JP5388892B2 - 多層接着シート及びその製造方法 - Google Patents
多層接着シート及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5388892B2 JP5388892B2 JP2010028448A JP2010028448A JP5388892B2 JP 5388892 B2 JP5388892 B2 JP 5388892B2 JP 2010028448 A JP2010028448 A JP 2010028448A JP 2010028448 A JP2010028448 A JP 2010028448A JP 5388892 B2 JP5388892 B2 JP 5388892B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- adhesive
- peeling
- layer
- multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムが、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置されていることを特徴とするものである。
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムを、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置する工程を含むことを特徴とする方法である。
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルム層を、前記粘着層が前記剥離基材に背向するように前記剥離基材の表面上に配置する工程と、
前記剥離補助フィルム層に略円形の穴を形成する工程と、
前記穴を覆うように前記剥離補助フィルム層の表面上にフィルム状接着剤層を配置する工程と、
前記フィルム状接着剤層を前記穴の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記フィルム状接着剤を得る工程と、
前記フィルム状接着剤の表面上を覆うように粘着フィルム層を配置する工程と、
前記粘着フィルム層及び前記剥離補助フィルム層を前記フィルム状接着剤の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記粘着フィルム及び前記剥離補助フィルムを得る工程と、
を含むことが好ましい。
前記剥離補助フィルムを、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に挿入する工程であることが好ましい。
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムが、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置されていることを特徴とするものである。
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムを、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置する工程を含むことを特徴とする方法である。
としては、前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがリング形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の全部を含む領域に配置する場合、該工程が、
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルム層を、前記粘着層が前記剥離基材に背向するように前記剥離基材の表面上に配置する工程と、
前記剥離補助フィルム層に略円形の穴を形成する工程と、
前記穴を覆うように前記剥離補助フィルム層の表面上にフィルム状接着剤層を配置する工程と、
前記フィルム状接着剤層を前記穴の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記フィルム状接着剤を得る工程と、
前記フィルム状接着剤の表面上を覆うように粘着フィルム層を配置する工程と、
前記粘着フィルム層及び前記剥離補助フィルム層を前記フィルム状接着剤の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記粘着フィルム及び前記剥離補助フィルムを得る工程と、
を含むことが好ましい。
前記フィルム状接着剤の表面上を覆うように粘着フィルム層を配置する工程においては、粘着フィルム層3’の粘着層を備えている面をフィルム状接着剤2に対向させてフィルム状接着剤2を覆うように粘着フィルム層3’を配置する。このような配置の方法としては、特に制限されることはなく公知のフィルム積層方法を用いることができる。
本発明の多層接着フィルムにおいてフィルム状接着剤の周縁より外側にウェハリングを貼着することができる領域を設けるという観点から、前記フィルム状接着剤の表面上を覆うように粘着フィルム層を配置する工程の前に、剥離補助フィルム層をフィルム状接着剤の周縁の外側の位置にて打ち抜き加工し、リング形の剥離補助フィルムを得る工程を含んでもよい。このように打ち抜かれた剥離補助フィルム層の外側を不要部分として除去し、剥離補助フィルムの外円の外側を粘着フィルムで覆うことにより、ウェハリングを貼着することのできる本発明の多層接着フィルムを得ることができる。
としては、前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがテープ形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に配置され、該工程が、
前記剥離補助フィルムを、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に挿入する工程であることが好ましい。
先ず、エポキシ樹脂を含有するワニス(新日鐵化学社製、多層接着シート「NEX−130E4X」の製造用ワニス)を準備し、剥離基材(材質:PET、厚さ:50μm)の表面上に塗布後、溶剤を乾燥させ、フィルム状接着剤層を作製した。得られたフィルム状接着剤層の表面上に支持フィルム層(材質:PET、厚さ:25μm)を配置することにより、厚さが60μmのフィルム状接着剤層を含む3層シートを得た。
剥離補助フィルムを用いなかった以外は実施例1と同様にして多層接着シートを作製した。
実施例1及び比較例1で得られた多層接着シートについて、以下に示す方法により剥離試験を行い、フィルム状接着剤と剥離基材との剥離性の評価を行った。
フィルム状接着剤と剥離基材とを剥離することのできる多層接着シート及びその製造方法を提供することが可能となる。
Claims (9)
- 剥離基材と、前記剥離基材の表面上に配置されており且つ打ち抜き加工されたフィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤を覆うように配置された粘着フィルムとを備える多層接着シートであって、
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムが、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置されていることを特徴とする多層接着シート。 - 前記剥離補助フィルムと前記フィルム状接着剤との間の粘着力が0.1N/cm以上であることを特徴とする請求項1に記載の多層接着シート。
- 前記剥離補助フィルムの一端が前記フィルム状接着剤の周縁から内側に1〜10mmの領域に位置し、且つ、前記剥離補助フィルムの他端が前記フィルム状接着剤の周縁から外側に1〜15mmの領域に位置するように前記剥離補助フィルムが配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の多層接着シート。
- 前記剥離補助フィルムの厚さが5〜150μmであることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の多層接着シート。
- 前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがリング形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の全部を含む領域に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載の多層接着シート。
- 前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがテープ形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載の多層接着シート。
- 剥離基材と、前記剥離基材の表面上に配置されており且つ打ち抜き加工されたフィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤を覆うように配置された粘着フィルムとを備える多層接着シートの製造方法であって、
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルムを、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の全部又は一部を含む領域に、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように配置する工程を含むことを特徴とする多層接着シートの製造方法。 - 前記剥離補助フィルムを配置する工程において、前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがリング形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の全部を含む領域に配置され、該工程が、
片面のみに粘着層を有する剥離補助フィルム層を、前記粘着層が前記剥離基材に背向するように前記剥離基材の表面上に配置する工程と、
前記剥離補助フィルム層に略円形の穴を形成する工程と、
前記穴を覆うように前記剥離補助フィルム層の表面上にフィルム状接着剤層を配置する工程と、
前記フィルム状接着剤層を前記穴の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記フィルム状接着剤を得る工程と、
前記フィルム状接着剤の表面上を覆うように粘着フィルム層を配置する工程と、
前記粘着フィルム層及び前記剥離補助フィルム層を前記フィルム状接着剤の周縁より外側の位置で打ち抜き加工して前記粘着フィルム及び前記剥離補助フィルムを得る工程と、
を含むことを特徴とする請求項7に記載の多層接着シートの製造方法。 - 前記剥離補助フィルムを配置する工程において、前記フィルム状接着剤が略円形の平面形状を有しており、且つ、前記剥離補助フィルムがテープ形の平面形状を有しており、前記剥離補助フィルムが前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に配置され、該工程が、
前記剥離補助フィルムを、前記粘着層が前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムに対向するように、前記フィルム状接着剤及び前記粘着フィルムと前記剥離基材との間の前記フィルム状接着剤の周縁の一部を含む領域に挿入する工程であることを特徴とする請求項7に記載の多層接着シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010028448A JP5388892B2 (ja) | 2010-02-12 | 2010-02-12 | 多層接着シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010028448A JP5388892B2 (ja) | 2010-02-12 | 2010-02-12 | 多層接着シート及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011162699A JP2011162699A (ja) | 2011-08-25 |
JP5388892B2 true JP5388892B2 (ja) | 2014-01-15 |
Family
ID=44593772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010028448A Active JP5388892B2 (ja) | 2010-02-12 | 2010-02-12 | 多層接着シート及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5388892B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5564645B2 (ja) * | 2010-05-12 | 2014-07-30 | 古河電気工業株式会社 | 多層接着シート及びその製造方法 |
JP4904432B1 (ja) * | 2011-03-01 | 2012-03-28 | 古河電気工業株式会社 | ウエハ加工用テープ |
JP5790228B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2015-10-07 | 日立化成株式会社 | 接着シート |
JP5950519B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2016-07-13 | 古河電気工業株式会社 | ウエハ加工用テープ |
JP5839931B2 (ja) * | 2011-10-20 | 2016-01-06 | 古河電気工業株式会社 | ウエハ加工用テープ及びその製造方法 |
JP5968151B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2016-08-10 | 株式会社カネカ | 複合フィルム、およびデバイスの製造方法 |
JP6369996B2 (ja) * | 2013-10-21 | 2018-08-08 | リンテック株式会社 | 樹脂膜形成用シート |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3083000U (ja) * | 2001-06-27 | 2002-01-11 | 徳次郎 奥井 | 片面粘着テープ |
JP4505798B2 (ja) * | 2003-11-10 | 2010-07-21 | 日立化成工業株式会社 | 粘接着シート |
JP5486829B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2014-05-07 | 積水化学工業株式会社 | ダイシングテープ及びその製造方法、並びに半導体チップの製造方法 |
-
2010
- 2010-02-12 JP JP2010028448A patent/JP5388892B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011162699A (ja) | 2011-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5564645B2 (ja) | 多層接着シート及びその製造方法 | |
JP5388892B2 (ja) | 多層接着シート及びその製造方法 | |
JP4876451B2 (ja) | 接着シート | |
JP5733049B2 (ja) | 接着シート、接着シートの製造方法、接着シートロール、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 | |
TWI458804B (zh) | 黏著片 | |
JP5388792B2 (ja) | 多層接着シート及びその製造方法 | |
JP2008303386A (ja) | 接着シート及びその製造方法並びに接着シートを用いた半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2009256458A (ja) | 粘接着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JPWO2018101090A1 (ja) | 両面粘着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
KR20150027802A (ko) | 반도체 웨이퍼 가공용 테이프의 제조 방법 및 반도체 웨이퍼 가공용 테이프 | |
JP2017005160A (ja) | ウエハ加工用テープ | |
TWI541856B (zh) | Wafer processing tape and manufacturing method thereof | |
JP5716322B2 (ja) | ウェハ加工用テープ | |
JP2011199307A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2012082285A (ja) | 接着シート | |
JP7067073B2 (ja) | 接着シートロール及びその製造方法、並びに、半導体装置の製造方法 | |
JP2009124127A (ja) | 接着シート及びその製造方法並びに半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
TWI817969B (zh) | 切晶黏晶膜 | |
JP6278178B2 (ja) | ウエハ加工用テープ | |
JP5370416B2 (ja) | 接着シート | |
JP2014049621A (ja) | ウェハ加工用テープ及びウェハ加工用テープの製造方法 | |
JP5370414B2 (ja) | 接着シートの製造方法 | |
JP2013023539A (ja) | 接着シート | |
JP5370415B2 (ja) | 接着シート | |
JP2011126934A (ja) | 接着シート、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131008 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5388892 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |