JP2009118682A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009118682A5
JP2009118682A5 JP2007290577A JP2007290577A JP2009118682A5 JP 2009118682 A5 JP2009118682 A5 JP 2009118682A5 JP 2007290577 A JP2007290577 A JP 2007290577A JP 2007290577 A JP2007290577 A JP 2007290577A JP 2009118682 A5 JP2009118682 A5 JP 2009118682A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
potential
microactuator
plate
inclination
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007290577A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009118682A (ja
JP5374860B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007290577A priority Critical patent/JP5374860B2/ja
Priority claimed from JP2007290577A external-priority patent/JP5374860B2/ja
Publication of JP2009118682A publication Critical patent/JP2009118682A/ja
Publication of JP2009118682A5 publication Critical patent/JP2009118682A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5374860B2 publication Critical patent/JP5374860B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007290577A 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 Active JP5374860B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290577A JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290577A JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009118682A JP2009118682A (ja) 2009-05-28
JP2009118682A5 true JP2009118682A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2011-04-07
JP5374860B2 JP5374860B2 (ja) 2013-12-25

Family

ID=40785165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007290577A Active JP5374860B2 (ja) 2007-11-08 2007-11-08 マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5374860B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1036321A1 (nl) * 2007-12-20 2009-06-29 Asml Netherlands Bv Device control method and apparatus.
JP5573212B2 (ja) * 2010-02-08 2014-08-20 株式会社ニコン 空間光変調素子、空間光変調素子の製造方法、照明光発生装置及び露光装置
WO2012000528A1 (en) * 2010-07-01 2012-01-05 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical system and multi facet mirror
CN107252302B (zh) * 2012-07-27 2020-08-18 统雷有限公司 敏捷成像系统
JP5908422B2 (ja) * 2013-03-19 2016-04-26 株式会社東芝 Mems装置及びその製造方法
JP7260959B2 (ja) * 2018-03-16 2023-04-19 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置、照明装置及び物品の製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03273869A (ja) * 1990-03-23 1991-12-05 Murata Mfg Co Ltd 圧電アクチュエータ
JPH08293590A (ja) * 1995-04-21 1996-11-05 Sony Corp 張り合わせ基板の製造方法およびトランジスタの製造方法
JP2001350196A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Ricoh Co Ltd 画像表示装置
JP4766758B2 (ja) * 2001-02-28 2011-09-07 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP4146127B2 (ja) * 2002-01-16 2008-09-03 セイコーインスツル株式会社 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器
JP2003340795A (ja) * 2002-05-20 2003-12-02 Sony Corp 静電駆動型mems素子とその製造方法、光学mems素子、光変調素子、glvデバイス及びレーザディスプレイ
JP2004001110A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Ricoh Co Ltd 静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロデバイス
JP4042551B2 (ja) * 2002-12-02 2008-02-06 株式会社ニコン マイクロアクチュエータ装置及び光スイッチシステム
JP2006187060A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Nikon Corp マイクロアクチュエータ及びその製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ
JP2006256222A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Seiko Epson Corp 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製造方法、デバイスおよびデバイスの製造方法
JP2007214374A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Fujifilm Corp 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6472804B2 (ja) 物理的効果を発生するマイクロ電気機械装置
JP4544826B2 (ja) Memsアクチュエータ
US8902520B2 (en) Electroactive optical device
JP2009118682A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP4405555B2 (ja) 光学ピクセルデバイス
JP5456040B2 (ja) 電気活性光デバイス
EP1341025B1 (en) Reflective microelectrical mechanical structure (mems) optical modulator and optical display system
JP4732876B2 (ja) アクチュエータ、アクチュエータモジュールおよびアクチュエータモジュール製造方法
US8736139B2 (en) Optical image stabilizer and method of manufacturing the same
US7400437B2 (en) Discretely controlled micromirror with multi-level positions
US20170254978A1 (en) MEMS Device for Lens Barrel Positioning
JP2012530276A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2002236265A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2009060906A1 (ja) マイクロアクチュエータ、光学デバイス、表示装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP5374860B2 (ja) マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法
US8643937B2 (en) Diffractive optical nano-electro-mechanical device with reduced driving voltage
US20150309306A1 (en) Applications of contact-transfer printed membranes
CN110217754B (zh) 一种旋转结构及其制备方法
JP2002287045A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2008015489A (ja) 可変形状光学素子、光学装置、及び撮像装置
KR100600248B1 (ko) 디지털 마이크로 미러 및 그 제조방법
WO2003079091A1 (en) An adressing method of moveable microelements in a spatial light modulator (slm) for pattering of a workpiece
JP2006018176A (ja) 静電型可変形状鏡
TWI281297B (en) Method of driving a parallel-plate variable micro-electromechanical capacitor, method of driving a diffraction-based light modulation device, charge control circuit, and micro-electromechanical system
KR100677204B1 (ko) 2축 회전이 가능한 마이크로미러