JP5486829B2

JP5486829B2 - ダイシングテープ及びその製造方法、並びに半導体チップの製造方法

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Publication number: JP5486829B2
Application number: JP2009068444A
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Inventors: 和幸正原
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication date: 2014-05-07
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Description

本発明は、半導体ウェーハをダイシングし、半導体チップを得るのに用いられるダイシングテープ及びその製造方法、並びに該ダイシングテープを用いた半導体チップの製造方法に関する。

従来、半導体ウェーハから半導体チップを切り出して、半導体チップを得るために、ダイシングテープが用いられている。また、半導体チップを基板等にダイボンディングするために、ダイボンディング層としての粘接着剤層を有するダイシングテープが用いられている。この粘接着剤層を有するダイシングテープは、ダイシング−ダイボンディングテープと呼ばれることもある。

下記の特許文献１には、上記ダイシング−ダイボンディングテープの一例が開示されている。図１７に示すように、特許文献１に記載のダイシング−ダイボンディングテープ１０１は、基材シート１０２と、ダイアタッチフィルム１０３と、軽剥離フィルム１０４と、ダイシングフィルム１０５とがこの順で積層されて構成されている。ダイシングフィルム１０５は、基材層１０５ａと粘着剤層１０５ｂとを有する。

基材シート１０２及びダイシングフィルム１０５は、ダイアタッチフィルム１０３及び軽剥離フィルム１０４の外周側面よりも側方に張り出している領域を有する。ダイアタッチフィルム１０３及び軽剥離フィルム１０４の外周側面よりも側方に張り出している領域において、ダイシングフィルム１０５が粘着剤層１０５ｂ側から、基材シート１０２上に貼り付けられている。

ダイシング−ダイボンディングテープ１０１を用いて半導体チップをダイシングする際には、基材シート１０２を剥離して、ダイシングフィルム１０５の上記張り出している領域の粘着剤層１０５ｂと、ダイアタッチフィルム１０３とを露出させる。

特開２００７−１４９７４８号公報

従来のダイシング−ダイボンディングテープ１０１を用いて半導体チップをダイシングする際に、基材シート１０２をダイシングフィルム１０５から無理なく剥離できないことがあった。

例えば、図１７に示すように、剥離の際に、ダイシングフィルム１０５の外周縁１０５ｃが基材シート１０２により引き寄せられることがあった。このため、剥離の際の作業性が低下することがあった。また、ダイシングフィルム１０５の外周縁１０５ｃに皺が形成されて、ダイシングフィルム１０５をダイシングリングに確実に貼り付けることができないことがあった。さらに、ダイシングフィルム１０５の外周縁１０５ｃが、折れ曲がってダイシングフィルム１０５の内側部分又はダイアタッチフィルム１０３に貼り付いて、ダイシング−ダイボンディングテープ１０１が使用できなくなることがあった。

また、図１８に示すように、ダイシング−ダイボンディングテープ１０１の作製の際には、基材シート１０２上に予め大きなダイシングフィルム１０５を積層しておき、切断刃１０６により、ダイシングフィルム１０５の外周縁を所望の大きさに切断し、除去することがある。切断の際に、切断刃１０６が粘着剤層１０５ｂに接触するため、切断性が低いことがあった。さらに、ダイシングフィルム１０５の切断の後に、離型層１０２に僅かな切り込み１０２ａが形成され、切り込み１０２ａに粘接着剤層１０５ｂが入り込むことがあった。切り込み１０２ａに入り込んだ粘接着剤層１０５ｂにより、基材シート１０２をダイシングフィルム１０５から無理なく剥離できないことがあった。

本発明の目的は、離型層を中間層から無理なく剥離でき、従って剥離の際の作業性を高めることができるダイシングテープ及びその製造方法、並びに該ダイシングテープを用いた半導体チップの製造方法を提供することである。

本発明の広い局面によれば、半導体ウェーハをダイシングし、半導体チップを得るのに用いられるダイシングテープであって、中間層と、前記中間層の一方の面側に配置された離型層と、前記中間層の他方の面に積層されたダイシング層とを備え、前記中間層が、前記中間層の少なくとも一部の領域に、粘着性を有する第１の粘着部と、前記第１の粘着部を取り囲む前記中間層の外周縁の領域に、前記第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部又は非粘着性を有する第１の非粘着部とを有し、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、かつ前記離型層と前記中間層の前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部とが積層されている、ダイシングテープが提供される。

本発明に係るダイシングテープのある特定の局面では、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、前記第１の粘着部の２３℃での貯蔵弾性率よりも大きい。前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、３×１０^６Ｐａ以上であることが好ましい。また、前記第１の粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、３×１０^６Ｐａ未満であることが好ましい。

本発明に係るダイシングテープの別の特定の局面では、前記中間層は、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物に活性エネルギー線を照射又は熱を付与することにより形成されており、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の架橋密度は、前記第１の粘着部の架橋密度よりも高い。前記組成物は、活性エネルギー線硬化型の組成物であることが好ましい。

本発明に係るダイシングテープの他の特定の局面では、前記中間層は、前記中間層の中央の領域に、非粘着性を有する第２の非粘着部と、前記第２の非粘着部を取り囲む前記中間層の外側部分の領域に、前記第１の粘着部と、前記第１の粘着部を取り囲む前記中間層の外周縁の領域に、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部とを有する。

本発明に係るダイシングテープのさらに他の特定の局面では、前記中間層は、前記中間層の中央の領域に、前記第１の粘着部と、前記第１の粘着部を取り囲む外周縁の領域に、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部とを有する。

本発明に係るダイシングテープのさらに他の特定の局面では、前記離型層と前記中間層との間に配置された粘接着剤層をさらに備え、前記離型層、前記中間層及び前記ダイシング層が、前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域を有し、前記中間層が、前記張り出している領域に前記第１の粘着部を有し、前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、前記離型層と前記中間層とにより前記粘接着剤層が覆われている。

上記粘接着剤層は、ダイボンディング層として用いられる部分である。すなわち、粘接着剤層は、半導体チップのピックアップの際に、半導体チップとともに取り出される部分である。

本発明に係るダイシングテープの別の特定の局面では、前記離型層と前記中間層との間に配置された基材層と粘接着剤層とをさらに備え、前記基材層が非粘着性を有し、前記基材層が前記中間層側に、かつ前記粘接着剤層が前記離型層側に配置されており、前記離型層、前記中間層及び前記ダイシング層が、前記基材層及び前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域を有し、前記中間層が、前記張り出している領域に前記第１の粘着部を有し、前記基材層及び前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、前記離型層と前記中間層とにより前記基材層及び前記粘接着剤層が覆われている。

本発明に係るダイシングテープのさらに別の特定の局面では、前記離型層と前記中間層との間に配置されており、かつ非粘着性を有する基材層をさらに備え、前記離型層、前記中間層及び前記ダイシング層が、前記基材層の外周側面よりも側方に張り出している領域を有し、前記中間層が、前記張り出している領域に前記第１の粘着部を有し、前記基材層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、前記離型層と前記中間層とにより前記基材層が覆われている。

本発明に係る半導体チップの製造方法は、本発明に従って構成されたダイシングテープの前記離型層を剥離して、前記中間層を露出させる工程と、前記離型層を剥離しながら、又は前記離型層を剥離した後に、露出した前記中間層に半導体ウェーハを積層し、かつ前記中間層の前記第１の粘着部にダイシングリングを貼り付ける工程と、前記半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割する工程と、ダイシングの後に、前記半導体チップを剥離して、取り出す工程とを備える。

また、本発明に係る他の半導体チップの製造方法は、本発明に従って構成されたダイシングテープの前記離型層を剥離して、前記中間層の前記張り出している領域と、前記粘接着剤層とを露出させる工程と、前記離型層を剥離しながら、又は前記離型層を剥離した後に、露出した前記粘接着剤層に半導体ウェーハを積層し、かつ前記中間層の前記第１の粘着部にダイシングリングを貼り付ける工程と、前記半導体ウェーハを前記粘接着剤層ごとダイシングし、個々の半導体チップに分割する工程と、ダイシングの後に、前記半導体チップが貼り付けられた前記粘接着剤層を剥離して、半導体チップを前記粘接着剤層ごと取り出す工程とを備える。

さらに、本発明に係る別の半導体チップの製造方法は、本発明に従って構成されたダイシングテープの前記離型層を剥離して、前記中間層の前記張り出している領域と、前記基材層とを露出させる工程と、前記離型層を剥離しながら、又は前記離型層を剥離した後に、露出した前記基材層に半導体ウェーハを積層し、かつ前記中間層の前記第１の粘着部にダイシングリングを貼り付ける工程と、前記半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割する工程と、ダイシングの後に、分割された前記半導体チップを剥離して、取り出す工程とを備える。

また、本発明によれば、前記中間層を形成するための粘着性を有する活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物層の、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を形成する部分に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与することにより、少なくとも一部の領域に粘着性を有する第１の粘着部を有し、かつ、前記第１の粘着部を取り囲む外周縁の領域に前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を有する前記中間層を得る工程と、前記中間層を得る工程の前又は後に、前記組成物層又は前記中間層の一方の面側に前記離型層を配置し、かつ前記組成物層又は前記中間層の他方の面に前記ダイシング層を積層する工程とを備える、ダイシングテープの製造方法が提供される。

本発明に係るダイシングテープの製造方法のある特定の局面では、前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層に、活性エネルギー線を照射及び熱を付与しないか、又は前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与し、かつ、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を形成する部分の前記組成物層に、前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層よりも活性エネルギー線の照射量又は熱量が多くなるように、活性エネルギー線を照射又は熱を付与する。

本発明に係るダイシングテープの製造方法の他の特定の局面では、前記離型層を配置する際に、前記離型層と前記中間層との間に、基材層及び粘接着剤層の内の少なくとも一方を配置する。

本発明に係るダイシングテープは、離型層と中間層とダイシング層とを備え、離型層と中間層の第１の粘着部とが貼り付けられており、第１の粘着部を取り囲む中間層の外周縁の領域に、中間層が、第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部又は非粘着性を有する第１の非粘着部を有するので、離型層を中間層から無理なく剥離できる。特に、中間層の外周縁から離型層を剥離しやすい。従って、半導体チップの製造の際の作業性を高めることができる。

さらに、離型層を中間層から剥離した後に、中間層に皺が生じ難い。また、中間層の外周縁が、折れ曲がって中間層の内側部分に貼り付き難い。

本発明に係る半導体チップの製造方法では、離型層を中間層から容易に剥離できるので、半導体チップを得る際の作業性を高めることができる。

また、本発明に係るダイシングテープの製造方法では、第２の粘着部又は第１の非粘着部を形成する部分に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与するので、第１の粘着部を取り囲む中間層の外周縁の領域に、第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部又は非粘着性を有する第１の非粘着部を有する中間層を形成できる。従って、ダイシングテープの使用の際に、離型層を中間層から無理なく剥離できる。

図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図及び部分切欠平面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープの作製の際に、中間層及びダイシング層を切断するときの状態を示す部分切欠正面断面図である。図３は、半導体チップの製造に用いられる半導体ウェーハを示す平面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープを用いて半導体チップを製造する方法の一例を説明するための図であり、半導体ウェーハがステージ上に置かれた状態を示す正面断面図である。図５は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープの離型層を中間層の粘着部から剥離するときの状態を示す正面断面図である。図６は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープの離型層が中間層及び粘接着剤層から剥離された後の状態を示す正面断面図である。図７は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープを用いて、粘接着剤層に半導体ウェーハを貼り付けた状態を示す正面断面図である。図８は、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープを用いて、粘接着剤層に貼り付けられた半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割した状態を示す正面断面図である。図９は、本発明の第２の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図である。図１０は、本発明の第３の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図である。図１１は、本発明の第４の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図である。図１２は、本発明の第４の実施形態に係るダイシングテープを用いて、半導体ウェーハを半導体チップに分割した状態を示す正面断面図である。図１３は、本発明の第５の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図である。図１４は、本発明の第５の実施形態に係るダイシングテープを用いて、半導体ウェーハを半導体チップに分割した状態を示す正面断面図である。図１５は、本発明の第６の実施形態に係るダイシングテープを示す部分切欠正面断面図である。図１６は、本発明の第６の実施形態に係るダイシングテープを用いて、半導体ウェーハを半導体チップに分割した状態を示す正面断面図である。図１７は、従来のダイシング−ダイボンディングテープの離型層を剥離するときの状態を示す部分切欠正面断面図である。図１８は、従来のダイシング−ダイボンディングテープの作製の際に、ダイシングフィルムを切断するときの状態を示す部分切欠正面断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。

（第１の実施形態）
図１（ａ）及び（ｂ）に、本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図及び部分切欠平面図で示す。

図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、ダイシングテープ１は、離型層２と、粘接着剤層３と、中間層４と、ダイシング層５とを備える。中間層４の一方の面４ａに、粘接着剤層３が積層されており、中間層４の一方の面４ａとは反対側の他方の面４ｂに、ダイシング層５が積層されている。離型層２は、中間層４の一方の面４ａ側に配置されている。

粘接着剤層３の中間層４が貼り付けられた面とは反対側の表面３ａに、離型層２が積層され、貼り付けられている。粘接着剤層３は、半導体チップのダイボンディングに用いられる層である。粘接着剤層３の離型層２が貼り付けられた表面３ａは、半導体ウェーハが貼り付けられる面である。ダイシングテープ１は、粘接着剤層３を備えるので、ダイシング−ダイボンディングテープである。本明細書では、粘接着剤層を備えていないダイシングテープだけでなく、粘接着剤層を備えているダイシング−ダイボンディングテープも、ダイシングテープと呼ぶ。

粘接着剤層３、中間層４及びダイシング層５の平面形状は、円形である。中間層４の外周側面は、粘接着剤層３により覆われていない。平面視において、粘接着剤層３は、離型層２、中間層４及びダイシング層５よりも小さい。平面視において、ダイシング層５の大きさは、中間層４の大きさとほぼ等しい。

離型層２の形状は長尺状である。平面視において、離型層２は、中間層４及びダイシング層５よりも大きい。離型層２は、中間層４及びダイシング層５の外周側面よりも側方に張り出している領域を有する。

粘接着剤層３は離型層２及び中間層４よりも小さいので、粘接着剤層３は、離型層２と中間層４との間の一部の領域に配置されている。従って、離型層２は、中間層４に間接に積層された部分を有する。中間層４は、中間層４の中央の領域に、非粘着性を有する第２の非粘着部４Ａを有する。中間層４の非粘着部４Ａに、粘接着剤層３が積層されている。中間層４の第２の非粘着部４Ａは、粘接着剤層３の半導体ウェーハが貼り付けられる位置に対応する部分である。

「非粘着性」には、表面が粘着性を有しない場合だけでなく、表面を指で触ったときにくっつかない程度の粘着性を有する場合も含まれる。具体的には、「非粘着」とは、中間層４の非粘着部４Ａをステンレス板に貼り付けて、２３℃及び３００ｍｍ／分の剥離速度で、非粘着部４Ａをステンレス板から剥離したときに、粘着力が５ｇ／２５ｍｍ幅以下であることを意味する。

離型層２、中間層４及びダイシング層５は、粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域を有する。該張り出している領域は、中間層４の中央領域を取り囲む中間層４の外側部分の領域である。中間層４の外側部分の領域に、中間層４は、粘着性を有する第１の粘着部４Ｂを有する。粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域において、離型層２と中間層４の粘着部４Ｂとが貼り付けられている。従って、離型層２は、中間層４に直接に積層された部分を有する。離型層２と中間層４とにより、粘接着剤層３が覆われている。

このように、中間層４が粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域の少なくとも一部の領域に、中間層４が粘着性を有する粘着部４Ｂを有することにより、ダイシングの際に、中間層４の粘着部４Ｂに、ダイシングリングを容易に貼り付けることができる。

また、粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域に、中間層４は第１の非粘着部４Ｃを有する。すなわち、第１の粘着部４Ｂを取り囲む中間層４の外周縁の領域に、中間層４は非粘着部４Ｃを有する。従って、平面視において、中間層４は、中心部から端部にかけて、第２の非粘着部４Ａと、第１の粘着部４Ｂと、第１の非粘着部４Ｃとを有する。中間層４の外周側面は第１の非粘着部４Ｃである。このため、中間層の外周側面は非粘着性を有する。

なお、第１の非粘着部４Ｃ又は第２の粘着部は、第１の粘着部４Ｂを取り囲む中間層４の外周縁の領域の一部に設けられていればよく、中間膜４の外周縁の領域の全体に設けられていなくてもよい。すなわち、中間層の外周縁から離型層を剥離する際に、剥離起点となる部分に、第１の非粘着部４Ｃ又は第２の粘着部が設けられていればよい。

第１の粘着部４Ｂは粘着性を有し、かつ第１の非粘着部４Ｃは非粘着性を有するので、非粘着部４Ｃの粘着力は、粘着部４Ｂの粘着力よりも低い。

中間層にダイシングリングを貼り付けるためには、中間層はある程度の粘着力を有する必要がある。しかし、中間層の粘着力が高いと、離型層２の剥離性が低下する。

本願発明者らは、特に、中間層４の外周縁の領域の粘着力を低くすることにより、離型層２の中間層４からの剥離性を高めることができることを見出した。すなわち、本実施形態の主な特徴は、中間層が、中間層の少なくとも一部の領域に、粘着性を有する第１の粘着部と、第１の粘着部を取り囲む中間層の外周縁の領域に、第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部又は非粘着性を有する第１の非粘着部とを有することにある。例えば、離型層２の剥離の際には、中間層４及びダイシング層５の外周縁を突き出させる。このとき、中間層４の外周縁の領域が非粘着性を有する非粘着部４Ｃであるため、離型層２を中間層４から無理なく剥離できる。従って、離型層２の剥離の際の作業性を高めることができ、従って半導体チップの製造効率を高めることができる。さらに、離型層２を中間層４から剥離した後に、中間層４に皺が生じ難い。また、中間層４の外周縁が、折れ曲がって中間層４の内側部分又は粘接着剤層３に貼り付き難い。

ところで、図２に示すように、ダイシングテープ１の作製の際には、離型層２の上面２ａに予め大きな中間層４及びダイシング層５を積層しておき、切断刃１１により、中間層４及びダイシング層５の外周縁を所望の大きさに切断し、除去することがある。また、中間層４及びダイシング層５の切断の後に、離型層２に僅かな切り込み２ｂが形成されることがある。このとき、中間層の外周縁の領域が比較的高い粘着性を有する粘着部であると、切断刃１１に粘着部が付着して切断性が低下したり、離型層２の切り込み２ａに中間層の粘着部が入り込んで、離型層２の中間層からの剥離性が低下したりすることがある。これに対し、図２に示すように、切断部分に第２の粘着部又は第１の非粘着部を設けることにより、切断刃１１による切断性を高めることができる。さらに、切り込み２ａに中間層の第２の粘着部又は第１の非粘着部が入り込みにくく、また切り込み２ａに中間層の第２の粘着部又は第１の非粘着部が入り込んだとしても、離型層２の剥離性が悪影響を受け難い。このため、離型層２を中間層４から無理なく剥離でき、半導体チップの製造効率を高めることができる。

中間層の第２の粘着部又は第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、第１の粘着部の貯蔵弾性率よりも大きいことが好ましい。この場合には、離型層２を中間層４からより一層無理なく剥離できる。

中間層の第２の粘着部又は第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、３×１０^６Ｐａ以上であることが好ましい。第２の粘着部又は第１の非粘着部の上記貯蔵弾性率のより好ましい下限は４×１０^６Ｐａであり、好ましい上限は６×１０^６Ｐａである。第２の粘着部又は第１の非粘着部の上記貯蔵弾性率が３×１０^６Ｐａ以上である場合には、離型層２を中間層からさらに一層無理なく剥離できる。

中間層の第１の粘着部の２３℃での貯蔵弾性率は、３×１０^６Ｐａ未満であることが好ましい。第１の粘着部の上記貯蔵弾性率のより好ましい下限は８×１０^３Ｐａであり、さらに好ましい下限は１×１０^４Ｐａであり、より好ましい上限は２×１０^６Ｐａであり、さらに好ましい上限は８×１０^４Ｐａである。ただし第１の粘着部の上記貯蔵弾性率は、８×１０^３Ｐａ未満であってもよい。

上記貯蔵弾性率は、例えば、アイティ計測社製「ＤＶＡ−２００」を用いて、１０Ｈｚ及び歪み０．１％の条件で測定できる。

中間層４の非粘着部４Ａと粘着部４Ｂと非粘着部４Ｃとは一体的に形成されている。中間層４は、例えば、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の粘着性を有する組成物を用いて形成できる。活性エネルギー線硬化型の組成物の場合には、組成物に対する活性エネルギー線の照射量を部分的に調整することにより、中間層４の粘着性を部分的に異ならせることができる。なお、組成物は後述する。

中間層４の中央の領域すなわち非粘着部４Ａは、粘着性を有する粘着部であってもよい。この場合に、中間層の中央の領域の粘着力は、粘着部４Ｂの粘着力と同一であってもよく、異なっていてもよい。ただし、粘接着剤層３付き半導体チップを中間層４からより一層容易に剥離できるので、中間層４は、中間層４の中央の領域に、非粘着性を有する非粘着部４Ａを有することが好ましい。

図１（ｂ）に示すように、長尺状の離型層２の上面２ａに、粘接着剤層３、中間層４及びダイシング層５を有する複数の積層体が等間隔に配置されている。また、離型層２の上面２ａに保護シート６，７が設けられている。なお、保護シート６，７は設けられていなくてもよい。また、離型層２、粘接着剤層３、中間層４及びダイシング層５の厚み及び形状は特に限定されない。

（第１の実施形態に係るダイシングテープを用いた半導体チップの製造方法）
次に、図３〜図８を用いて、上述した本発明の第１の実施形態に係るダイシングテープ１を用いた場合の半導体チップの製造方法の一例を、以下説明する。

先ず、ダイシングテープ１と、半導体ウェーハ２１とを用意する。

図３に示すように、半導体ウェーハ２１の平面形状は円形である。半導体ウェーハ２１の表面２１ａには、ストリートによってマトリックス状に区画された各領域に、個々の半導体チップを構成するための回路が形成されている。

半導体ウェーハ２１の厚みは、３０μｍ以上であることが好ましい。半導体ウェーハ２１の厚みが薄いと、研削時又はハンドリング時に、クラック等が発生し、半導体チップが破損することがある。

図４に示すように、半導体ウェーハ２１を裏返して、裏返された半導体ウェーハ２１をステージ２２上に載せる。すなわち、半導体ウェーハ２１を表面２１ａ側からステージ２２上に載せる。ステージ２２上には、半導体ウェーハ２１の外周側面２１ｃから一定間隔を隔てられた位置に、円環状のダイシングリング２３が設けられている。

また、図５に示すように、ダイシングテープ１の離型層２を剥離する。離型層２の剥離の際には、一般的には、中間層４の外周縁すなわち非粘着部４Ｃ部分から、離型層２を剥離する。例えば、中間層４の外周縁近傍の離型層２を折り曲げたり、離型層２の中間層４が積層された面とは反対側の面側から、ピンにより中間層４の非粘着部４Ｃを突き上げたりすることにより、離型層２を剥離できる。図６に示すように、離型層２を剥離すると、粘接着剤層３の表面３ａと、中間層４の張り出している外側部分の領域すなわち粘着部４Ｂ及び非粘着部４Ｃとが露出される。

次に、図７に示すように、ダイシングテープ１の離型層２を剥離しながら、又は離型層２を剥離した後に、露出した粘接着剤層３の表面３ａを、半導体ウェーハ２１の裏面２１ｂに貼り付ける。粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域に、中間層４は粘着性を有する粘着部４Ｂを有する。ダイシングテープ１の離型層２を剥離しながら、又は離型層２を剥離した後に、露出した中間層４の粘着部４Ｂを、ダイシングリング２３に貼り付ける。

平面視において、半導体ウェーハ２１は、粘接着剤層３よりも小さいことが好ましい。半導体ウェーハ２１と粘接着剤層３との大きさが上記好ましい関係を満たすと、半導体ウェーハ２１の貼り合わせが容易となり、作業性をより一層高めることができる。

平面視において、粘接着剤層３は非粘着部４Ａよりも小さいことが好ましい。粘接着剤層３と非粘着部４Ａとの大きさが上記好ましい関係を満たすと、ダイシングに使用される切断刃が粘着部４Ｂに触れることがない。このため、粘着部４Ｂがダイシングブレードに付着し、ダイシングブレードが汚染されることがない。従って、ダイシングとピックアップとの作業効率をより一層高めることができる。

次に、粘接着剤層３が貼り付けられた半導体ウェーハ２１をステージ２２から取り出して、裏返す。このとき、ダイシングリング２３が中間層４の粘着部４Ｂに貼り付けられた状態で取り出される。

図８に示すように、取り出した半導体ウェーハ２１を表面２１ａが上方になるように裏返して、別のステージ２４上に載せる。次に、図８に矢印Ｘを付して示すように、半導体ウェーハ２１を粘接着剤層３ごとダイシングし、個々の半導体チップに分割する。半導体ウェーハ２１及び粘接着剤層３をそれぞれ、両面を貫通するように切断する。切断の後に、粘接着剤層３及び中間層４に切断面３１が形成される。

ダイシングは、半導体ウェーハ２１及び粘接着剤層３を貫通するように行われれば特に限定されない。例えば、粘接着剤層３と中間層４との界面よりも深い位置に至るようにダイシングブレードを挿入し、中間層４に切り込みを形成してもよい。

半導体ウェーハ２１をダイシングする方法としては、ダイシングブレードを用いる方法、又はレーザーダイシングする方法等が挙げられる。

中間層４の非粘着部４Ａが、例えば硬化されている場合には、非粘着部４Ａがレーザー光の照射により反応し難い。このため、中間層４が粘接着剤層３に融着し難い。従って、レーザー光を用いたダイシングを行った場合でも、半導体チップのピックアップを無理なく行うことができる。

半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割した後、ダイシング層５を引き延ばして、分割された個々の半導体チップ間の間隔を拡張する。その後、半導体チップが貼り付けられた粘接着剤層３を中間層４から剥離して、取り出す。このようにして、粘接着剤層３付き半導体チップを得ることができる。

（中間層４の詳細）
中間層４は、アクリル系ポリマーを含む組成物により形成されていることが好ましい。組成物は、粘着性を有することが好ましい。組成物は、粘着剤組成物であることが好ましい。組成物としては、熱硬化型又は活性エネルギー線硬化型の組成物が挙げられる。中間層４の粘着力をより一層容易に制御できるので、組成物は、活性エネルギー線硬化型の組成物であることが好ましい。

中間層４は、アクリル系ポリマーを含む組成物を架橋させた架橋体により形成されていることが好ましい。この場合には、ダイシングの際の切削性をより一層高くすることができる。

上記組成物中の樹脂分の合計１００重量％中、上記アクリル系ポリマーの含有量は５０重量％以上であることが好ましい。アクリル系ポリマーを含む組成物により形成された中間層は、ポリオレフィン系樹脂により形成された層等と比べて、柔らかい。このため、ダイシングの際の切削性をより一層高くすることができる。

上記アクリル系ポリマーは特に限定されない。上記アクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーであることが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーとして、炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーが好適に用いられる。炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーの使用により、中間層４の極性を充分に低くすることができ、中間層４の表面エネルギーを低くすることができ、かつ粘接着剤層３の中間層４からの剥離性を高くすることができる。上記アルキル基の炭素数が１８を超えると、中間層４の製造が困難になることがある。上記アルキル基の炭素数は、６以上であることが好ましい。この場合には、中間層４の極性をより一層低くすることができる。上記「（メタ）アクリル酸」とは、メタクリル酸又はアクリル酸を意味する。

上記アクリル系ポリマーは、炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーを主モノマーとして用いて得られたポリマーであることが好ましい。上記アクリル系ポリマーは、上記主モノマーと、官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させて得られた（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーであることがより好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルポリマーのアルキル基の炭素数は２以上であることが好ましく、６以上であることが特に好ましい。上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は２０万〜２００万程度である。

上記他の改質用モノマーは特に限定されない。上記他の改質用モノマーは、カルボキシル基を有するモノマーではないことが好ましい。カルボキシル基を有するモノマーが用いられた場合、中間層４の極性が高くなる。この結果、ピックアップ性が低下することがある。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーは特に限定されない。上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーは、炭素数１〜１８のアルキル基を有する一級又は二級のアルキルアルコールと、（メタ）アクリル酸とのエステル化反応により得られた（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーであることが好ましい。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、具体的には、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル又は（メタ）アクリル酸ラウリル等が挙げられる。上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーは、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記官能基含有モノマーとしては、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル又は（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の水酸基含有モノマー等が挙げられる。

上記アクリル系ポリマーは、反応性二重結合を有する硬化型アクリル系ポリマーであることが好ましい。この場合には、該硬化型アクリル系ポリマーを含む組成物を架橋させた架橋体の架橋密度を高くすることができる。上記硬化型アクリル系ポリマーとして、反応性二重結合を側鎖又は主鎖中もしくは主鎖末端に有する硬化型アクリル系ポリマー等が挙げられる。

上記アクリル系ポリマーに反応性二重結合を導入する方法は、特に制限されない。分子設計が容易であるため、上記反応性二重結合は、側鎖に導入されていることが好ましい。例えば、アクリル系ポリマーに官能基含有モノマーが共重合された官能基含有アクリル系ポリマーを用意した後に、この官能基（以下、官能基Ａともいう）と反応し得る官能基（以下、官能基Ｂともいう）、及び反応性二重結合の両方を有する化合物（以下、化合物Ｃともいう）を、反応性二重結合が残存するように、上記官能基含有アクリル系ポリマーに縮合反応又は付加反応によって導入する方法が挙げられる。

上記官能基Ａと官能基Ｂとの組合せの例としては、カルボキシル基とエポキシ基、カルボキシル基とアジリジル基、又は水酸基とイソシアネート基等の組合せが挙げられる。これら官能基の組合せのなかでも、反応を容易に制御できるため、水酸基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせでは、どの官能基を上記官能基含有アクリル系ポリマーが含有していてもよく、またどの官能基を上記化合物Ｃが含有していてもよい。水酸基を有する官能基含有アクリル系ポリマーと、イソシアネート基を有する上記化合物の組合せが好ましい。

上記イソシアネート基及び反応性二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１−ビス（アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート、又はｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。

上記組成物は、アクリル基と反応可能な二重結合を有し、かつ重量平均分子量が５００〜５０，０００の範囲内にあるオリゴマーをさらに含んでいてもよい。

上記組成物は、紫外線吸収材を含んでいてもよい。また、組成物は、活性エネルギー線反応開始剤及び熱反応開始剤の内の少なくとも一方を含むことが好ましく、活性エネルギー線反応開始剤を含むことがより好ましい。活性エネルギー線反応開始剤は、光反応開始剤であることが好ましい。

上記活性エネルギー線には、紫外線、電子線、α線、β線、γ線、Ｘ線、赤外線及び可視光線が含まれる。これらの活性エネルギー線のなかでも、硬化性に優れ、かつ硬化物が劣化し難いため、紫外線又は電子線が好ましい。

上記光反応開始剤は特に限定されない。上記光反応開始剤として、例えば、光ラジカル発生剤又は光カチオン発生剤等を使用できる。また、上記熱反応開始剤は特に限定されない。上記熱反応開始剤としては、熱ラジカル発生剤等が挙げられる。

上記光ラジカル発生剤は特に限定されない。上記光ラジカル発生剤の市販品としては、例えば、イルガキュア１８４、イルガキュア２９５９、イルガキュア９０７、イルガキュア８１９、イルガキュア６５１、イルガキュア３６９及びイルガキュア３７９（以上、いずれもチバ・スペシャリティーケミカルズ社製）、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、並びにルシリンＴＰＯ（ＢＡＳＦＪａｐａｎ社製）等が挙げられる。

上記光カチオン発生剤として、オニウム塩類又は有機金属錯体類を使用できる。上記オニウム塩類としては、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ハロニウム塩又は芳香族スルホニウム塩等が挙げられる。上記有機金属錯体類としては、鉄−アレン錯体、チタノセン錯体又はアリールシラノール−アルミニウム錯体等が挙げられる。

上記熱ラジカル発生剤としては、有機過酸化物又はアゾ化合物等が挙げられる。上記有機過酸化物としては、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ラウリルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート又はｔ−アミルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート等が挙げられる。上記アゾ化合物としては、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）、１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）又はジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）等が挙げられる。

上記組成物には、粘着力を制御するためにイソシアネート系架橋剤を添加してもよい。イソシアネート系架橋剤は特に限定されない。イソシアネート系架橋剤としては、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、パラフェニレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、リジンイソシアネート、イソプロピリデンビスシクロヘキシルジイソシアネート又はトリジンジイソシアネート等のイソシアネートモノマー等が挙げられる。これらイソシアネートモノマーの二量体、三量体及び付加体を用いてもよい。上記付加体の市販品としては、コロネートＬ、コロネートＨＬ、コロネート２０３０及びミリオネートＭＲ（以上、いずれも日本ポリウレタン工業社製）等が挙げられる。

中間層４の厚みは特に限定されない。中間層４の厚みは、１〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。中間層４の厚みのより好ましい下限は５μｍであり、より好ましい上限は６０μｍである。中間層４の厚みが薄すぎると、エクスパンド性が不足することがある。中間層４の厚みが厚すぎると、厚みが不均一になり、ダイシングを適切に行えないことがある。

中間層４は、例えば上記組成物を用いて、以下のようにして得られる。

中間層４を形成するための粘着性を有する組成物層を、例えば離型層上に形成する。次に、部分的に、活性エネルギー線の照射及び熱の付与の内の少なくとも一つの処理を行う。または、部分的に、活性エネルギー線の照射量又は熱量を異ならせる。活性エネルギー線硬化もしくは熱硬化により、又は活性エネルギー線硬化及び熱硬化により、組成物層を部分的に硬化（架橋）させる。

例えば、第２の粘着部又は第１の非粘着部を形成する部分に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与する。また、第２の非粘着部を形成する部分に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与する。

活性エネルギー線の照射又は熱の付与により、中間層４の中心部から端部にかけて、第２の非粘着部４Ａと第１の粘着部４Ｂと第１の非粘着部４Ｃとを有する中間層４を得ることができる。

中間層４を得る前又は後に、組成物層又は中間層４の一方の面側に離型層２を配置し、かつ組成物層又は中間層４の他方の面４ｂにダイシング層５を積層することにより、ダイシングテープを得ることができる。なお、離型層２を配置する際に、離型層２と中間層４との間に、基材層及び粘接着剤層の内の少なくとも一方をさらに配置してもよい。

なお、第１の粘着部４Ｂを形成する部分の組成物層に、活性エネルギー線を照射及び熱を付与しないか、又は第１の粘着部４Ｂを形成する部分の組成物層に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与し、かつ、第２の粘着部又は第１の非粘着部４Ｃを形成する部分の組成物層に、第１の粘着部４Ｂを形成する部分の組成物層よりも活性エネルギー線の照射量又は熱量が多くなるように、活性エネルギー線を照射又は熱を付与することが好ましい。このように活性エネルギー線の照射量又は熱量を部分的に異ならせることにより、第１の粘着部と第２の粘着部又は第１の非粘着部とを有する中間層をより一層容易に得ることができる。

活性エネルギー線硬化を用いることが好ましく、光硬化を用いることが特に好ましい。従って、活性エネルギー線硬化型の組成物が好ましく、光硬化型の組成物がより好ましい。活性エネルギー線硬化又は光硬化の場合には、第２の非粘着部４Ａ及び第１の非粘着部４Ｃを所望の位置により一層容易に形成できる。

第２の非粘着部４Ａの架橋密度は、第１の粘着部４Ｂの架橋密度よりも高いことが好ましい。また、第１の非粘着部４Ｃ又は第２の粘着部の架橋密度は、第１の粘着部４Ｂの架橋密度よりも高いことが好ましい。中間層４の形成の際に、例えば、活性エネルギー線硬化型の組成物に対する活性エネルギー線の照射量を大きくすることにより、架橋密度を高くすることができる。

（ダイシング層５の詳細）
ダイシング層５は特に限定されない。ダイシング層５を構成する材料としては、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリイミド樹脂などのプラスチック樹脂等が挙げられる。

ダイシング層５の厚みは特に限定されない。ダイシング層５の厚みは、１０〜２００μｍの範囲内にあることが好ましい。ダイシング層５の厚みのより好ましい下限は６０μｍであり、より好ましい上限は１５０μｍである。ダイシング層５の厚みが上記範囲内にあると、離型層２の剥離性及びダイシング層５のエクスパンド性をより一層高くすることができる。

（離型層２の詳細）
離型層２を構成する材料としては、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリビニルアセテート樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリイミド樹脂などのプラスチック樹脂等が挙げられる。

離型層２の厚みは特に限定されない。離型層２の厚みは、１０〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。離型層２の厚みのより好ましい下限は２５μｍであり、より好ましい上限は５０μｍである。離型層２の厚みが上記範囲内にあると、離型層２の取扱い性又は剥離性をより一層高くすることができる。

（粘接着剤層３の詳細）
粘接着剤層３は、半導体チップを基板又は他の半導体チップ等に接合するために用いられる。粘接着剤層３は、ダイシングの際に、半導体ウェーハごと切断される。

粘接着剤層３は、例えば適宜の硬化性樹脂を含む硬化性樹脂組成物、又は熱可塑性樹脂等により形成される。硬化前の上記硬化性樹脂組成物は柔らかいので、外力により容易に変形する。粘接着剤層３付き半導体チップを得た後に、得られた粘接着剤層３付き半導体チップを粘接着剤層３側から基板等の被着体に積層する。その後、熱又は光のエネルギーを与えて、粘接着剤層３を硬化させることにより、粘接着剤層３を介して、被着体に半導体チップを強固に接合させることができる。上記硬化性樹脂にかえて、熱可塑性樹脂を用いてもよい。

上記硬化性樹脂は特に限定されない。上記硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂等が挙げられる。

上記熱硬化性樹脂は特に限定されない。上記熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂又はポリウレタン樹脂等が挙げられる。上記光硬化性樹脂は特に限定されない。上記光硬化性樹脂としては、例えば感光性オニウム塩等の光カチオン触媒により重合するエポキシ樹脂、又は感光性ビニル基を有するアクリル樹脂等が挙げられる。また、上記硬化性樹脂として、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、メタクリル酸メチル又はホットメルト型接着樹脂が好適に用いられる。上記ホットメルト型接着樹脂としては、アクリル酸ブチル等を主なモノマー単位とするポリ（メタ）アクリル酸エステル樹脂等が挙げられる。上記硬化性樹脂は１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記エポキシ樹脂は特に限定されない。上記エポキシ樹脂は、多環式炭化水素骨格を主鎖に有するエポキシ樹脂であることが好ましい。上記多環式炭化水素骨格を主鎖に有するエポキシ樹脂は特に限定されない。上記多環式炭化水素骨格を主鎖に有するエポキシ樹脂としては、例えば、ジシクロペンタジエンジオキシド、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、テトラヒドロキシフェニルエタン型エポキシ樹脂、テトラキス（グリシジルオキシフェニル）エタン、又は３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボネート等が挙げられる。

上記硬化性樹脂とともに、上記エポキシ基と反応する官能基を有する高分子ポリマーを用いてもよい。上記エポキシ基を有する高分子ポリマーとしては、例えば、エポキシ基含有アクリルゴム、エポキシ基含有ブタジエンゴム、ビスフェノール型高分子量エポキシ樹脂、エポキシ基含有フェノキシ樹脂、エポキシ基含有アクリル樹脂、エポキシ基含有ウレタン樹脂又はエポキシ基含有ポリエステル樹脂等が挙げられる。上記エポキシ基を有する高分子ポリマーは、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記硬化性樹脂組成物を硬化させるために、硬化剤が用いられる。硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤としては、例えば、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸等の加熱硬化型酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤もしくはジシアンジアミド等の潜在性硬化剤、又はカチオン系触媒型硬化剤等が挙げられる。上記硬化剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。また、硬化速度又は硬化物の物性等を調整するために、上記硬化剤と、硬化促進剤とを併用してもよい。

粘接着剤層３の厚みは特に限定されない。粘接着剤層３の厚みは、１〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。粘接着剤層３の厚みのより好ましい下限は３μｍであり、より好ましい上限は６０μｍである。粘接着剤層３の厚み上記範囲内にあると、粘接着剤層３を介して半導体チップを基板上により一層容易に貼り付けることができ、又は半導体装置の薄型化に対応できる。

（第２の実施形態）
図９に、本発明の第２の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図で示す。図９に示すダイシングテープ５１は、中間層が異なること以外は、ダイシングテープ１と同様に構成されている。ダイシングテープ５１は、ダイシング−ダイボンディングテープである。ダイシングテープ１と同様に構成されているところは同一の符号を付してその説明を省略する。

ダイシングテープ５１は、中間層５２を備える。粘接着剤層３に貼り付けられている中間層５２の中央の領域に、中間層５２は、非粘着性を有する第２の非粘着部５２Ａを有する。中間層５２は、粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域を有する。粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域であって、かつ非粘着部５２Ａを取り囲む中間層５２の外側部分の領域に、中間層５２は、粘着性を有する第１の粘着部５２Ｂを有する。粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域であって、かつ第１の粘着部５２Ｂを取り囲む中間層５２の外周縁の領域に、中間層５２は、第１の粘着部５２Ｂよりも低い粘着性を有する第２の粘着部５２Ｃを有する。粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域において、離型層２と中間層５２の粘着部５２Ｂとが貼り付けられている。離型層２と中間層５２とにより粘接着剤層３が覆われている。平面視において中間層５２は、中心部から端部にかけて、第２の非粘着部５２Ａと、第１の粘着部５２Ｂと、第２の粘着部５２Ｃとを有する。

第２の粘着部５２Ｃの２３℃での貯蔵弾性率は、第１の粘着部５２Ｂの２３℃での貯蔵弾性率よりも大きいことが好ましい。また、第２の粘着部５２Ｃの架橋密度は、第１の粘着部５２Ｂの架橋密度よりも高いことが好ましい。これらの場合には、離型層２を中間層５２からより一層無理なく剥離できる。

中間層５２は、中間層４を構成する材料により形成できる。例えば、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物を用いて、粘着部５２Ａと粘着部５２Ｂ，５２Ｃとを形成するために、組成物に付与する活性エネルギー線の照射量又は熱量を部分的に異ならせればよい。

（第３の実施形態）
図１０に、本発明の第３の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図で示す。図１０に示すダイシングテープ６１は、中間層が異なること以外は、ダイシングテープ１と同様に構成されている。ダイシングテープ６１は、ダイシング−ダイボンディングテープである。

ダイシングテープ６１は、中間層６２を備える。中央の領域に中間層６２は、粘着性を有する第１の粘着部６２Ａを有する。中間層６２は、粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域を有する。第１の粘着部６２Ａは、粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域に至っている。また、第１の粘着部６２Ａを取り囲む中間層６２の外周縁の領域に、中間層６２は第１の非粘着部６２Ｂを有する。

第１の非粘着部６２にかえて、第１の粘着部６２Ａよりも低い粘着性を有する第２の粘着部が設けられていてもよい。すなわち、中間層は、中間層の中央の領域に、第１の粘着部と、中間層は、第１の粘着部を取り囲む中間層の外周縁の領域に、第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部とを有していてもよい。

粘接着剤層３の外周側面３ｂよりも側方に張り出している領域において、離型層２と粘着部６２Ａとが貼り付けられている。離型層２と中間層６２とにより粘接着剤層３が覆われている。

中間層６２は、中間層４を構成する材料により形成できる。例えば、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物を用いて、粘着部６２Ａと非粘着部６２Ｂとを形成するために、組成物に付与する活性エネルギー線の照射量又は熱量を部分的に異ならせればよい。

（第４の実施形態）
図１１に、本発明の第４の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図で示す。図１１に示すダイシングテープ７１は、基材層をさらに備えること以外は、ダイシングテープ６１と同様に構成されている。ダイシングテープ７１は、ダイシング−ダイボンディングテープである。

ダイシングテープ７１は、基材層７２を備える。基材層７２が中間層６２側に、粘接着剤層３が離型層２側に配置されている。基材層７２の平面形状は円形である。平面視において、粘接着剤層３は、基材層７２よりも小さい。平面視において、基材層７２は、中間層６２、ダイシング層５及び離型層２よりも小さい。平面視において、粘接着剤層３は基材層７２よりも小さいことが好ましい。

基材層７２は、非粘着性を有する。粘接着剤層３及び基材層７２は離型層２及び中間層６２よりも小さいので、粘接着剤層３及び基材層７２は、離型層２と中間層６２との間の一部の領域に配置されている。

離型層２、中間層６２及びダイシング層５は、基材層７２及び粘接着剤層３の外周側面７２ａ，３ｂよりも側方に張り出している領域を有する。中間層６２の第１の粘着部６２Ａは、基材層７２及び粘接着剤層３の外周側面７２ａ，３ｂよりも側方に張り出している。すなわち、中間層６２は上記張り出している領域に粘着部６２Ａを有する。基材層７２及び粘接着剤層３の外周側面７２ａ，３ｂよりも側方に張り出している領域において、離型層２と中間層６２の第１の粘着部６２Ａとが貼り付けられている。離型層２と中間層６２とにより基材層７２及び粘接着剤層３が覆われている。

基材層７２は、上述した中間層４を構成する材料により形成できる。例えば、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物を用いて、活性エネルギー線の照射量又は熱量を多くし、組成物を充分に硬化（架橋）させることにより、基材層７２を形成できる。

基材層７２を備える場合の中間層６２の厚みの好ましい範囲は、中間層４の厚みと同様である。また、基材層７２の厚み特に限定されない。基材層７２の厚みは、１〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。基材層７２の厚みのより好ましい下限は５μｍであり、より好ましい上限は６０μｍである。基材層７２の厚みが薄すぎると、エクスパンド性が不足することがある。基材層７２の厚みが厚すぎると、厚みが不均一になることがある。厚みが不均一であると、ダイシングを適切に行えないことがある。

ダイシングテープ７１を用いて半導体チップを製造する際には、先ずダイシングテープ７１の離型層２を剥離して、中間層６２の張り出している領域と、粘接着剤層３とを露出させる。図１２に示すように、離型層２を剥離しながら、又は離型層２を剥離した後に、露出した粘接着剤層３に半導体ウェーハを積層し、かつ中間層６２の第１の粘着部６２Ａにダイシングリング２３を貼り付ける。

次に、半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割する。ダイシングの後に、分割された半導体チップを剥離して、取り出す。このようにして、半導体チップを得ることができる。

ダイシングの後に、半導体チップが貼り付けられた粘接着剤層３は、非粘着性を有する基材層７２に積層されている。このため、粘接着剤層３付き半導体チップを基材層７２から容易に剥離して、取り出すことができる。

（第５の実施形態）
図１３に、本発明の第５の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図で示す。図１３に示すダイシングテープ８１は、粘接着剤層を備えていないこと以外は、ダイシングテープ７１と同様に構成されている。

ダイシングテープ８１は、粘接着剤層３を備えていない。平面視において、基材層７２は離型層２及び中間層６２よりも小さいので、基材層７２は、離型層２と中間層６２との間の一部の領域に配置されている。

離型層２、中間層６２及びダイシング層５は、基材層７２の外周側面７２ａよりも側方に張り出している領域を有する。中間層６２は上記張り出している領域に粘着部６２Ａを有する。基材層７２の外周側面７２ａよりも側方に張り出している領域において、離型層２と中間層６２の第１の粘着部６２Ａとが貼り付けられている。離型層２と中間層６２とにより基材層７２が覆われている。

ダイシングテープ８１を用いて半導体チップを製造する際には、先ずダイシングテープ８１の離型層２を剥離して、中間層６２の張り出している領域と、基材層７２とを露出させる。図１４に示すように、離型層２を剥離しながら、又は離型層２を剥離した後に、露出した基材層７２に半導体ウェーハを積層し、かつ粘着部である中間層６２にダイシングリング２３を貼り付ける。次に、半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割する。ダイシングの後に、分割された半導体チップを剥離して、取り出す。

（第６の実施形態）
図１５に、本発明の第６の実施形態に係るダイシングテープを部分切欠正面断面図で示す。

図１５に示すダイシングテープ９１は、粘接着剤層を備えていないこと以外は、ダイシングテープ１と同様に構成されている。

ダイシングテープ９１は、粘接着剤層３を備えていない。離型層２と、粘着性を有する中間層４の粘着部４Ｂとが貼り付けられている。中間層４にかえて、中間層５２又は中間層６２を用いてもよい。

ダイシングテープ９１を用いて半導体チップを製造する際には、先ずダイシングテープ９１の離型層２を剥離して、中間層４を露出させる。図１６に示すように、離型層２を剥離しながら、又は離型層２を剥離した後に、露出した中間層４に半導体ウェーハを積層し、かつ中間層４の粘着部４Ｂにダイシングリング２３を貼り付ける。次に、半導体ウェーハをダイシングし、個々の半導体チップに分割する。ダイシングの後に、分割された半導体チップを剥離して、取り出す。

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。

先ず、以下のポリマーを合成した。

（ポリマー１）
２−エチルヘキシルアクリレート９５重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、光ラジカル発生剤としてのイルガキュア６５１（チバガイギー社製、５０％酢酸エチル溶液）０．２重量部、及びラウリルメルカプタン０．０１重量部を酢酸エチルに溶解させ、溶液を得た。この溶液に紫外線を照射して重合を行い、ポリマーの酢酸エチル溶液を得た。さらに、この溶液の固形分１００重量部に対して、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工社製、カレンズＭＯＩ）を３．５重量部反応させて（メタ）アクリル樹脂架橋体であるアクリル共重合体を得た。

（ポリマー２）
２−エチルヘキシルアクリレートの配合量を９９重量部、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートの配合量を１重量部に変更したこと以外はポリマー１と同様にして、アクリル共重合体を得た。

（実施例１）
ポリマー１を１００重量部、Ｕ−３２４Ａ（新中村化学工業社製、ウレタンアクリルオリゴマー）２重量部、光ラジカル発生剤としてのイルガキュア６５１（チバガイギー社製）１重量部、コロネートＬ（日本ポリウレタン工業社製、イソシアネート系架橋剤）０．１重量部を配合し、酢酸エチルに溶解し、中間層形成用の組成物を得た。この組成物を離型ＰＥＴフィルム上にアプリケーターを用いて塗工し、１１０℃で３分間加熱乾燥し、厚み２０μｍのフィルム状の組成物層を形成した。この組成物層にダイシング層を貼り合わせて、４０℃で２４時間放置し、積層体を得た。なお、上記ダイシング層は、ＬＤＰＥ（プライムポリマー社製、Ｍ１２）を原料として用いて、Ｔダイ法により、厚み１００μｍに製造した。上記ダイシング層の上記組成物層が貼り合わされた面にはコロナ処理を施した。

また、Ｇ−２０５０Ｍ（日本油脂社製、エポキシ基含有アクリル系高分子ポリマー、重量平均分子量Ｍｗ２０万）１５重量部と、ＥＸＡ−７２００ＨＨ（大日本インキ社製、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂）８０重量部と、ＨＰ−４０３２Ｄ（大日本インキ社製、ナフタレン型エポキシ樹脂）５重量部と、ＹＨ−３０９（ジャパンエポキシレジン社製、酸無水物系硬化剤）３５重量部と、２ＭＡＯＫ−ＰＷ（四国化成社製、イミダゾール）８重量部と、Ｓ３２０（チッソ社製、アミノシラン）２重量部とを配合し、配合物を得た。この配合物をアプリケーターにて厚さ４０μｍになるようにリンテック社製ＰＥＴ３８ＣＳ上に塗布し、１１０℃で３分間加熱乾燥して、粘接着剤層を得た。

得られた積層体の離型ＰＥＴフィルムを剥がし、露出した組成物層を、ＰＥＴ３８ＣＳ上の粘接着剤層と貼り合わせた。次に、組成物層の中央の領域に紫外線を照射せずに、かつ組成物層の外周縁の領域に高圧水銀灯下で３６５ｎｍの紫外線を２０００ｍＪで照射し、中間層を形成した。紫外線照射部が中間層の外周縁になるように、かつ中間層が粘接着剤層よりも大きくなるように、中間層を円形に加工した。粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、第１の粘着部としての紫外線未照射部をＰＥＴ３８ＣＳ上に貼り合わせ、かつ紫外線照射部をＰＥＴ３８ＣＳ上に積層した。このようにしてダイシングテープを得た。

（実施例２）
ポリマー１をポリマー２に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてダイシングテープを得た。

（実施例３）
コロネートＬの配合量を５重量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてダイシングテープを得た。

（比較例１）
紫外線を照射しなかったこと以外は、実施例１と同様にしてダイシングテープを得た。

（比較例２）
紫外線を照射しなかったこと以外は、実施例２と同様にしてダイシングテープを得た。

（貯蔵弾性率の評価）
実施例１〜３の中間層の紫外線照射部及び紫外線未照射部の２３℃での貯蔵弾性率と、比較例１，２の中間層の２３℃での貯蔵弾性率とを、アイティ計測社製「ＤＶＡ−２００」を用いて、１０Ｈｚ及び歪み０．１％の条件で測定した。

（突出し性の評価）
タカトリ社製ダイシート貼り機ＤＡＭ−８１２ＭＳにて、送り速度４５ｍｍ／秒の条件で、離型ＰＥＴフィルム（ＰＥＴ３８ＣＳ）から中間層を剥離した。

［突出し性評価基準］
○：離型ＰＥＴフィルムに中間層が引き寄せられることなく、離型ＰＥＴフィルムから中間層を剥離できる
×：離型ＰＥＴフィルムに中間層が引き寄せられて、離型ＰＥＴフィルムから中間層を容易に剥離できない
結果を下記の表１に示す。

１…ダイシングテープ
２…離型層
２ａ…上面
２ｂ…切り込み
３…粘接着剤層
３ａ…表面
３ｂ…外周側面
４…中間層
４ａ…一方の面
４ｂ…他方の面
４Ａ…第２の非粘着部
４Ｂ…第１の粘着部
４Ｃ…第１の非粘着部
５…ダイシング層
６，７…保護シート
１１…切断刃
２１…半導体ウェーハ
２１ａ…表面
２１ｂ…裏面
２１ｃ…外周側面
２２…ステージ
２３…ダイシングリング
２４…ステージ
３１…切断面
５１…ダイシングテープ
５２…中間層
５２Ａ…第２の非粘着部
５２Ｂ…第１の粘着部
５２Ｃ…第２の粘着部
６１…ダイシングテープ
６２…中間層
６２Ａ…第１の粘着部
６２Ｂ…第１の非粘着部
７１…ダイシングテープ
７２…基材層
７２ａ…外周側面
８１…ダイシングテープ
９１…ダイシングテープ

Claims

半導体ウェーハをダイシングし、半導体チップを得るのに用いられるダイシングテープであって、
中間層と、
前記中間層の一方の面側に配置された離型層と、
前記中間層の他方の面に積層されたダイシング層と、
前記離型層と前記中間層との間に配置された粘接着剤層とを備え、
前記中間層が、前記中間層の中央の領域に、非粘着性を有する第２の非粘着部と、前記第２の非粘着部を取り囲む前記中間層の外側部分の領域に、粘着性を有する第１の粘着部と、前記第１の粘着部を取り囲む前記中間層の外周縁の領域に、前記第１の粘着部よりも低い粘着性を有する第２の粘着部、又は非粘着性を有する第１の非粘着部とを有し、
前記離型層、前記中間層及び前記ダイシング層が、前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域を有し、
前記中間層が、前記張り出している領域に前記第１の粘着部を有し、
前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、前記離型層と前記中間層の前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部とが積層されており、かつ前記離型層と前記中間層とにより前記粘接着剤層が覆われており、
前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率が、前記第１の粘着部の２３℃での貯蔵弾性率よりも大きい、ダイシングテープ。
前記中間層が、前記第１の粘着部を取り囲む前記中間層の外周縁の領域の全周に、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を有する、請求項１に記載のダイシングテープ。
前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の２３℃での貯蔵弾性率が、３×１０^６Ｐａ以上である、請求項１又は２に記載のダイシングテープ。
前記第１の粘着部の２３℃での貯蔵弾性率が、３×１０^６Ｐａ未満である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシングテープ。
前記中間層が、活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物に活性エネルギー線を照射又は熱を付与することにより形成されており、
前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部の架橋密度が、前記第１の粘着部の架橋密度よりも高い、請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシングテープ。
前記組成物が、活性エネルギー線硬化型の組成物である、請求項５に記載のダイシングテープ。
前記離型層と前記中間層との間に配置された基材層をさらに備え、
前記基材層が非粘着性を有し、
前記基材層が前記中間層側に、かつ前記粘接着剤層が前記離型層側に配置されており、
前記離型層、前記中間層及び前記ダイシング層が、前記基材層及び前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域を有し、
前記中間層が、前記張り出している領域に前記第１の粘着部を有し、
前記基材層及び前記粘接着剤層の外周側面よりも側方に張り出している領域において、前記離型層と前記中間層の前記第１の粘着部とが貼り付けられており、前記離型層と前記中間層とにより前記基材層及び前記粘接着剤層が覆われている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイシングテープ。
請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシングテープの前記離型層を剥離して、前記中間層の前記張り出している領域と、前記粘接着剤層とを露出させる工程と、
前記離型層を剥離しながら、又は前記離型層を剥離した後に、露出した前記粘接着剤層に半導体ウェーハを積層し、かつ前記中間層の前記第１の粘着部にダイシングリングを貼り付ける工程と、
前記半導体ウェーハを前記粘接着剤層ごとダイシングし、個々の半導体チップに分割する工程と、
ダイシングの後に、前記半導体チップが貼り付けられた前記粘接着剤層を剥離して、半導体チップを前記粘接着剤層ごと取り出す工程とを備える、半導体チップの製造方法。
請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシングテープの製造方法であって、
前記中間層を形成するための粘着性を有する活性エネルギー線硬化型又は熱硬化型の組成物層の、前記第２の非粘着部を形成する部分と、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を形成する部分とに、活性エネルギー線を照射又は熱を付与することにより、中央の領域に非粘着性を有する第２の非粘着部を有し、前記第２の非粘着部を取り囲む外側部分の領域に粘着性を有する第１の粘着部を有し、かつ、前記第１の粘着部を取り囲む外周縁の領域に前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を有する前記中間層を得る工程と、
前記中間層を得る工程の前又は後に、前記組成物層又は前記中間層の一方の面側に前記離型層を配置し、かつ前記組成物層又は前記中間層の他方の面に前記ダイシング層を積層する工程とを備え、
前記離型層を配置する際に、前記離型層と前記中間層との間に、粘接着剤層を配置する、ダイシングテープの製造方法。
前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層に、活性エネルギー線を照射及び熱を付与しないか、又は前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層に、活性エネルギー線を照射又は熱を付与し、かつ、
前記第２の非粘着部を形成する部分と、前記第２の粘着部又は前記第１の非粘着部を形成する部分との前記組成物層に、前記第１の粘着部を形成する部分の前記組成物層よりも活性エネルギー線の照射量又は熱量が多くなるように、活性エネルギー線を照射又は熱を付与する、請求項９に記載のダイシングテープの製造方法。