JP5395984B1 - αFeナノ結晶分散アモルファス溶射被膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、高い飽和磁束密度を得るためには、合金中のFe量は高い方が望ましい。
しかしながら、溶射で燃焼フレームやプラズマジェットにより溶融させたアモルファス合金粒子を基材上で急冷・積層してアモルファス被膜を形成しようとしても急冷不足により結晶相を生じてしまい、アモルファス合金被膜の作製は非常に困難である。ナノヘテロ構造のアモルファス合金についても同様にアモルファス被膜の形成は非常に困難である。
前記溶射工程において、飛行中の合金粉末の粒子内部温度がTx2以下の温度で、且つ300m/s以上の飛行粒子速度で合金粉末が基材表面に衝突して、粒径0.3nm以上で平均粒径30nm以下のαFeナノ結晶が分散しているアモルファス溶射被膜を形成することを特徴とする。
また、本発明は、前記何れかに記載の方法において、溶射被膜が形成される基材の温度を第1結晶化開始温度Tx1f未満に管理することを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法を提供する。
また、本発明は、前記何れかに記載の方法において、前記合金粉末の組成が、下記式(1)で示されることを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法を提供する。
(式(1)中、76≦a≦85at%、5≦b≦13at%、0<c≦8at%、1≦x≦8at%、0≦y≦5at%、0.4≦z≦1.4at%、及び0.08≦z/x≦0.8である。
ただし、Feの2at%以下が、Ti、Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,W,Cr,Co,Ni,Al,Mn,Ag,Zn,Sn,As,Sb,Bi,Y,N,O及び希土類元素のうち、1種類以上の元素で置換されていてもよい。)
また、本発明は、前記軟磁性材料において、αFeナノ結晶分散溶射被膜の飽和磁束密度が1.65T以上であることを特徴とする軟磁性材料を提供する。
また、本発明は、前記何れかに記載の軟磁性材料を用いたことを特徴とする磁性部品を提供する。
Tx2を有する第2発熱ピーク(第2結晶化ピーク)は、母相であるアモルファス相の結晶化に由来する。アモルファス相の結晶化を生じると、透磁率が低下するなど軟磁気特性の低下をまねく。
また、後述する第1結晶化終了温度Tx1tとは、第1発熱ピークと第2発熱ピークとの間のベースラインを低温側へ延長した延長線と、第1発熱ピークの高温側の曲線の勾配が最大になる点で引いた接線との交点の温度である。
すなわち、プラズマジェットや燃焼フレーム溶射の際には溶射粒子への入熱によりアモルファス相からのαFeが析出してαFe微結晶の著しい粗大化及び粒径の不均一化が予想されたが、本発明のように粒子内部温度がTx2以下の温度で300m/s以上の高速で溶射した場合には、合金粉末中のαFe微結晶の粗大化はほとんど起こらず、溶射被膜中におけるαFe結晶の平均粒径を30nm以下の範囲とすることができる。また、アモルファス母相からαFeが析出しても、合金粉末中に予め存在していたαFe初期微結晶が析出核となって溶射被膜中においても合金粉末と同様の均質なαFeナノ結晶組織が得られる。また、本発明ではTx2以下の内部粒子温度で溶射するので、母相のアモルファス相の結晶化も生じない。
なお、溶射したままの被膜では、内部に機械的歪み及び磁気歪みを有しているために、その軟磁気特性が十分発現しないことが多い。また、軟磁気特性の点から、αFeナノ結晶分散アモルファス合金中におけるαFeナノ結晶は平均粒径10〜50nm、さらには平均粒径10〜25nmであることが好ましいことが知られている。
熱処理は高温で行う方が効率的ではあるが、高すぎると溶射被膜中のαFeナノ結晶の過剰な成長、さらにはアモルファス母相の結晶化を招き、軟磁気特性が損なわれる。
このため、熱処理は第1結晶化開始温度(Tx1f)〜第1結晶化終了温度(Tx1t)で行うことが好ましい。このような温度範囲で熱処理すれば、溶射被膜のアモルファス母相の結晶化の心配がなく、且つαFe結晶の平均粒径を50nm以下に抑制しながら、溶射被膜の歪みを効率的に除去することができる。
熱処理は、溶射被膜中のαFeナノ結晶の過剰な成長を生じない時間で真空中や不活性ガス中や大気中等の雰囲気中で行なえばよい。必要に応じて誘導結晶磁気異方性を付与するために、溶射被膜が飽和する800kA/m以上の磁界中で熱処理を行うこともできる。
溶射距離(溶射ガン先端から基材表面までの距離)は、通常20〜400mm程度である。
基材の材質、形状は特に制限されるものではなく、目的に応じた基材を用いることができる。例えば、鉄、アルミニウム、ステンレスなどの汎用金属、セラミックス、ガラス、ポリイミドなど一部の耐熱性プラスチックが挙げられる。基材と溶射被膜との接合性を高める場合には、ブラスト処理など公知の方法により基材表面の粗面化処理を施して使用することもできる。
溶射被膜の厚みとしては、通常は1μm以上の被膜が形成可能であり、典型的には10μm以上、さらには30μm以上である。厚み上限は特に制限されず目的に応じて決定できるが、通常は500μm、典型的には1mm程度もあれば十分であり、これ以上の厚膜も可能である。
また、溶射被膜は、マスキング等によりパターン化して形成することもできる。
FeaBbSicPxCyCuz ・・・ (1)
(式(1)中、76≦a≦85at%、5≦b≦13at%、0<c≦8at%、1≦x≦8at%、0≦y≦5at%、0.4≦z≦1.4at%、及び0.08≦z/x≦0.8である。ただし、Feの2at%以下が、Ti、Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,W,Cr,Co,Ni,Al,Mn,Ag,Zn,Sn,As,Sb,Bi,Y,N,O及び希土類元素のうち、1種類以上の元素で置換されていてもよい。)
なお、液体急冷法で得られた上記(1)の組成の合金組成物やこれを熱処理して得られたナノ結晶合金はアモルファス相を母相とするものであるが、加熱してもガラス遷移は示さず、過冷却液体温度領域を持たない。
また、上記式(1)の組成の合金粉末の好適な例の一つとして、例えば、81≦a≦85at%、6≦b≦10at%、2≦c≦8at%、2≦x≦5at%、0≦y≦4at%、0.4≦z≦1.4at%、及び0.08≦z/x≦0.8であるものが挙げられる。
なお、何れの合金粉末においても、Feの2at%以下が、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Cr、Co、Ni、Al、Mn、Ag、Zn、Sn、As、Sb、Bi、Y、N、O及び希土類元素のうち、1種類以上の元素で置換されていてよい。
溶射被膜は、目的に応じて、基材から除去せずに使用してもよいし、あるいは基材を除去して被膜のみを用いてもよい。
前記式(1)の組成内で目標とする組成となる様に、Fe,FeP,FeB,Cu,C,Si,Nbの原料を混合し、高周波溶解炉で溶解した。この母合金を水アトマイズ法により処理し、粒径0.3nm以上で平均粒径10nm未満のαFe初期微結晶が分散したアモルファス合金粉末を得た。合金粉末のDSC測定では、昇温に伴って2つの結晶化ピークTx1及びTx2が観察された。
代表例として、下記表1の粉末1〜5についてXRD測定ならびにDSC測定の結果を示す。
製造例1に準じて得られた粉末を、下記の溶射条件1で膜厚100μmの溶射被膜を形成した。
<溶射条件1>
プラズマ溶射装置:Sulzer Metco社製
3電極プラズマTriplexPro−200
電流 :250A
電力 :34kW
使用プラズマガス:Ar
使用ガス流量(合計):180L/min
溶射粒子飛行速度:300m/s以上(約320m/s)
溶射距離 :100mm(溶射ガン先端から基材表面までの距離)
溶射ガン移動速度:600mm/s
基材:SUS304(基材温度を約300℃以下に管理)
このように、高温のプラズマジェットフレームを用いた溶射であるにもかかわらず、αFeの結晶粒径がわずかに大きくなっただけでアモルファス母相が結晶化していない。従って、溶射により合金粉末の粒子内部温度がTx2以下、より厳密に考えればTx1f〜Tx2の範囲に制御できた。
図8のように、何れの溶射被膜においてもアモルファスに由来するハローパターンが認められ、溶射被膜4〜5ではαFe結晶ピークも認められる。そして、図7〜8の何れにおいても母相の結晶化を示すピークは認められない。粉末3〜5及びその溶射被膜3〜5中に分散しているαFe結晶の平均粒径は表2の通りである。
製造例2で得られた溶射被膜1〜5を基材から剥離した後、アルゴン雰囲気中、所定の温度で15分間熱処理を行った。熱処理により、αFe結晶の平均粒径は若干大きくなって10〜50nmの範囲であったが、アモルファス母相の結晶化は認められなかった。
代表例として、溶射被膜5の熱処理前後(熱処理温度:430℃)のXRDを図9に示す。
<飽和磁束密度>
装置:振動試料型磁力計 TM−VSM2430−HGC、玉川製作所製
印加磁界範囲:±10kOe
測定サンプル:6mm角
軟磁気特性を向上するためには高温で熱処理することが好ましいが、熱処理温度が高くなりすぎると、溶射被膜中のαFe結晶の過剰な成長や、アモルファス母相の結晶化を招き、飽和磁束密度などの軟磁気特性が低下する。
本発明者等の検討によれば、熱処理温度をTx1f〜Tx1tで行えば、溶射被膜中のαFe結晶の平均粒径を50nm以下に抑制しながら、熱処理による軟磁気特性向上を効率的に行うことができた。また、Tx1tはTx2よりも低いので、母相の結晶化も生じない。
製造例1で得られた粉末1〜5を用いて、下記条件でコールドスプレーを行った。
しかしながら、何れの条件でも基材表面に幾つかの粒子が付着しただけで、ほとんどの粒子は跳ね返ってしまい、基材表面に被膜を形成することができなかった。
装置:KM−CDS3.0 inovati社製
使用ガス:He
ガス圧:600kPa
粉末:100℃に加熱
溶射距離:10mm
溶射ガン移動速度:50mm/s
基材:SUS304
製造例1で得られた粉末5(粉末粒径:10〜25μm、αFe:粒径0.3nm以上、平均結晶粒径10nm未満)を用い、下記表4記載の条件以外は製造例2の溶射条件1と同様にして溶射した。
これは、溶射条件4では飛行粒子速度が300m/s以上と速いものの、溶射条件1よりも使用電力が高く、粒子内部温度がTx2を超える高温になったためであると考えられる。
また、溶射条件3では飛行粒子速度が300m/s未満と遅く、しかも溶射条件4と同様に使用電力が高いために、粒子内部温度が溶射条件4よりもさらに高温になったためと考えられる。
Claims (10)
- アモルファス母相中に、粒径0.3nm以上で平均粒径10nm未満のαFe微結晶が分散した構造を有し、且つ第1結晶化温度Tx1及び第2結晶化温度Tx2を有するFe含量74原子%以上の合金粉末を、プラズマジェットあるいは燃焼フレームを用いた溶射法により基材表面に衝突させてαFeナノ結晶が分散しているアモルファス溶射被膜を形成する溶射工程を備え、
前記溶射工程において、飛行中の合金粉末の粒子内部温度がTx2以下の温度で、且つ300m/s以上の飛行粒子速度で合金粉末が基材表面に衝突して、粒径0.3nm以上で平均粒径30nm以下のαFeナノ結晶が分散しているアモルファス溶射被膜を形成することを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。 - 請求項1記載の方法において、粒子内部温度が室温以上Tx2以下であることを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
- 請求項1又は2記載の方法において、溶射被膜が形成される基材の温度を第1結晶化開始温度Tx1f未満に管理することを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
- 請求項1〜3の何れかに記載の方法において、溶射工程で得られたαFeナノ結晶分散溶射被膜を、さらに第1結晶化開始温度Tx1f〜第1結晶化終了温度Tx1tの温度範囲で熱処理することを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
- 前記請求項4記載の方法において、熱処理後の溶射被膜は平均粒径が10〜50nmのαFeナノ結晶が分散しているアモルファス溶射被膜であることを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
- 請求項1〜5の何れかに記載の方法において、前記合金粉末のTx1とTx2との差ΔTが50℃以上であることを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
- 請求項1〜6の何れかに記載の方法において、前記合金粉末の組成が、下記式(1)で示されることを特徴とするαFeナノ結晶分散溶射被膜の製造方法。
FeaBbSicPxCyCuz ・・・ (1)
(式(1)中、76≦a≦85at%、5≦b≦13at%、0<c≦8at%、1≦x≦8at%、0≦y≦5at%、0.4≦z≦1.4at%、及び0.08≦z/x≦0.8である。
ただし、Feの2at%以下が、Ti、Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,W,Cr,Co,Ni,Al,Mn,Ag,Zn,Sn,As,Sb,Bi,Y,N,O及び希土類元素のうち、1種類以上の元素で置換されていてもよい。) - 請求項1〜7の何れかに記載の方法で製造されたαFeナノ結晶分散溶射被膜からなる軟磁性材料。
- 請求項8記載の軟磁性材料において、αFeナノ結晶分散溶射被膜の飽和磁束密度が1.65T以上であることを特徴とする軟磁性材料。
- 請求項8又は9記載の軟磁性材料を用いたことを特徴とする磁性部品。
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