CN110391166A - 用于集成电路的芯片传输装置 - Google Patents
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- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 29
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 claims abstract description 25
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 5
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 abstract description 4
- 208000014674 injury Diseases 0.000 abstract description 4
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
本发明一种用于集成电路的芯片传输装置,包括金属吸气管、胶木吸嘴、橡胶转接管、载物板、基座和顶针,所述载物板用于放置待吸的集成电路芯片,所述橡胶转接管一端套接于金属吸气管上,另一端为锥形端,所述胶木吸嘴安装于橡胶转接管的锥形端上,所述基座位于载物板的下方,所述顶针位于基座和载物板之间,所述载物板设置有供顶针嵌入的通孔;至少2根固定于载物板上的导柱分别位于顶针两侧,至少2根弹簧分别套装于至少2根导柱上,此弹簧自然状态下的高度大于导柱的高度。本发明用于集成电路的芯片传输装置软硬适中,寿命远远超出前两款吸嘴,具有一定缓冲作用,从而进一步保护芯片,避免对芯片的伤害。
Description
技术领域
本发明涉及一种半导体封装装置,尤其涉及一种用于集成电路的芯片传输装置。
背景技术
芯片在生产中往往需要转移,吸嘴对芯片吸附后进行,芯片吸嘴是连接真空发生装置通过真空吸气或泄气的方式对芯片进行吸取和放置;目前普遍使用的是橡胶吸嘴或者胶木吸嘴,以下是两种吸嘴的技术介绍:
1. 橡胶吸嘴优点焊头压力作用下,橡胶有较好的弹性,吸到碎片或顶翻竖起芯片不易坏损;缺点弹性形变下易出现释放真空慢回吸粘胶现象,硬度不够,从而导致寿命低,耗损量大;
2. 胶木吸嘴安装要求严格,硬度过硬导致芯片表面吸嘴印异常较为明显,芯片容易破碎从而导致吸嘴堵塞,寿命低,耗损量大。优点不会回吸粘胶,但缺点无弹性,吸到碎片或竖起芯片易损坏。
因此,如何克服上述技术问题成为本领域技术人员努力的方向。
发明内容
本发明目的是提供一种用于集成电路的芯片传输装置,该用于集成电路的芯片传输装置软硬适中,寿命远远超出前两款吸嘴,具有一定缓冲作用,从而进一步保护芯片,避免对芯片的伤害,进一步提高产品的良率。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种用于集成电路的芯片传输装置,包括金属吸气管、胶木吸嘴、橡胶转接管、载物板、基座和顶针,所述载物板用于放置待吸的集成电路芯片,所述橡胶转接管一端套接于金属吸气管上,另一端为锥形端,所述胶木吸嘴安装于橡胶转接管的锥形端上,所述基座位于载物板的下方,所述顶针位于基座和载物板之间,所述载物板设置有供顶针嵌入的通孔;
至少2根固定于载物板上的导柱分别位于顶针两侧,至少2根弹簧分别套装于至少2根导柱上,此弹簧自然状态下的高度大于导柱的高度。
上述技术方案中进一步改进的方案如下:
1. 上述方案中,所述胶木吸嘴形状为圆锥形。
2. 上述方案中,所述橡胶转接管与胶木吸嘴的高度比为10:(2~3)。
3. 上述方案中,自然状态下的所述弹簧高度与导柱高度的高度比为10:(7~9)。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点和效果:
本发明用于集成电路的芯片传输装置,其软硬适中,安装跟橡胶吸嘴一样较为简单,寿命远远超出前两款吸嘴,吸嘴价格也相对低,结合橡胶和胶木的优点,不易损坏不回吸,而现有技术使用橡胶或者胶木吸嘴,平均寿命只有80-110K,而本专利复合吸取装置的寿命可以达到200K,相比普通吸嘴寿命提高2.5倍,不会压伤芯片,从而提高成品率;其次,其至少2根固定于载物板上的导柱分别位于顶针两侧,至少2根弹簧分别套装于至少2根导柱上,此弹簧自然状态下的高度大于导柱的高度,当胶木吸嘴对芯片施压时,顶针将芯片从载物板上顶起来,载物板具有一定缓冲作用,从而进一步保护芯片,避免对芯片的伤害,进一步提高产品的良率。
附图说明
附图1为本发明用于集成电路的芯片传输装置结构示意图。
以上附图中:1、金属吸气管;2、胶木吸嘴;3、橡胶转接管;4、载物板;5、基座;6、顶针;7、集成电路芯片;8、通孔;9、导柱;10、弹簧。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述:
实施例1:一种用于集成电路的芯片传输装置,包括金属吸气管1、胶木吸嘴2、橡胶转接管3、载物板4、基座5和顶针6,所述载物板4用于放置待吸的集成电路芯片7,所述橡胶转接管3一端套接于金属吸气管1上,另一端为锥形端,所述胶木吸嘴2安装于橡胶转接管3的锥形端上,所述基座5位于载物板4的下方,所述顶针6位于基座5和载物板4之间,所述载物板4设置有供顶针6嵌入的通孔8;
至少2根固定于载物板4上的导柱9分别位于顶针6两侧,至少2根弹簧10分别套装于至少2根导柱9上,此弹簧10自然状态下的高度大于导柱9的高度。
上述橡胶转接管3与胶木吸嘴2的高度比为10:2.8。
自然状态下的所述弹簧10高度与导柱9高度的高度比为10:8.2。
实施例2:一种用于集成电路的芯片传输装置,包括金属吸气管1、胶木吸嘴2、橡胶转接管3、载物板4、基座5和顶针6,所述载物板4用于放置待吸的集成电路芯片7,所述橡胶转接管3一端套接于金属吸气管1上,另一端为锥形端,所述胶木吸嘴2安装于橡胶转接管3的锥形端上,所述基座5位于载物板4的下方,所述顶针6位于基座5和载物板4之间,所述载物板4设置有供顶针6嵌入的通孔8;
至少2根固定于载物板4上的导柱9分别位于顶针6两侧,至少2根弹簧10分别套装于至少2根导柱9上,此弹簧10自然状态下的高度大于导柱9的高度。
上述胶木吸嘴2形状为圆锥形。
上述橡胶转接管3与胶木吸嘴2的高度比为10:2.4。
自然状态下的所述弹簧10高度与导柱9高度的高度比为10:7.5。
采用上述用于集成电路的芯片传输装置时,其软硬适中,安装跟橡胶吸嘴一样较为简单,寿命远远超出前两款吸嘴,吸嘴价格也相对低,结合橡胶和胶木的优点,不易损坏不回吸,而现有技术使用橡胶或者胶木吸嘴,平均寿命只有80-110K,而本专利复合吸取装置的寿命可以达到200K,相比普通吸嘴寿命提高2.5倍,不会压伤芯片,从而提高成品率;其次,其当胶木吸嘴对芯片施压时,顶针将芯片从载物板上顶起来,载物板具有一定缓冲作用,从而进一步保护芯片,避免对芯片的伤害,进一步提高产品的良率。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于集成电路的芯片传输装置,其特征在于:包括金属吸气管(1)、胶木吸嘴(2)、橡胶转接管(3)、载物板(4)、基座(5)和顶针(6),所述载物板(4)用于放置待吸的集成电路芯片(7),所述橡胶转接管(3)一端套接于金属吸气管(1)上,另一端为锥形端,所述胶木吸嘴(2)安装于橡胶转接管(3)的锥形端上,所述基座(5)位于载物板(4)的下方,所述顶针(6)位于基座(5)和载物板(4)之间,所述载物板(4)设置有供顶针(6)嵌入的通孔(8);
至少2根固定于载物板(4)上的导柱(9)分别位于顶针(6)两侧,至少2根弹簧(10)分别套装于至少2根导柱(9)上,此弹簧(10)自然状态下的高度大于导柱(9)的高度。
2.根据权利要求1所述的用于集成电路的芯片传输装置,其特征在于:所述胶木吸嘴(2)形状为圆锥形。
3.根据权利要求1所述的用于集成电路的芯片传输装置,其特征在于:所述橡胶转接管(3)与胶木吸嘴(2)的高度比为10:(2~3)。
4.根据权利要求1所述的用于集成电路的芯片传输装置,其特征在于:自然状态下的所述弹簧(10)高度与导柱(9)高度的高度比为10:(7~9)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810352410.0A CN110391166A (zh) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | 用于集成电路的芯片传输装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810352410.0A CN110391166A (zh) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | 用于集成电路的芯片传输装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110391166A true CN110391166A (zh) | 2019-10-29 |
Family
ID=68283425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810352410.0A Pending CN110391166A (zh) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | 用于集成电路的芯片传输装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110391166A (zh) |
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PB01 | Publication | ||
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