JP5373119B2 - 環状アザシラ化合物 - Google Patents

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Description

本発明は、Si−Si又はSi−Nの単結合によって結合されている4個〜10個の単位から構成されている環状アザシラ化合物、及びその製造に関する。
アミノシラン化合物は、Si−N層及びSi−O層の製造にとって非常に興味深い。このためアミノ置換されたモノシランが既に調査されており、また幾つかのジシランは良好な特性を示す。この点では、ケイ素含分が高い化合物に対する興味が存在する。特に興味深いのは、まだ記載されていない、Si原子が隣接するためケイ素含分が高い環状化合物である。
US 3565934はアミノシランの熱分解を記載しており、ここでは1,3−ジアザ−ジシラ−シクロブタンが生じる。この反応は、塩化アミン基により促進される。アンモニウム塩により、アミノシランからアミンが脱離する。
WO 2004/044958には、アミノクロロシランからt−ブチルリチウムを用いて、1,3−ジアザ−ジシラ−シクロブタンを製造することが記載されている。
本発明の対象は、Si−Si又はSi−Nの単結合によって結合されている一般式(I)及び(II)
=SiY2 (I)
=NR3 (II)
[式中、
Yは−NR12、水素、及びハロゲンから選択されており、
1及びR2は水素、及び1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基から選択されており、
3は1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基であり、
ただし環中で一般式(I)の単位の少なくとも2つはSi−Si単結合で相互に結合されており、
基Yの最大35mol%が水素であり、
基Yの最大15mol%がハロゲンである]
の単位4個〜10個から構成されている環状アザシラ化合物である。
環状アザシラ化合物は蒸発させることができ、それゆえSi−N層及びSi−O層の製造に優れて適している。
1、R2、及びR3は好適には、直鎖状又は分枝鎖状のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルケニル基、アリールアルキル基であり、好ましくはアルキル基である。基R1、R2、及びR3は好ましくは、1〜12個、とりわけ1〜6個の炭素原子を有する。特に好ましい基R1、R2、及びR3は、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、又はt−ペンチル基、及びフェニル基である。
一般式(I)中で、基Yのうち好適には最高20mol%、特に好ましくは最高10mol%が水素であり、とりわけ基Yは水素ではない。Yがハロゲンであれば、臭素とヨウ素、とりわけ塩素が好ましい。
一般式(I)中で、基Yのうち好適には最高1mol%、特に好ましくは最高0.1mol%、とりわけ最高0.01mol%がハロゲンであり、とりわけ好ましくは基Yはハロゲンではない。
Yは好適には、基NHR2である。R2は好適には、R3と同じ意味である。
環状アザシラ化合物は好適には、一般式(I)及び(II)の単位4個、6個、又は10個から構成されている。環状アザシラ化合物は特に好適には、一般式(I)の単位3個又は4個と、一般式(II)の単位1個又は2個から構成されている。
特に好ましい環状アザシラ化合物は、1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタン、とりわけ1−アルキル−2,2,3,3,4,4−ヘキサキスアルキルアミノ−1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタン、及び、1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサン、とりわけ1,4−ジアルキルー2,2,3,3,5,5,6,6−オクタキスアルキルアミノ−1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンである。
環状アザシラ化合物は、一般式(III)
Y(SiY2mSiY3 (III)
の直鎖状オリゴシランと、一般式(IV)
X(H2NR3) (IV)
のアミン塩との反応によって製造でき、
前記式中、
Xはハロゲン原子であり、
mの値は1、2、又は3であり、
3及びYは、前述の意味を有する。
環の大きさを制御するため、一般式(III)のオリゴシランと、一般式(IV)のアミン塩との使用比を選択する。
Xは好適には、塩素原子である。
一般式(IV)のアミン塩は好適には、一般式(III)の直鎖状オリゴシランに対して過剰量で使用する。
反応の際に好適には、一般式(IV)のアミン塩が、一般式(III)の直鎖状オリゴシランに対して少なくとも0.1質量%、特に好適には少なくとも1質量%存在する。
反応の温度は好適には、少なくとも20℃、特に好適には少なくとも50℃、及び好適には最高200℃、特に好適には最高150℃である。温度の上限は好ましくは、使用する化合物の沸点に応じて調整する。
本方法は溶剤中、とりわけ非極性溶剤中で行うことができる。好ましいのは、炭化水素基、及びハロゲン化炭化水素基である。好ましいのは、沸点若しくは沸点範囲が、1barで最大150℃の溶剤混合物である。このような溶剤の例は、3〜10個の炭素原子を有するアルカン、6〜12個の炭素原子を有する芳香族化合物、1〜3個の炭素原子を有するハロゲン化アルカン、及びこれらの混合物である。好ましい例は、ジクロロメタン、テトラクロロメタン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ベンゼン、トルエン、及びキシレン、並びにこれらの異性体混合物である。
反応の進行は、遊離アミンの形成を伴うことがある。
環状アザシラ化合物はまた、一般式(III)
Y(SiY2mSiY3 (III)
の直鎖状オリゴシランを加熱することによっても製造でき、
前記式中、
mの値は1、2、又は3であり、
Yは、前述の意味を有する。
一般式(III)の直鎖状オリゴシランは、この製造方法で不均化(disproportionieren)できる。
反応の温度は好適には、少なくとも80℃、特に好適には少なくとも120℃、及び好適には最高250℃、特に好適には最高200℃である。温度の上限は好ましくは、使用する化合物の沸点に応じて調整する。
反応は好適には、ルイス塩基の存在下で行う。塩基の例は、水酸化物、例えばアルカリ金属水酸化物とアルカリ土類金属水酸化物、とりわけLiOH、NaOH、KOH、RbOH、CsOH、Mg(OH)2、Ca(OH)2、Sr(OH)2、Ba(OH)2、アンモニア、アミン、アミド、例えばナトリウムアミドとカリウムアミド、シラジド、例えばリチウムシラジド、水素化物、例えばナトリウム水素化物、カリウム水素化物、及びカルシウム水素化物、アルコレート、例えばイソプロピレート、エタノレート、及びメタノレートである。好ましい塩基はアミン、とりわけ第一級及び第二級アミン、及びシラジド、例えばリチウムシラジドである。
反応の際に好適には、塩基が、一般式(III)の直鎖状オリゴシランに対して少なくとも0.1質量%、特に好適には少なくとも1質量%存在する。
特別な実施態様では、反応の際に生じるアミンが触媒として作用する。アミンは好適には、反応混合物からの漏出が防止される。これは好適には、圧力の上昇により起こる。
本方法は溶剤中、とりわけ非極性溶剤中で行うことができる。好ましいのは前述の溶剤であり、より高沸点性の溶剤も好ましい。
前記式の全ての前記の記号は、それらの意味を、それぞれ互いに無関係に有する。
下記の実施例では、その都度特に記載のない限り、全ての量と%の記載は質量に対するものであり、全ての圧力は1bar(絶対圧)であり、全ての温度は20℃である。
実施例1:1,4−ジエチル−2,2,3,3,5,5,6,6−オクタキスエチルアミノ−1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンの製造
純度98%のヘキサキスエチルアミノ−ジシラン38gを、エチルアミンヒドロクロリド1.3質量%と混合し、7時間還流で加熱した。温度はすぐに135℃に上がり、数分後には115℃に下がった。1,4−ジエチル−2,2,3,3,5,5,6,6−オクタキスエチルアミノ−1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンが9g生成した。
エチルアミンヒドロクロリドを7質量%使用した場合、同じ反応条件下でヘキサキスエチルアミノジシラン40gから、1,4−ジエチル−2,2,3,3,5,5,6,6−オクタキスエチルアミノ−1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンが18g生成した。
実施例2:1−エチル−2,2,3,3,4,4−ヘキサキスエチルアミノ−1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタンの製造
ヘキサキスエチルアミノジシラン40gを、還流冷却器を有するガラスフラスコ中、窒素流下150℃で加熱すると、35時間後に、テトラキスエチルアミノシラン25gと、1−エチル−2,2,3,3,4,4−ヘキサキスエチルアミノ−1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタン2gとの混合物が生成した。1,4−ジエチル−2,2,3,3,5,5,6,6−オクタキスエチルアミノ−1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンは、痕跡量でのみ検出可能であった。実施例1とは異なり、温度は150℃で一定に保った。
実施例3:1−エチル−2,2,3,3,4,4−ヘキサキスエチルアミノ−1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタンの製造
両端が耐圧にネジ止めされた鋼管に、ヘキサキスエチルアミノジシラン4gを入れた。この管は5日間、150℃に加熱した。未分解の出発生成物の他に、オクタキスエチルアミノ−トリシラン4質量%と、1−エチル−2,2,3,3,4,4−ヘキサキスエチルアミノ−1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタン11質量%が発見された。この試料はエチルアミンを9質量%含んでいた。実施例1及び2とは異なり、エチルアミンは漏出しなかった。

Claims (11)

  1. 一般式(I)の単位3個又は4個と、一般式(II)の単位1個又は2個から構成されている、環状アザシラ化合物であって、
    =SiY2 (I)
    =NR3 (II)
    [式中、
    Yは−NR12、水素、及びハロゲンから選択されており、
    1及びR2は水素、及び1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基から選択されており、
    3は1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基であり、
    ただし環中で一般式(I)の単位の少なくとも2つはSi−Si単結合で相互に結合されており、
    基Yの最大35mol%が水素であり、
    基Yの最大15mol%がハロゲンである]
    前記単位がSi−Si又はSi−Nの単結合によって結合されている、前記環状アザシラ化合物。
  2. 1、R2、及びR3がアルキル基である、請求項1に記載の環状アザシラ化合物。
  3. Yが基−NHR2である、請求項1又は2に記載の環状アザシラ化合物。
  4. 1−アザ−2,3,4−トリシラ−シクロブタン、及び1,4−ジアザ−2,3,5,6−テトラシラ−シクロヘキサンから選択される、請求項1から3までのいずれか1項に記載の環状アザシラ化合物。
  5. 一般式(I)の単位3個又は4個と、一般式(II)の単位1個又は2個から構成されている、環状アザシラ化合物の製造方法であって、
    =SiY2 (I)
    =NR3 (II)
    [式中、
    Yは−NR12、水素、及びハロゲンから選択されており、
    1及びR2は水素、及び1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基から選択されており、
    3は1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基であり、
    ただし環中で一般式(I)の単位の少なくとも2つはSi−Si単結合で相互に結合されており、
    基Yの最大35mol%が水素であり、
    基Yの最大15mol%がハロゲンである]
    前記単位がSi−Si又はSi−Nの単結合によって結合されており、
    一般式(III)
    Y(SiY2mSiY3 (III)
    の直鎖状オリゴシランを、一般式(IV)
    X(H2NR3) (IV)
    のアミン塩と反応させる、
    [式中、
    Xはハロゲン原子であり、
    mの値は1、2、又は3であり、
    3及びYは、上記意味を有する]
    前記製造方法。
  6. Xが塩素原子である、請求項5に記載の方法。
  7. 一般式(I)の単位3個又は4個と、一般式(II)の単位1個又は2個から構成されている、環状アザシラ化合物の製造方法であって、
    =SiY2 (I)
    =NR3 (II)
    [式中、
    Yは−NR12、水素、及びハロゲンから選択されており、
    1及びR2は水素、及び1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基から選択されており、
    3は1〜20個の炭素原子を有する炭化水素基であり、
    ただし環中で一般式(I)の単位の少なくとも2つはSi−Si単結合で相互に結合されており、
    基Yの最大35mol%が水素であり、
    基Yの最大15mol%がハロゲンである]
    前記単位がSi−Si又はSi−Nの単結合によって結合されており、
    一般式(III)
    Y(SiY2mSiY3 (III)
    [式中、
    mの値は1、2、又は3であり、
    Yは上記意味を有する]
    の直鎖状オリゴシランを加熱する、前記製造方法。
  8. 前記反応の温度が少なくとも80℃である、請求項7に記載の方法。
  9. 塩基の存在下で反応を行う、請求項7又は8に記載の方法。
  10. 前記塩基がアミンである、請求項9に記載の方法。
  11. 溶剤を使用する、請求項5から10までのいずれか1項に記載の方法。
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