JP5402124B2 - 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 - Google Patents

光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5402124B2
JP5402124B2 JP2009065726A JP2009065726A JP5402124B2 JP 5402124 B2 JP5402124 B2 JP 5402124B2 JP 2009065726 A JP2009065726 A JP 2009065726A JP 2009065726 A JP2009065726 A JP 2009065726A JP 5402124 B2 JP5402124 B2 JP 5402124B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light reflecting
optical device
reflecting member
attachment
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009065726A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2010217648A5 (enExample
JP2010217648A (ja
Inventor
真希子 中村
安志 溝口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2009065726A priority Critical patent/JP5402124B2/ja
Priority to US12/695,333 priority patent/US8610987B2/en
Priority to CN201010134483A priority patent/CN101840051A/zh
Publication of JP2010217648A publication Critical patent/JP2010217648A/ja
Publication of JP2010217648A5 publication Critical patent/JP2010217648A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5402124B2 publication Critical patent/JP5402124B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
JP2009065726A 2009-03-18 2009-03-18 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 Expired - Fee Related JP5402124B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009065726A JP5402124B2 (ja) 2009-03-18 2009-03-18 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
US12/695,333 US8610987B2 (en) 2009-03-18 2010-01-28 Optical device, optical scanner, and image forming apparatus
CN201010134483A CN101840051A (zh) 2009-03-18 2010-03-16 光学器件、光扫描仪以及图像形成装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009065726A JP5402124B2 (ja) 2009-03-18 2009-03-18 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013224002A Division JP5713083B2 (ja) 2013-10-29 2013-10-29 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010217648A JP2010217648A (ja) 2010-09-30
JP2010217648A5 JP2010217648A5 (enExample) 2013-05-23
JP5402124B2 true JP5402124B2 (ja) 2014-01-29

Family

ID=42737354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009065726A Expired - Fee Related JP5402124B2 (ja) 2009-03-18 2009-03-18 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8610987B2 (enExample)
JP (1) JP5402124B2 (enExample)
CN (1) CN101840051A (enExample)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9024992B2 (en) * 2011-01-07 2015-05-05 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Vibrating element, optical scanning device, and image forming device and image projection device using same
WO2013046612A1 (ja) 2011-09-30 2013-04-04 パナソニック株式会社 光学反射素子
JP6111532B2 (ja) 2012-05-11 2017-04-12 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP5942576B2 (ja) 2012-05-11 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP5949345B2 (ja) * 2012-09-04 2016-07-06 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6094105B2 (ja) 2012-09-13 2017-03-15 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ
JP2014123020A (ja) * 2012-12-21 2014-07-03 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ
JP6075062B2 (ja) * 2012-12-27 2017-02-08 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2014126725A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Funai Electric Co Ltd 走査ミラー装置
JP5935761B2 (ja) * 2013-06-12 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP6233010B2 (ja) * 2013-12-26 2017-11-22 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
US10209510B2 (en) * 2017-03-09 2019-02-19 Microvision, Inc. Compact modular scanners for scanning laser devices
CN109932804B (zh) * 2019-03-04 2021-06-01 杭州电子科技大学 一种小口径轻型反射镜的柔性记忆合金支撑装置
JP2021051219A (ja) * 2019-09-25 2021-04-01 日本電産株式会社 光学素子および光走査装置
JP2021051222A (ja) * 2019-09-25 2021-04-01 日本電産株式会社 光学素子および光走査装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5982521A (en) * 1995-11-15 1999-11-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanner
JPH09304721A (ja) 1996-05-14 1997-11-28 Brother Ind Ltd 光走査装置
JPH09329758A (ja) * 1996-06-11 1997-12-22 Brother Ind Ltd 光走査装置及びその製造方法
US6173895B1 (en) * 1999-04-05 2001-01-16 Geo Labs, Inc. Articulated scan elements with elastomeric hinges, and methods for manufacture of same
JP4724936B2 (ja) * 2000-04-28 2011-07-13 株式会社デンソー 光スキャナ及び２次元スキャンシステム
EP1191382A3 (en) * 2000-09-20 2003-10-15 Texas Instruments Inc. Stacked micromirror structures
US6956684B2 (en) * 2002-11-08 2005-10-18 Texas Instruments Incorporated Multilayered oscillating device with spine support
JP2005326466A (ja) * 2004-05-12 2005-11-24 Canon Inc 光走査装置、画像形成装置
JP4161971B2 (ja) * 2005-02-16 2008-10-08 セイコーエプソン株式会社 光走査装置及び画像表示装置
US7457023B2 (en) * 2005-03-02 2008-11-25 Texas Instruments Incorporated Manufacturing a mirror plate or other operational structure having superior flatness by laser milling for use with torsional hinged devices
JP4485484B2 (ja) * 2006-03-31 2010-06-23 日本信号株式会社 プレーナー型アクチュエータ
JP2008040353A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Seiko Epson Corp 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置
JP4983281B2 (ja) 2007-02-06 2012-07-25 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置
JP4277921B2 (ja) * 2007-06-05 2009-06-10 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP5084385B2 (ja) * 2007-07-20 2012-11-28 キヤノン株式会社 ねじりバネ、光偏向器及びそれを用いた画像形成装置
WO2009057801A1 (en) * 2007-10-30 2009-05-07 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing oscillator device, and optical deflector and optical instrument with oscillator device based on it
JP2009134243A (ja) * 2007-10-30 2009-06-18 Canon Inc 揺動体装置の製造方法、該製造方法により製造された揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器
JP2009175513A (ja) * 2008-01-25 2009-08-06 Panasonic Corp 振動ミラーおよびレーザスキャニングユニット
JP2009175511A (ja) * 2008-01-25 2009-08-06 Panasonic Corp 振動ミラーの製造方法
US8059324B2 (en) * 2009-09-23 2011-11-15 Metrologic Instruments, Inc. Scan element for use in scanning light and method of making the same

Also Published As

Publication number Publication date
US20100238533A1 (en) 2010-09-23
JP2010217648A (ja) 2010-09-30
US8610987B2 (en) 2013-12-17
CN101840051A (zh) 2010-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5402124B2 (ja) 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
JP3862623B2 (ja) 光偏向器及びその製造方法
JP5272989B2 (ja) ２次元光スキャナ
JP5720673B2 (ja) 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置
WO2012070610A1 (ja) 光走査装置
JP2009104102A (ja) ミラーから分離されたアクチュエータを備えたｍｅｍｓスキャナ
KR20090031104A (ko) 2축 구동 전자기 스캐너
JP2005128147A (ja) 光偏向器及び光学装置
US9658448B2 (en) Actuator, optical scanner, and image formation apparatus
JPWO2012115264A1 (ja) 光走査装置
US8027072B2 (en) Optical device, optical scanner, and image forming apparatus
JP2016033593A (ja) スキャナ装置
JP5713083B2 (ja) 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
CN104749770B (zh) 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
JP2009251002A (ja) アクチュエータ、画像形成装置及びアクチュエータの製造方法
JP2013097026A (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
US8717653B2 (en) Light scanner and image forming apparatus
JP2008111882A (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP5387222B2 (ja) 光偏向器
JP4720723B2 (ja) 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置
JP2012208395A (ja) 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置
JP4984988B2 (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP2011100074A (ja) 光学デバイス、光走査装置及び画像形成装置
US20100245961A1 (en) Optical device, optical scanner, and image forming apparatus
JP2008076695A (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120213

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121121

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130415

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130704

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131014

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees