JP5367162B2 - レーザ切断方法及びレーザ切断装置 - Google Patents
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Description
0 < S ≦ D/n ・・・式(1)
P1 > P2 ≧ P1/n ・・・式(2)
0 < S ≦ D/n ・・・式(1)
P1 > P2 ≧ P1/n ・・・式(2)
2 レーザビーム
1 レーザ発振器
6 集光レンズ
30 駆動ミラー
40 テレセントリックfθレンズ
図1〜図5を参照して、実施の形態1を説明する。
0 < (各回の走査毎の走査位置の移動量S) ≦ D/n ・・・式(1)
ここで、移動量Sは、前回の走査経路上の任意の点をA点とし、A点における前回の走査経路の接線と直交する直線と今回の走査経路との交点をB点としたとき、A点とB点との距離に等しい。
P1 > (各回の走査毎のレーザビーム2のパワーP2) ≧ P1/n
・・・式(2)
D/6n ≦ (各回の走査毎の走査位置の移動量S) ≦ D/n ・・・式(3)
図6を参照して、実施の形態2を説明する。なお、実施の形態1と異なる部分を中心に説明し、実施の形態1と同様の部分の説明を省略する。
図7を参照して、実施の形態3を説明する。なお、実施の形態2と異なる部分を中心に説明し、実施の形態2と同様の部分の説明を省略する。
Claims (6)
- 集光位置におけるビーム径がDであってかつパワーがP1であるレーザビームを、1回走査することにより前記ワークの切断が可能である場合、以下の式(1)及び式(2)を満たすように、前記ワークに対する所定パワーP2のレーザビームの走査位置を各回の走査毎に所定移動量Sずつ前記ワークの面方向に移動させつつ前記ワークに対する前記所定パワーP2のレーザビームをn回走査することにより、前記ワークを切断することを特徴とするレーザ切断方法。
0 < S ≦ D/n ・・・式(1)
P1 > P2 ≧ P1/n ・・・式(2) - 前記所定移動量S又は前記所定パワーP2は、各回の走査毎の値が略同一であることを特徴とする請求項1記載のレーザ切断方法。
- 前記レーザビームは、休止時間の無いCW発振又は休止時間のあるパルス発振によるものであることを特徴とする請求項1記載のレーザ切断方法。
- レーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器が出射するレーザビームをワークに集光する集光レンズと、
レーザビームのパワーと前記ワークに対するレーザビームの走査位置とを制御する制御装置とを備え、
集光位置におけるビーム径がDであってかつパワーがP1であるレーザビームを、1回走査することにより前記ワークの切断が可能である場合、以下の式(1)及び式(2)を満たすように、前記ワークに対する所定パワーP2のレーザビームの走査位置を各回の走査毎に所定移動量Sずつ前記ワークの面方向に移動させつつ前記ワークに対する前記所定パワーP2のレーザビームをn回走査することにより、前記ワークを切断することを特徴とするレーザ切断装置。
0 < S ≦ D/n ・・・式(1)
P1 > P2 ≧ P1/n ・・・式(2) - 前記レーザ発振器と前記集光レンズとの間の光路上に設けられ、移動又は回転が可能な駆動ミラーを備えたことを特徴とする請求項4記載のレーザ切断装置。
- 前記集光レンズは、テレセントリックfθレンズであることを特徴とする請求項4記載のレーザ切断装置。
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