JP4485484B2 - プレーナー型アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、プレーナー型アクチュエータに関するものである。

現在、光スキャナ等に用いられる光偏向器として、枠状のフレーム部に梁部（トーションバー）を介して可動部を支持したプレーナー型アクチュエータが知られている。

図４は、フレーム部に可動部と梁部を一体的に形成したプレーナー型アクチュエータを示す上面図である。このプレーナー型アクチュエータでは、まず半導体基板（例えばＳＯＩ基板）からなる枠状のフレーム部１の内側に平板状の可動部（可動板）２が２本の梁部（トーションバー）３により支持されている。可動板２とトーションバー３は、共にフレーム部１と一体的に形成されており、トーションバー３の捻り運動に従って可動板２が揺動可能となっている。可動板２の表面中央には金属薄膜（Ａｕ等）からなるミラー部４が形成され、更にミラー部４を囲繞するように金属薄膜からなるコイルパターン５が形成されている。この構成のプレーナー型アクチュエータにおいては、コイルパターン５に通電して磁界を発生させ、可動板２周辺に設置した永久磁石６との磁力的な相互作用により可動板２を駆動させている。（例えば、特許文献１参照）

しかしながら、以上のようにフレーム部に可動板とトーションバーを一体的に形成したプレーナー型アクチュエータにおいては、製造する際に半導体基板にエッチング（特にドライエッチング）を施したり、金属薄膜（薄膜コイルやミラー部）をスパッタリングや蒸着により形成しており、それらの工程中、半導体基板は過度の熱に曝されている。そのため、その熱により、完成したプレーナー型アクチュエータの可動板に歪みが生じたり、半導体材質の可動板と金属材質のミラー部との間で熱応力に差が生じて可動板に反りが発生するという問題があった。

そのため、以上のような問題点を解消したプレーナー型アクチュエータとして、可動部をトーションバーとは別体に形成したプレーナー型アクチュエータが提案されている。図５は、可動部をトーションバーとは別体に形成したプレーナー型アクチュエータを示す断面図で、この構成では、アルミニウム合金等からなる平板状の可動部７がトーションバー８とは別体に形成されている。可動部７の主面片側（表面）にはミラー面９が形成され、もう一方の主面片側（裏面）には矩形状の凹部１０が形成されており、可動部７の裏面に形成された矩形状の凹部１０に円柱状のトーションバー８が圧入されたうえで接着剤１１により固定されている。（例えば、特許文献２参照）

以上の構成では、可動部７がトーションバー８とは別体に形成されているため、トーションバー８から伝達される応力による可動部７の反りが低減され、更には可動部７を反り難い材料で構成することができる等の利点がある。

特開２００５−３３１６７９号公報 特開平１０−３０５５号公報

しかしながら、図５に示したような可動部をトーションバーとは別体に形成したプレーナー型アクチュエータでは、可動部をトーションバーとは別体にすることで可動部の反りを低減することが可能であるが、製造する際に可動部をトーションバー長手方向の所望の位置（一般的には長手方向中央）に位置決めすることが困難であるという問題があった。

プレーナー型アクチュエータを光偏向器として使用するうえで、ミラーとして機能する可動部の位置は極めて重要であり、可動部をトーションバーに対して位置決めする手法としては専用の治具を用いることが考えられるが、治具の製作費や治具を用いての組立性等を考慮すると非効率的である。

また、可動部はその裏面に形成された長溝状の凹部がトーションバーの長手方向に嵌合しているのみであるため、可動部がトーションバーの捻り運動に伴う捻り応力や可動部自身が揺動する際のモーメント力（遠心力）に耐えられず、トーションバーから脱落する虞があった。

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、可動部のトーションバーに対する位置決めが容易に行え、尚且つ可動部のトーションバーに対する固定力が強化されたプレーナー型アクチュエータを提供することを目的とする。

少なくとも、ミラー面を有するミラー部材と、当該ミラー部材を支持するトーションバーと、当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、前記トーションバーは当該トーションバーの厚さ方向へ突出する突出部を有すると共に、前記ミラー部材は当該突出部の外形に倣った凹部もしくは穴部を有し、前記トーションバーの突出部は前記ミラー部材の凹部もしくは穴部に嵌合しているプレーナー型アクチュエータとする。

前記トーションバーの突出部は、前記ミラー部材の凹部もしくは穴部の深さよりも短く形成され、当該トーションバーの突出部の長さと前記ミラー部材の凹部もしくは穴部の深さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されているプレーナー型アクチュエータとする。

少なくとも、ミラー面を有するミラー部材と、当該ミラー部材を支持するトーションバーと、当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、前記ミラー部材は前記トーションバーの厚さ方向へ突出する突出部を有すると共に、前記トーションバーは当該突出部の外形に倣った凹部もしくは穴部を有し、前記ミラー部材の突出部は前記トーションバーの凹部もしくは穴部に嵌合しているプレーナー型アクチュエータとする。

前記ミラー部材の突出部は、前記トーションバーの凹部もしくは穴部の深さよりも短く形成され、当該ミラー部材の突出部の長さと前記トーションバーの凹部もしくは穴部の深さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されているプレーナー型アクチュエータとする。

少なくとも、ミラー面を有するミラー部材と、当該ミラー部材を支持するトーションバーと、当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、前記トーションバーは当該トーションバーの幅方向へ突出する突出部を有すると共に、前記ミラー部材は当該突出部の外形ならびに前記トーションバーの外形に倣った凹部を有し、前記トーションバー及び前記突出部は前記ミラー部材の凹部に嵌合しているプレーナー型アクチュエータとする。

前記ミラー部材が有する凹部は、前記トーションバーの厚さよりも深いプレーナー型アクチュエータとする。

前記ミラー部材が有する凹部の深さと前記トーションバーの厚さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されているプレーナー型アクチュエータとする。

前記ミラー部材には、コイルパターンが形成されているプレーナー型アクチュエータとする。

本発明のプレーナー型アクチュエータでは、トーションバーの長手方向中央に突出部を設けると共に、それに対応した形状の凹部をミラー部材に設け、それら突出部と凹部とを互いに嵌合させることでミラー部材をトーションバーに固定しているため、ミラー部材のトーションバー長手方向における位置決めを正確且つ容易に行えると共に、嵌合面積の増加により固定力を強化することができる。

トーションバーの長手方向中央に厚さ方向へ突出した突出部を設けると共に、突出部の外形に倣った凹部もしくは穴部を平板状のミラー部材に設け、それら突出部と凹部もしくは穴部とを互いに嵌合させることで可動部をトーションバーに固定する。

図１は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図である。尚、図１は本発明を模式的に示したものであり、（ａ）〜（ｄ）の相互間において必ずしも尺度は一致しておらず、また断面図においてコイルパターンは図示省略としてある（本明細書においては以下同様とする）。本発明のプレーナー型アクチュエータでは、まず中央が中抜きされた枠状のフレーム部２０の内側に１本のトーションバー２１が架設されている。フレーム部２０とトーションバー２１は、共に半導体基板（例えばＳＯＩ基板）をエッチングにより加工することで一体的に形成されており、トーションバー２１の長手方向を軸として捻り運動可能となっている。

トーションバー２１の長手方向中央には、Ａｕ等の金属薄膜からなるミラー面２２を有する平板状のミラー部材２３が設置されている。ミラー部材２３は、トーションバー２１より厚みのある半導体基板（例えばＳｉ基板）をエッチングにより矩形状に加工したもので、裏面にはトーションバー２１と概ね同じ幅、及びトーションバー２１の厚さと概ね同じかそれ以上の深さを有する凹部２３ａがトーションバー２１の長手方向に沿って長溝状に形成されている。

ミラー部材２３は、フレーム部２０やトーションバー２１と同じ半導体材料からなるものであるが、フレーム部２０やトーションバー２１とは別工程で製造されるため、従来の可動板一体型のプレーナー型アクチュエータと比較してエッチング時の熱に曝される時間が減少し、熱の影響による反りの発生が抑制されている。

また、ミラー部材２３をトーションバー２１よりも厚く形成すれば、反りに対する耐性を更に高めることができる。尚、ミラー部材２３は半導体材料に限らずガラス、金属、樹脂等で構成しても良く、特にガラス等の反り難い材質のものを用いれば、よりいっそう反りの抑制効果が得られる。

ミラー部材２３は、裏面に形成された長溝状の凹部２３ａがトーションバー２１に跨がるように嵌合することでトーションバー２１に固定され、その嵌合による固定力だけでトーションバー２１に保持されている。

このように、ミラー部材２３を嵌合による固定力だけでトーションバー２１に固定した場合には、トーションバー２１に生じる応力がミラー部材２３とトーションバー２１との嵌合部位において嵌合面が互いに摺動することで逃がされるため、ミラー部材２３への応力の伝達を抑制する効果が得られる。また、ミラー部材２３をトーションバー２１に跨がるように配置することで、ミラー部材２３の重心がトーションバー２１の回動軸寄りとなってミラー部材２３の駆動が安定化する。

また、トーションバー２１の長手方向中央には、図１（ｄ）に示すようにトーションバー２１の厚み方向（上方）へ向かって突出した角柱状の突出部２１ａが一体的に形成されている。一方でミラー部材２３の裏面には、上述の長溝状の凹部２３ａの長手方向中央に、当該凹部２３ａ底面より一段下がった矩形状の凹部２３ｂが設けられている。

この矩形状の凹部２３ｂは、トーションバー２１に設けられた突出部２１ａが嵌合するための凹部で、トーションバー２１に設けられた突出部２１ａの外形に倣った形状を有すると共に、少なくとも突出部２１ａが完全に収納される深さに形成されている。尚、トーションバー２１に設けられる突出部２１ａは、必ずしも角柱状に限らずその他の形状（例えば円柱状）であっても良く、その形状に対応した凹部をミラー部材２３の裏面に設ければ良い。

ミラー部材２３は、その裏面に設けられた長溝状の凹部２３ａがトーションバー２１本体に跨るように嵌合したうえで更に矩形状の凹部２３ｂがトーションバー２１の突出部２１ａに嵌合することで固定される。このように、ミラー部材２３裏面に設けられた矩形状の凹部２３ｂをトーションバー２１の突出部２１ａに嵌合させることで、トーションバー２１の長手方向中央にミラー部材２３を正確且つ容易に位置決めすることができると同時に、嵌合面積の増加による固定力の強化を図ることができる。

また、以上の構成においては、ミラー部材２３とトーションバー２１との嵌合部位に接着剤等を塗布することで、ミラー部材２３のトーションバー２１に対する固定力を増強することも可能である。この場合、例えば長溝状の凹部２３ａに嵌合したトーションバー２１を覆うようにミラー部材２３の裏面側から接着剤（不図示）を塗布する際には、ミラー部材２３の凹部２３ａをトーションバーの厚さよりも深く形成してトーションバー２１表面とミラー部材２３裏面との落差により接着剤を溜める空間を形成するのが好ましい。

こうすることで、軟化状態の接着剤がトーションバー２１を伝ってフレーム部２０側へ流れ出す虞がなくなると同時に、ミラー部材２３トーションバー２１に対する固定力をよりいっそう強化することができる。但し、接着剤が硬化する際の収縮によりミラー部材２３に応力が作用する可能性があるため塗布量には注意が必要である。

また、トーションバー２１の突出部２１ａをミラー部材２３の矩形状の凹部２３ｂの深さよりも短く形成しておけば、トーションバー２１の突出部２１ａ先端とミラー部材２３の矩形状の凹部２３ｂ底部との間に接着剤を溜める空間が形成され、そこに接着剤を塗布することでミラー部材２３のトーションバー２１に対する固定力を更に強化することが可能である。

尚、ミラー部材２３裏面の凹部２３ｂは、ミラー部材２３を貫通する穴部として構成しても良いが、ミラー部材２３表面の穴部が形成されている部位がミラー面としては使用できなくなる。

本実施例１ではミラー部材２３の裏面に長溝状の凹部２３ａと矩形状の凹部２３ｂを設けているが、ミラー部材２３をトーションバー２１に位置決め固定する意味では、長溝状の凹部２３ａは必ずしも必要では無く、矩形状の凹部２３ｂのみとしても良い。但し、ミラー部材２３のトーションバー２１に対する固定力を確保する意味では、本実施例１の如く長溝状の凹部２３ａを共に設けるのが好ましい。

また、ミラー部材２３は、前述の図４に示した従来のプレーナー型アクチュエータにおける可動部（可動板２）を兼ねるものであり、その表面には、ミラー面２２を囲繞するようにＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターン２４が形成されている。ここで、コイルパターン２４の両端部は、ミラー面２２を挟んで互いに対向するようにトーションバー２１の軸線上に位置している。

一方でフレーム部２０には、トーションバー２１の概ね軸線上のミラー部材２３を挟んで互いに対向する位置に、Ａｌ等の金属薄膜からなる２つの電極パッド２５が形成されている。２つの電極パッド２５はミラー部材２３に形成されたコイルパターン２４の両端部にそれぞれ対応するもので、それぞれは互いに導電ワイヤー２６で接続されている。尚、電極パッド２５はフレーム部２０表面に敷設された導電パターン（引き出し線）２５ａを介して外部機器と接続される。

以上のようにコイルパターン２４の両端部と電極パッド２５をトーションバー２１の軸線上に配置し、それらの間に架設される導電ワイヤー２６をトーションバー２１の軸線と概ね平行とすれば、ミラー部材２３の回動に伴う導電ワイヤー２６の捩れが最小限に抑えられ、導電ワイヤー２６の断線を防止することができる。

尚、コイルパターン２４の両端部と電極パッド２５の接続には必ずしも導電ワイヤー２６を用いる必要は無く、例えばフレーム部２０表面に敷設された導電パターン（引き出し線）２５ａをトーションバー２１の中央付近にまで延長する共に、その位置に対応してミラー部材２３のコイルパターン２４をミラー部材２３の側面（必要に応じて裏面）にまで延長し、ミラー部材２３をトーションバー２１に嵌合した時点でそれらが互いに導通するように構成しても良い。

尚、この場合には、導通の信頼性を確保するためにトーションバー２１表面に延長された導電パターンとミラー部材２３側面（もしくは裏面）に延長されたコイルパターンとの導通部位に導電性接着剤等を塗布するのが好ましい。また、この際の導電性接着剤は、ミラー部材２３をトーションバー２１に固定するための接着剤としても兼用可能である。

図１に示した本発明によるプレーナー型アクチュエータを製造する際には、まず半導体基板（例えばＳＯＩ基板）をエッチング等により加工し、フレーム部２０とトーションバー２１とが一体的に形成されると共に、トーションバー２１の長手方向中央に角柱状の突出部２１ａが設けられた構造体を製作する。次にフレーム部２０の表面にＡｌ等の金属薄膜をスパッタリングや蒸着することで一対の電極パッド２５と導電パターン（引き出し線）２５ａを形成する。

ここで、予め半導体基板（例えばＳｉ基板）をエッチング等により矩形状に加工し、その表面にＡｕ等の金属薄膜からなるミラー面２２とＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターン２４をスパッタリングや蒸着により形成すると共に、裏面に長溝状の凹部２３ａと矩形状の凹部２３ｂをエッチング等により形成しておいたミラー部材２３を製作しておき、このミラー部材２３をトーションバー２１の長手方向中央に位置決め固定する。この際、ミラー部材２３の裏面に形成された矩形状の凹部２３ｂをトーションバー２１に嵌合させることで、トーションバー２１の長手方向への位置決めが容易に成される。

そして最後に、ミラー部材２３に形成されたコイルパターン２４の両端部とフレーム部２０に形成された電極パッド２５とをそれぞれワイヤーボンディングにより導電ワイヤー２６で接続して本発明のプレーナー型アクチュエータが完成する。

図２は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）下面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図である。本実施例２は、前述の実施例１と同様に、ミラー部材をトーションバーの長手方向中央に位置決めするための構造を有しているものである。本実施例２においては、まず図２（ｄ）に示すようにトーションバー３０の長手方向中央にトーションバー３０を貫通する矩形状の穴部３０ａが設けられている。また一方では、ミラー部材３１の裏面に前記実施例１で示した如き長溝状の凹部３１ａが設けられ、更に長溝状の凹部３１ａの長手方向中央には凹部３１ａ底面より凹部３１ａ開放端側へ向けて突出した角柱状の突出部３１ｂが一体的に形成されている。

ミラー部材３１に設けられた角柱状の突出部３１ｂは、トーションバー３０に設けられた矩形状の穴部３０ａに嵌合するもので、本実施例２ではトーションバー３０に設けられた穴部３０ａを貫通する長さ、即ちトーションバー３０の厚さよりも長く形成されている。但し、突出部３１ｂの長さは適宜選択が可能であり、ミラー部材３１をトーションバー３０に固定するのに十分な嵌合力が得られるのであれば、トーションバー３０を貫通しない長さとしても良く、更にその場合にはトーションバー３０の穴部３０ａを突出部３１ｂの長さに合せて貫通しない凹部としても良い。

ミラー部材３１は、裏面に形成された長溝状の凹部３１ａがトーションバー３０本体に跨るように嵌合したうえで更に角柱状の突出部３１ｂがトーションバー３０の穴部３０ａに嵌合することで固定される。このように、ミラー部材３１裏面に設けられた角柱状の突出部３１ｂをトーションバー３０の穴部３０ａに嵌合させることで、トーションバー３０の長手方向中央にミラー部材３１を正確且つ容易に位置決めすることが可能である。

また、ミラー部材３１とトーションバー３０の嵌合部位に接着剤等を塗布する場合、ミラー部材３１の突出部３１ｂをトーションバー３０を貫通しない長さにしておけば、突出部３１ｂ先端とトーションバー３０裏面との落差により接着剤を溜める空間が確保されるため、接着剤の流れ出しを防止することができる。尚、このことはトーションバー３０の穴部３０ａを、貫通しない凹部として構成した場合にも言えることで、凹部底部と突出部３１ｂ先端との間に空間が形成される。

また、本実施例２ではミラー部材３１の裏面に長溝状の凹部３１ａと角柱状の突出部３１ｂを設けているが、ミラー部材３１をトーションバー３０に位置決め固定する意味では、長溝状の凹部３１ａは必ずしも必要では無く、角柱状の突出部３１ｂのみとしても良い。但し、嵌合による固定力を確保する意味では、本実施例２の如く長溝状の凹部３１ａを共に設けるのが好ましい。

図３は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）下面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図である。本実施例３は、前述の実施例１、２と同様に、ミラー部材をトーションバーの長手方向中央に位置決めするための構造を有しているものである。本実施例３においては、まず図３（ｄ）に示すようにトーションバー４０の長手方向中央にトーションバー４０の短手方向（幅方向）へ向かって突出した角柱状の突出部４０ａが一体的に形成され、トーションバー４０の中央部が十字形状とされている。また、ミラー部材４１の裏面に前記実施例１で示した如き長溝状の凹部４１ａが設けられ、更に長溝状の凹部４１ａと直交するようにミラー部材４１の幅方向へ向かって延びる短溝状の凹部４１ｂが設けられており、長溝状の凹部４１ａの中央部が十字形状とされている。

ミラー部材４１裏面に設けられた十字形状の凹部（凹部４１ａ、４１ｂ）とトーションバー４０中央の十字形状部位（トーションバー４０、突出部４０ａ）は互いに嵌合し、ミラー部材４１がトーションバー４０に位置決め固定される。トーションバー４０長手方向中央に設けられた突出部４０ａは、ミラー部材４１をトーションバー４０の長手方向中央に位置決めする作用に加え、ミラー部材４１が回動する際のモーメント力を支える支持部としての作用がある。

尚、ミラー部材４１裏面の凹部（凹部４１ａ、４１ｂ）をトーションバー４０の厚さよりも浅く形成することで接着剤を溜める空間が形成されるのは実施例１と同様であるが、本実施例３では凹部が十字形状になっているため接着剤の抑留効果が高いだけでなく、接着力の増大も期待できる。

以上種々の実施例を以って説明した本発明によるプレーナー型アクチュエータでは、ミラー部材にコイルパターンを形成し、ミラー部材周辺に設置した静磁界発生手段（例えば永久磁石）との間に作用する磁力的な相互作用によりミラー部材を駆動させているが、それとは逆にミラー部材に薄膜磁石等の静磁界発生手段を設け、ミラー部材の周辺に設置した電磁石との間で駆動力を発生させるようにしても良い。更に、駆動力の発生手段についてはこれらに限定されるものではなく、ミラー部材を静電気力で駆動させるようにしても良い。

また、本発明においてミラー部材もしくはトーションバーに形成する位置決め用の突出部や凹部の位置は適宜選択が可能である。

また、本発明においては、本明細書で説明した実施例をそれぞれ互いに適宜組み合わせて実施することも可能である。

また、本発明の技術思想は一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータに限定されず、二次元以上の駆動を行う種々のプレーナー型アクチュエータにも適用が可能である。

本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図（実施例１） 本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）下面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図（実施例２） 本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）下面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｄ）トーションバーの要部拡大斜視図（実施例３） フレーム部に可動部と梁部を一体的に形成した従来のプレーナー型アクチュエータを示す上面図 ミラー部材をトーションバーとは別体に構成した従来のプレーナー型アクチュエータを示す斜視図

符号の説明

１ フレーム部
２ 可動板
３ トーションバー
４ ミラー部
５ コイルパターン
６ 永久磁石
７ 可動部
８ トーションバー
９ ミラー面
１０ 凹部
１１ 接着剤
２０ フレーム部
２１ トーションバー
２１ａ 突出部
２２ ミラー面
２３ ミラー部材
２３ａ 長溝状の凹部
２３ｂ 矩形状の凹部
２４ コイルパターン
２５ 電極パッド
２５ａ 導電パターン
２６ 導電ワイヤー
３０ トーションバー
３０ａ 凹部
３１ ミラー部材
３１ａ 長溝状の凹部
３１ｂ 突出部
４０ トーションバー
４０ａ 突出部
４１ ミラー部材
４１ａ 長溝状の凹部
４１ｂ 短溝状の凹部

Claims (8)

1. 少なくとも、
   ミラー面を有するミラー部材と、
   当該ミラー部材を支持するトーションバーと、
   当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、
   前記トーションバーは当該トーションバーの厚さ方向へ突出する突出部を有すると共に、前記ミラー部材は当該突出部の外形に倣った凹部もしくは穴部を有し、前記トーションバーの突出部は前記ミラー部材の凹部もしくは穴部に嵌合していることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
2. 前記トーションバーの突出部は、前記ミラー部材の凹部もしくは穴部の深さよりも短く形成され、当該トーションバーの突出部の長さと前記ミラー部材の凹部もしくは穴部の深さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されていることを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
3. 少なくとも、
   ミラー面を有するミラー部材と、
   当該ミラー部材を支持するトーションバーと、
   当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、
   前記ミラー部材は前記トーションバーの厚さ方向へ突出する突出部を有すると共に、前記トーションバーは当該突出部の外形に倣った凹部もしくは穴部を有し、前記ミラー部材の突出部は前記トーションバーの凹部もしくは穴部に嵌合していることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
4. 前記ミラー部材の突出部は、前記トーションバーの凹部もしくは穴部の深さよりも短く形成され、当該ミラー部材の突出部の長さと前記トーションバーの凹部もしくは穴部の深さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されていることを特徴とする請求項３に記載のプレーナー型アクチュエータ。
5. 少なくとも、
   ミラー面を有するミラー部材と、
   当該ミラー部材を支持するトーションバーと、
   当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、
   前記トーションバーは当該トーションバーの幅方向へ突出する突出部を有すると共に、前記ミラー部材は当該突出部の外形ならびに前記トーションバーの外形に倣った凹部を有し、前記トーションバー及び前記突出部は前記ミラー部材の凹部に嵌合していることを特徴とすプレーナー型アクチュエータ。
6. 前記ミラー部材が有する凹部は、前記トーションバーの厚さよりも深いことを特徴とする請求項５に記載のプレーナー型アクチュエータ。
7. 前記ミラー部材が有する凹部の深さと前記トーションバーの厚さとの落差により形成される空間に接着剤が塗布されていることを特徴とする請求項６に記載のプレーナー型アクチュエータ。
8. 前記ミラー部材には、コイルパターンが形成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。

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