JP5381121B2 - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
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ウエハ、接着シート及びダイシングテープを同時に切断し、接着シートとダイシングテープ間で剥離して接着シート付き半導体チップを得る工程、
前記接着シート付き半導体チップの接着シートの揮発性成分を除去した後、基板又は半導体チップに接着する工程とを含む半導体装置の製造方法に関する。
本発明で使用するウエハとしては、単結晶シリコンの他、多結晶シリコン、各種セラミック、ガリウム砒素などの化合物半導体などが使用される。
本発明で使用するダイシングテープとしては、例えば、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリイミドフィルムなどのプラスチックフィルム等が挙げられる。また、必要に応じてプライマー塗布、UV処理、コロナ放電処理、研磨処理、エッチング処理等の表面処理を行っても良い。ダイシングテープは粘着性を有することが好ましく、上述のプラスチックフィルムに粘着性を付与したものを用いても良いし、上述のプラスチックフィルムの片面に粘着剤層を設けても良い。
本発明で使用される接着シートとしては、特に制限がないが、揮発性成分の含有量、すなわち揮発性成分除去前の揮発性成分の含有量が0.8重量%以下であることが好ましく、0.5重量%以下であることがより好ましい。前記含有量が0.8重量%を超えると加熱硬化時に発泡する可能性がある。なお、前記含有量の下限値は、0重量%により近い値であることが好ましい。ここで、揮発性成分は接着シートを作製する際に用いる揮発性の溶剤やシートに付着している水分などをいう。揮発性成分の含有量を0.8重量%以下にするには、ワニスを作製する際に使用する溶剤の種類や量、溶剤を除去する際の条件を適宜選択すればよい。
重量平均分子量が1万以上である高分子量化合物は、接着シートに強度を付与する又は可とう性を付与する目的で用いられる。高分子量化合物の重量平均分子量は、より好ましくは3万〜300万であり、特に好ましくは5万〜200万である。高分子量化合物の重量平均分子量が1万以上であると、接着シートの強度、可とう性及びタック性が適当であり、またフロー性が適当なため配線の回路充填性が確保しやすくなる。なお、重量平均分子量とは、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算した値を示す。前記高分子量化合物としては、例えば、ポリイミド、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ブタジエンゴム、アクリルゴム、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル及びそれらの混合物などが挙げられる。特に、官能基を有する重量平均分子量が5万以上である高分子量化合物が好ましく、例えば、グリシジル(メタ)アクリレートなどの官能性モノマーを含有するモノマーを重合して得た、重量平均分子量が5万以上であるエポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体などが好ましい。低分子量成分を含まない点で、リビング重合したポリマが好ましく、このようなものとしては、クラレ株式会社製のアクリルメタクリル共重合ポリマ(商品名:LA1114)などが挙げられる。エポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体は、例えば、エポキシ基含有(メタ)アクリルエステル共重合体、エポキシ基含有アクリルゴム等を挙げることができ、エポキシ基含有アクリルゴムを用いることがより好ましい。アクリルゴムは、アクリル酸エステルを主成分とし、主として、ブチルアクリレートとアクリロニトリルなどの共重合体や、エチルアクリレートとアクリロニトリルなどの共重合体などからなるゴムである。このような重量平均分子量が5万以上であるエポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体としては、例えば、ナガセケムテックス株式会社製、商品名:HTR−860P−3などが挙げられる。エポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体中のエポキシ基含有モノマーの量は、0.5〜6.0重量%であることが好ましく、0.5〜5.0重量%であることがより好ましく、0.8〜5.0重量%であることが特に好ましい。前記エポキシ基含有モノマーの量が0.5〜6.0重量%であると、接着シートの接着力が確保し易く、またゲル化を防止し易くなる。
ウエハ、接着シート及びダイシングテープを同時に切断し、接着シートとダイシングテープ間で剥離して接着シート付き半導体チップを得る工程(II)、
前記接着シート付き半導体チップの接着シートの揮発性成分を除去した後、基板又は半導体チップに接着する工程(III)とを含むものである。
本発明の半導体装置の製造方法における工程(I)では、ウエハ、接着シート、ダイシングテープの順に貼り合わせる。貼り合わせる方法としては、ウエハに接着シートを貼り合わせた後、次いで接着シート面にダイシングテープを貼り合わせる方法、接着シートとダイシングテープとを貼り合わせた一体型シートを用いてウエハと該一体型シートの接着シート面とを張り合わせる方法などが挙げられる。接着シートをウエハに貼り付ける温度、即ちラミネート温度は、通常40〜100℃であり、好ましくは60〜80℃である。100℃を超える場合は、接着シートを貼り付けた後のウエハの反りが大きくなる傾向がある。ダイシングテープ又は一体型シートを貼り付ける際にも、上記温度で行うことが好ましい。
本発明の半導体装置の製造方法における工程(II)では、ウエハ、接着シート及びダイシングテープを同時に切断し、接着シートとダイシングテープ間で剥離して接着シート付き半導体チップを得る。ダイシングは、通常、ダイシングカッターを用いて行なわれる。ダイシング後は、洗浄、乾燥した後、ピックアップ装置などにより接着シートとダイシングテープ間で剥離して、接着シート付き半導体チップを得ることができる。
本発明の半導体装置の製造方法における工程(III)では、前記接着シート付き半導体チップの接着シートの揮発性成分を除去した後、基板又は半導体チップに接着する。
ことができる。
接着シートの表面を加熱する方法としては、接着シートの表面にエネルギー線を照射する方法、接着シートの表面に熱風を吹き付ける方法などが挙げられ、該熱風は加熱した乾燥空気であることが好ましい。エネルギー線を照射する方法は、短時間で簡単に接着シートの表面を加熱できる点で好ましい。エネルギー線としては、赤外線、可視光線、紫外線、X線、ガンマ線などの電磁波、電子線などが用いられ、これらのなかでも、波長が短いため、接着シートを透過し難く効率的に表面を加熱できる点で紫外線が好ましい。これらのエネルギー線の照射は、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプを使用して行なうことができる。エネルギー線の照射量は適宜選択されるが、好ましくは200〜3000mJ/cm2、より好ましくは500〜2000mJ/cm2である。前記照射量が200mJ/cm2未満であると加熱が不充分になる可能性があり、3000mJ/cm2を越えると接着シートの温度が上昇し過ぎて硬化が進み過ぎ、接着力が低下する傾向にある。
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、商品名:YDCN−703、エポキシ当量:210)48重量部、キシレン変性フェノールノボラック樹脂(三井化学株式会社製、商品名:XLC−LL)36.8重量部、アクリルゴム(クラレ株式会社製、商品名:LA1114、分子量:8万)50重量部、シリカフィラー(電気化学工業株式会社製、商品名:FB−35)200重量部からなる組成物をステンレス容器中で、200℃で10分間で溶融混合し、その後、270℃で10分間混合、撹拌しながら、揮発性成分を除去した後、100℃に冷却した。その状態で1−シアノ−1−フェニルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名:キュアゾール2PZ−CN)0.6重量部を添加し、100℃で2分間よく混合して室温に冷却した後、その混合物10gを厚さ75μmの表面を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人株式会社製、商品名:ピューレックスS31)の離型処理した面の間におき、平板プレスで100℃、圧力10MPaの条件で20秒間プレスした後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して厚さ60μmのBステージ状態の接着シート1を得た。
重さ1gの接着シート1を170℃で1時間加熱し、加熱前後の重量変化から揮発性成分の含有量(重量%)を求めた。
Bステージ状態の接着シート1について、熱機械分析装置(セイコーインスツル製、TMA/SS6100)を用いて、0〜50℃まで毎分5℃の昇温速度で接着シート1の伸びを測定し、15〜35℃の伸びから、25℃における線膨張係数を求めた。
Bステージ状態のシート1について、分光光度計(株式会社日立ハイテクノロジーズ製、U−4100型)を用いて、膜厚60μmにおける波長365nmの光線透過率(%)を求めた。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、商品名:YDF−8170C、エポキシ当量:160)29重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、商品名:YDCN−703、エポキシ当量:210)9.7重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製、商品名:フェノライトLF2882)27.4重量部、エポキシ基含有アクリルゴム(ナガセケムテックス株式会社製、商品名:HTR−860P−3DR、ゲル パーミエーション クロマトグラフィーによる重量平均分子量:80万、グリシジルメタクリレート3重量%、Tg:−7℃、)28.3重量部、1−シアノ−1−フェニルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名:キュアゾール2PZ−CN)0.1重量部及びシリカフィラー(アドマファイン株式会社製、商品名:S0−C2、比重:2.2g/cm3)94.4重量部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて撹拌混合し、真空脱気して接着剤ワニスを得た。
厚さ80μmの半導体ウエハに接着シート1又は2を60℃でラミネートし、端部を切断した。これに膜厚100μmのダイシングテープ(古河電工株式会社製、商品名:UC3004M−80)をホットロールラミネータ(Du Pont製Riston)を用いて25℃でラミネートし、接着シート及びダイシングテープの付いた半導体ウエハを作製した。次いで、接着シート及びダイシングテープの付いた半導体ウエハのウエハ、接着シート、ダイシングテープをダイシングカッターを用いて同時に切断し、さらに洗浄、乾燥を行った後、ピックアップにより接着シートとダイシングテープ間で剥離して接着シート付き半導体チップを得た。
接着シート1を用いて作製した接着シート付き半導体チップ(5mm×5mmの正方形)の接着シートの表面に80℃の乾燥空気を圧縮空気ボンベを用いて30秒間吹き付けた後、厚み25μmのポリイミドフィルムを基材に用いた高さ10μmの凹凸を有する配線基板を0.05MPa、1s、130℃の条件で貼り合わせて半導体装置Aを作製した。なお、乾燥空気を吹き付けた後の接着シートの揮発性成分の含有量は0.05重量%であった。
接着シート1に代えて接着シート2を用いること以外は、実施例1と同様に操作して半導体装置Bを作製した。なお、乾燥空気を吹き付けた後の接着シートの揮発性成分の含有量は0.2重量%であった。
接着シート2を用いて作製した接着シート付き半導体チップ(5mm×5mmの正方形)の接着シートの表面に紫外線(光量2000mJ/cm2)を照射した後、厚み25μmのポリイミドフィルムを基材に用いた高さ10μmの凹凸を有する配線基板を0.05MPa、1s、130℃の条件で貼り合わせて半導体装置Cを作製した。なお、紫外線照射後の接着シートの揮発性成分の含有量は0.2重量%であった。
接着シート1を用いて作製した接着シート付き半導体チップ(5mm×5mmの正方形)と、厚み25μmのポリイミドフィルムを基材に用いた高さ10μmの凹凸を有する配線基板を0.05MPa、1s、130℃の条件で貼り合わせて半導体装置Dを作製した。
[比較例2]
接着シート2を用いて作製した接着シート付き半導体チップ(5mm×5mmの正方形)と、厚み25μmのポリイミドフィルムを基材に用いた高さ10μmの凹凸を有する配線基板を0.05MPa、1s、130℃の条件で貼り合わせて半導体装置Eを作製した。
実施例1〜3、比較例1〜2で作製した半導体装置A〜Eについて、以下の方法により、吸湿耐リフロークラック性、耐温度サイクル性及び発泡性を評価した。結果を表2に示す。
(1)吸湿耐リフロークラック性
各半導体装置サンプルを85℃、相対湿度60%の環境に168時間放置した後、半導体表面の最高温度が260℃でこの温度を20秒間保持するように温度設定したIRリフロー炉にサンプルを通し、室温(25℃)で放置することにより冷却する処理を2回繰り返した。サンプル中のクラックを、目視と超音波顕微鏡で視察した。サンプル10個すべてでクラックの発生していないものを「○」、1個以上発生していたものを「×」として評価した。
各半導体装置サンプルを−55℃雰囲気に30分間放置し、その後125℃の雰囲気に30分間放置する工程を1サイクルとして、1000サイクル後において超音波顕微鏡を用いて剥離やクラックなどの破壊がサンプル10個すべてで発生していないものを「○」、1個以上発生したものを「×」として評価した。
Claims (5)
- ウエハ、接着シート、ダイシングテープの順に貼り合わせる工程、
ウエハ、接着シート及びダイシングテープを同時に切断し、接着シートとダイシングテープ間で剥離して接着シート付き半導体チップを得る工程、
前記接着シート付き半導体チップの接着シートの揮発性成分を除去した後、表面に凹凸を有する基板又は半導体チップに接着する工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
揮発性成分の除去が、エネルギー線の照射又は加熱した乾燥空気の吹き付けにより、前記接着シートの表面を加熱することによって行われる半導体装置の製造方法。 - 前記接着シートは、揮発性成分除去後の揮発性成分の含有量が0.3重量%以下である請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着シートは、膜厚60μmにおける波長365nmの光線透過率が30%以下である請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着シートは、25℃における線膨張係数が100ppm/℃以上である請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着シートは、揮発性成分除去前の揮発性成分の含有量が0.8重量%以下である請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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