JP5374860B2 - マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents

マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5374860B2
JP5374860B2 JP2007290577A JP2007290577A JP5374860B2 JP 5374860 B2 JP5374860 B2 JP 5374860B2 JP 2007290577 A JP2007290577 A JP 2007290577A JP 2007290577 A JP2007290577 A JP 2007290577A JP 5374860 B2 JP5374860 B2 JP 5374860B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
microactuator
electrode
region
optical device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007290577A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009118682A (ja
JP2009118682A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
純児 鈴木
壮一 大和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2007290577A priority Critical patent/JP5374860B2/ja
Publication of JP2009118682A publication Critical patent/JP2009118682A/ja
Publication of JP2009118682A5 publication Critical patent/JP2009118682A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5374860B2 publication Critical patent/JP5374860B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
JP2007290577A 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 Active JP5374860B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290577A JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290577A JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009118682A JP2009118682A (ja) 2009-05-28
JP2009118682A5 JP2009118682A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2011-04-07
JP5374860B2 true JP5374860B2 (ja) 2013-12-25

Family

ID=40785165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007290577A Active JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5374860B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1036321A1 (nl) * 2007-12-20 2009-06-29 Asml Netherlands Bv Device control method and apparatus.
JP5573212B2 (ja) * 2010-02-08 2014-08-20 株式会社ニコン 空間光変調素子、空間光変調素子の製造方法、照明光発生装置及び露光装置
WO2012000528A1 (en) * 2010-07-01 2012-01-05 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical system and multi facet mirror
CN107252302B (zh) * 2012-07-27 2020-08-18 统雷有限公司 敏捷成像系统
JP5908422B2 (ja) * 2013-03-19 2016-04-26 株式会社東芝 Ｍｅｍｓ装置及びその製造方法
JP7260959B2 (ja) * 2018-03-16 2023-04-19 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置、照明装置及び物品の製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03273869A (ja) * 1990-03-23 1991-12-05 Murata Mfg Co Ltd 圧電アクチュエータ
JPH08293590A (ja) * 1995-04-21 1996-11-05 Sony Corp 張り合わせ基板の製造方法およびトランジスタの製造方法
JP2001350196A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Ricoh Co Ltd 画像表示装置
JP4766758B2 (ja) * 2001-02-28 2011-09-07 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP4146127B2 (ja) * 2002-01-16 2008-09-03 セイコーインスツル株式会社 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器
JP2003340795A (ja) * 2002-05-20 2003-12-02 Sony Corp 静電駆動型ｍｅｍｓ素子とその製造方法、光学ｍｅｍｓ素子、光変調素子、ｇｌｖデバイス及びレーザディスプレイ
JP2004001110A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Ricoh Co Ltd 静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロデバイス
JP4042551B2 (ja) * 2002-12-02 2008-02-06 株式会社ニコン マイクロアクチュエータ装置及び光スイッチシステム
JP2006187060A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Nikon Corp マイクロアクチュエータ及びその製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ
JP2006256222A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Seiko Epson Corp 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製造方法、デバイスおよびデバイスの製造方法
JP2007214374A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Fujifilm Corp 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009118682A (ja) 2009-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5609114B2 (ja) マイクロアクチュエータ、光学デバイス、表示装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP5754656B2 (ja) 光学デバイス及び露光装置、並びにデバイス製造方法
JP4694548B2 (ja) 空間光変調器および空間光変調器の製造方法
US6914711B2 (en) Spatial light modulator with hidden comb actuator
US7400437B2 (en) Discretely controlled micromirror with multi-level positions
US6970284B1 (en) Variable focusing lens comprising micromirrors with one degree of freedom rotation
JP5374860B2 (ja) マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法
US20040017599A1 (en) Micro-mirror with rotor structure
US7474454B2 (en) Programmable micromirror motion control system
JP4872453B2 (ja) マイクロアクチュエータ、光学デバイス及び表示装置
JP2004157527A (ja) 可変形状反射鏡及びその製造方法
WO2006109687A1 (ja) 微小機械構造体
JP2007192902A (ja) 微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイの駆動方法、微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ、並びに画像形成装置
JP6809018B2 (ja) 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置
WO2005085125A1 (ja) マイクロアクチュエータ、およびマイクロアクチュエータを備えた装置
WO2015145943A1 (ja) 光走査デバイス
JP2008046591A (ja) アクチュエータの接触部位形成方法、アクチュエータ、光学システム及び画像形成装置
Wang et al. Highly space-efficient electrostatic zigzag transmissive micro-optic switches for an integrated MEMS optical display system
JP5740819B2 (ja) 空間光変調器の製造方法、空間光変調器、照明光発生装置および露光装置
WO2004074903A1 (en) Scanning mirror with 2 degrees of freedom and manufacturing method thereof
HK1124399A (en) Micro actuator, optical unit, exposure device, and device manufacturing method
JP2013171213A (ja) 空間光変調器及びその制御方法、並びに露光装置
KR20100045136A (ko) 광변조기 패키지 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110217

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120629

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120710

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120819

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130305

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130402

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130827

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130909

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5374860

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250