を固定部に取付けても良
い。

【００２０】又、光検出器７よりのフォーカスエラー信
号Ｅが信号処理回路２３に供給されて信号処理されて、
フォーカスエラー信号Ｅにおいて、対物レンズ９と被測
定面１０との間の距離ｄが、対物レンズ９の焦点距離ｆ
₁ と等しくなったとき、合焦検出信号が出力されて、演
算回路２４に供給される。尚、この演算回路２４は、変
位検出装置の各部を制御する制御手段としてのＣＰＵを
含んでいる。検出ヘッド１４からの目盛を示す信号は、
演算回路２４を介して表示器（数字等を表示する単純な
表示器又はデータロガー等の如く、記憶手段、制御手
段、表示器等を備え、数字と共にグラフをも表示する表
示装置）２７に供給されて、目盛を示す数字、グラフ等
が表示される。

【００２１】次に、この実施の形態の動作を説明する。
対物レンズ９と被測定面１０との間の距離ｄが、対物レ
ンズ９の焦点距離ｆ₁ より十分長いとき及び十分短いと
きは、光検出器７よりのフォーカスエラー信号Ｅのレベ
ルは、対物レンズ９と被測定面１０との間の距離ｄが変
化しても、０のままである。そこで、先ず、対物レンズ
９と被測定面１０との間の距離ｄが、対物レンズ９の焦
点距離ｆ₁ より十分長くなる出発位置（検出光学系１の
λ／４板８に近いが、対物レンズ９がこのλ／４板８に
衝突するおそれのない所定位置）に対物レンズ９を置
き、制御器２１からの駆動信号をアクチュエータ１５の
可動コイル１７に供給して、対物レンズ９を被測定面１
０に近づく方向に移動させる。そうすると、光検出器７
からのフォーカスエラー信号Ｅのレベルは最初０で、そ
の後、正となり、値が次第に大となり、正のピーク値を
経て、その値が次第に小さくなり、やがて０になる。こ
のフォーカスエラー信号Ｅのレベルが０になったとき
は、対物レンズ９と被測定面１０との間の距離ｄが対物
レンズ９の焦点距離ｆ₁ と等しくなったときで、このと
きの対物レンズ９の被測定面１０に対する位置が合焦位
置である。その後も、続けて、対物レンズ９を被測定面
１０に近づく方向に移動させると、フォーカスエラー信
号Ｅのレベル負になり、値が次第に大となり、負のピー
ク値を経て、その値が次第に小さくなり、終には再び０
になる。そのときの対物レンズ９の位置を到達位置（被
測定面１０に近いが、この被測定面１０がどのように変
位しても、対物レンズ９がその被測定面１０に衝突する
おそれのない所定位置）にする。その後、制御器２１に
よって、アクチュエータ１５の可動コイル１７に、上述
と逆極性の駆動信号を供給して、対物レンズ９を逆方向
に駆動して、元の出発位置に戻す。尚、対物レンズ９を
逆方向に駆動して、元の出発位置に戻る途中でも、対物
レンズ９が被測定面１０に対し合焦位置に来る。

【００２２】尚、演算回路２４が信号処理回路２３から
の合焦点での信号を受けたときに、信号処理回路２２の
変位量を読み込んで表示器２７に供給する方法として
は、合焦点の信号全てに対して行うことや、対物レンズ
９の移動方向に応じて、一方向のみの合焦点の信号に対
して行うことも可能である。

【００２３】しかして、演算回路２４の入力端子２６
に、変位検出装置の動作を開始させるためのキースイッ
チからのキー信号又は外部からの動作開始制御信号を供
給して、変位検出装置の動作を開始させた後、最初に、
対物レンズ９を出発位置から到達位置まで移動させ、最
初の被測定面（これを基準被測定面とする）１０に対す
る対物レンズ９の位置が合焦位置になったとき、信号処
理回路２３から得た合焦検出信号を演算回路２４に供給
し、そのときの信号処理回路２２から得られる対物レン
ズ９の光軸方向の位置（リニアスケール１２の目盛）
（これを基準位置とする）を示す信号を、演算回路２４
を通じてメモリ２５に記憶させる。

【００２４】しかる後、被測定面１０を測定する毎に、
アクチュエータ１５によって、対物レンズ９を出発位置
から到達位置まで移動させて、対物レンズ９の合焦位置
での信号処理回路２２からの対物レンズ９の位置（リニ
アスケール１２の目盛）を示す信号を得て、演算回路２
４に供給して、メモリ２５に記憶されて基準位置との差
分、即ち、被測定面１０の基準となる被測定面１０の変
位を算出して、データロガ等の表示器２７に供給して、
その変位を数字、グラフ等で表示させる。尚、演算回路
２４から表示器２７に供給される複数の一連の被特性面
１０の変位のデータは、表示器２７内の記憶手段に記憶
され、それらを並列的に表示することもできる。

【００２５】この表示器１９に表示される目盛は、対物
レンズ９の光軸方向の位置を間接的に示している。対物
レンズ９の変位から被測定面の１０の変位が分かる。

【００２６】尚、被測定物を対物レンズ９の光軸と直角
な方向に移動させることにより、その被測定物のある面
の各部の変位が検出される。この場合は、被測定面１０
を対物レンズ９の光軸と直角な方向に移動させるタイミ
ングと、測定開始（対物レンズ９の移動開始）のタイミ
ングを同期させることにより、この変位検出装置は表面
形状測定装置となる。又、同じ被測定面１０が対物レン
ズ９の光軸方向に移動する場合も、その被測定面１０の
変位が検出される。

【００２７】対物レンズ９を移動させる手段としては、
リニアーモータ、ステッピングモータ、ＤＣモータ、エ
アーシリンダー、油圧シリンダー等でも良く、又、手動
であっても良い。

【００２８】尚、対物レンズ９を出発位置から到達位置
まで移動させる場合、検出光学系１や、被測定面１０に
接近し過ぎたり、衝突するのを回避するために、棒１１
の途中に突起を設け、その突起は対物レンズ９の出発位
置及び到達位置に対応して設けられたストッパと衝合さ
せるようにしても良い。

【００２９】又、信号処理回路２３から演算回路２４に
供給される信号は、フォーカスエラー信号が０になった
とき、即ち、対物レンズ９が被測定面１０に対し合焦点
に位置したときに発生するのが好ましいが、対物レンズ
９と被測定面１０との間の距離ｄが、対物レンズ９の焦
点距離ｆ₁ に極く近い所定の値になったとき、即ち、フ
ォーカスエラー信号が０に極く近い所定値になったとき
に発生するようにしても良い。

【００３０】フォーカスエラー検出手段としては、上述
の実施の形態では、非点収差法を採用したが、臨界角
法、ナイフエッジ法等でも良い。

【００３１】又、上述の実施の形態における演算回路２
４からの被測定面１０の変位を示す信号を、磁気テー
プ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等に記
憶させることができる。

【００３２】

【発明の効果】第１の本発明によれば、被測定面に対向
する如く配され、その光軸方向に移動可能な対物レンズ
と、レーザビームを対物レンズにその光軸に沿って入射
させ、その集束出射ビームを被測定面に入射させるレー
ザ光源と、被測定面から反射し、対物レンズを再度通過
した反射ビームが入射せしめられるフォーカスエラー検
出手段と、対物レンズの光軸方向の位置を測定する測定
手段とを有し、被測定面の測定毎に、対物レンズ及び被
測定面間の距離が対物レンズの焦点距離より長い距離及
び短い距離の間に亘って変化するように対物レンズを移
動させて、フォーカスエラー検出手段によってフォーカ
スエラーが所定値になったときの対物レンズの位置を測
定手段によって測定し、フォーカスエラーが所定値とな
ったときの対物レンズの位置の変位から、被測定面の対
物レンズの光軸方向の変位を検出するようにしたので、
装置が複雑、高価になることなく、被測定面の変位の変
化量の大小に関係なく、被測定面の変位を非接触で高精
度に検出することのできる変位検出装置を得ることがで
きる。

【００３３】第２の本発明によれば、第１の本発明の変
位検出装置において、基準となる被測定面の測定時のフ
ォーカスエラーが所定値になったときの対物レンズの位
置を基準位置として記憶する記憶手段と、フォーカスエ
ラーが所定値となったときの対物レンズの位置の、記憶
手段に記憶されている基準位置に対する差分を算出する
演算手段とを設けてなり、演算手段から、被測定面の対
物レンズの光軸方向の基準となる被測定面からの変位を
得るようにしたので、第１の本発明の効果に加えて、被
測定面の基準被測定面からの変位を検出することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のブロック線図である。

【図２】光検出器の動作説明のための略線図である。

【図３】フォーカスエラー信号の特性を示す曲線図であ
る。

【図４】従来例を示すブロック線図である。

【符号の説明】 １ 検出光学系 ２ レーザダイオード ３ コリメータレンズ ４ 偏光ビームスプリッタ ５ 集光レンズ ６ 円筒レンズ ７ 光検出器 ８ λ／４板 ９ 対物レンズ １０ 被測定面 １１ 棒 １２ リニアスケール １３ 目盛 １４ 検出ヘッド １５ アクチュエータ １６ 永久磁石 １７ 可動コイル ２２ 信号処理回路 ２３ 信号処理回路 ２４ 演算回路 ２５ メモリ ２６ 入力端子 ２７ 表示器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定面に対向する如く配され、その光
   軸方向に移動可能な対物レンズと、 レーザビームを前記対物レンズにその光軸に沿って入射
   させ、その集束出射ビームを前記被測定面に入射させる
   レーザ光源と、 前記被測定面から反射し、前記対物レンズを再度通過し
   た反射ビームが入射せしめられるフォーカスエラー検出
   手段と、 前記対物レンズの光軸方向の位置を測定する測定手段と
   を有し、 前記被測定面の測定毎に、前記対物レンズ及び前記被測
   定面間の距離が前記対物レンズの焦点距離より長い距離
   及び短い距離の間に亘って変化するように前記対物レン
   ズを移動させて、前記フォーカスエラー検出手段によっ
   てフォーカスエラーが所定値になったときの前記対物レ
   ンズの位置を前記測定手段によって測定し、前記フォー
   カスエラーが所定値となったときの前記対物レンズの位
   置の変位から、前記被測定面の前記対物レンズの光軸方
   向の変位を検出するようにしたことを特徴とする変位検
   出装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の変位検出装置におい
   て、 基準となる前記被測定面の測定時の前記フォーカスエラ
   ーが所定値になったときの前記対物レンズの位置を基準
   位置として記憶する記憶手段と、 前記フォーカスエラーが所定値となったときの前記対物
   レンズの位置の、前記記憶手段に記憶されている基準位
   置に対する差分を算出する演算手段とを設けてなり、 前記演算手段から、前記被測定面の前記対物レンズの光
   軸方向の前記基準となる被測定面からの変位を得るよう
   にしたことを特徴とする変位検出装置。