JP2011134955A - 板状材料からのチップ状部品の生産方法 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 26
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 88
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 114
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 10
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N gallium phosphide Chemical compound [Ga]#P HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJGDITRVXRPLBY-UHFFFAOYSA-N aluminum indium Chemical compound [Al].[In] AJGDITRVXRPLBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003346 selenoethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0095—Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
- B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/16—Composite materials, e.g. fibre reinforced
- B23K2103/166—Multilayered materials
- B23K2103/172—Multilayered materials wherein at least one of the layers is non-metallic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
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- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Dicing (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
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Abstract
【課題】サファイア層内から光線が効率よく出射されて高い輝度性能を発揮する発光デバイスを得ることができる板状材料からのチップ状部品の生産方法を提供する。
【解決手段】サファイア基板層2Aと発光層3Aとを有し、サファイア基板層2Aに分割予定ライン9によって多数の略正方形状の発光デバイス領域4Aが区画された発光デバイス素材1に対し、分割予定ライン9に沿ってレーザ光線を蛇行走査させて照射することによりレーザ加工を施し、この後、レーザ加工の加工軌跡に外力を与えて発光デバイス素材1を多数の発光デバイス4に分割する。発光デバイス4はサファイア層2の側面2fが断面波形状であるため、サファイア層2内の光線の反射角度が保存されにくく、サファイア層2内から光線が効率よく出射される。
【選択図】図7
【解決手段】サファイア基板層2Aと発光層3Aとを有し、サファイア基板層2Aに分割予定ライン9によって多数の略正方形状の発光デバイス領域4Aが区画された発光デバイス素材1に対し、分割予定ライン9に沿ってレーザ光線を蛇行走査させて照射することによりレーザ加工を施し、この後、レーザ加工の加工軌跡に外力を与えて発光デバイス素材1を多数の発光デバイス4に分割する。発光デバイス4はサファイア層2の側面2fが断面波形状であるため、サファイア層2内の光線の反射角度が保存されにくく、サファイア層2内から光線が効率よく出射される。
【選択図】図7
Description
本発明は、サファイア基板層と発光層とを有する板状材料を分割して発光デバイス等のチップ状部品を得る方法に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状の半導体ウェーハの表面に、格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域を区画し、これら領域にICやLSI等の電子回路を有するデバイスを形成する。そしてこの半導体ウェーハを分割予定ラインに沿って切断することにより、デバイスが形成された領域が複数の半導体チップとして分割される。また、サファイア基板の表面に発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)等の発光素子等が積層された光デバイスウェーハも、同様にして分割予定ラインに沿って切断することにより、個々の発光ダイオード等の発光デバイス(特許文献1等参照)に分割され、電子・電気機器に広く利用されている。
上述したウェーハの分割予定ラインに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、ウェーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された砥石ブレードとを備えた切削工具および回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んだ構成のものが知られている。
このような切削装置では、切削工具と、チャックテーブルに保持された被加工物とを相対的に切削送りしながら、20000〜40000rpm(revolution per minute)の回転速度で回転させた切削工具を被加工物に切り込ませることにより、被加工物が切断される。
一方、近年ではサファイア基板の表面に窒化物半導体等の発光素子が積層された光デバイスウェーハを分割する方法として、ウェーハに形成された分割予定ラインに沿ってパルスレーザ光線を照射することによりレーザ加工溝を形成し、次いでこのレーザ加工溝に外力を与えることによってウェーハを分割予定ラインに沿って割断する方法が提案されている(例えば特許文献2)。また、この種のウェーハをレーザ加工によって分割する他の方法として、透過性を有するパルスレーザ光線を基板の内部に集光点を合わせて照射して該内部に分割予定ラインに沿った変質層を連続的に形成し、この変質層で強度が低下したレーザ加工軌跡に外力を与えることによって基板を割断する方法も提案されている(特許文献3)。
上記特許文献1等に開示されるような、サファイア層の表面に発光層が積層された構造の発光デバイスにおいては、発光層で発光する光線がサファイア層に放射され、その光線がサファイア層から空気中に出射される。ところで、サファイアの屈折率はかなり大きく、これに起因して次のような問題が起こっていた。すなわち、発光層からサファイア層に出射された光線がサファイア層とサファイア層に隣接する層(例えば空気)との界面を透過するには、該界面の法線に対して所定の角度(サファイアと空気の界面である場合は34.5°)より小さい角度で界面に入射する必要があり、これより大きい角度で界面に入射した光線はサファイア層から出射されずにサファイア層中に閉じ込められてしまい、効率よくサファイア層から光線が出射されず輝度性能が低下するという問題である。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、サファイア層内から光線が効率よく出射されて高い輝度性能を発揮する発光デバイスを得ることができる板状材料からのチップ状部品の生産方法を提供することを目的としている。
本発明は、サファイア基板層と発光層とを有する板状材料を保持する保持手段と、該保持手段に保持された前記板状材料にレーザ光線を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段とを備えたレーザ加工装置によって、前記板状材料を分割してチップ状部品を得る板状材料からのチップ状部品の生産方法であって、前記保持手段に、前記板状材料を、前記発光層側を該保持手段に合わせ、かつ、前記サファイア基板層側を露出させた状態で保持する保持工程と、前記サファイア基板層側から、前記板状材料に形成された分割予定ラインに沿って前記レーザ光線を波形状またはジグザグ状に走査させて前記レーザ加工を施すレーザ加工工程と、該レーザ加工によって前記分割予定ラインに施された加工軌跡に対して外力を与えることにより前記板状材料を分割する分割工程とを含むことを特徴とする。
本発明の方法によれば、サファイア基板層が分割されたサファイア層の片面に発光層が積層された構造の複数のチップ状の発光デバイスが得られる。本発明で得られる発光デバイスのサファイア層は、レーザ加工による加工軌跡に沿って切断された複数の側面に囲繞されているが、その側面の断面形状は、加工軌跡に応じた波形状またはジグザグ状である。このため、サファイア層内において1つの側面(サファイア層に隣接する層との界面)に対する光線の入射角度が該側面を透過しない角度であっても、反射した後の次に入射する側面、あるいはその次に入射する側面では、該側面を透過可能な角度になりやすい。その結果、サファイア層内から出射する光線の量が多くなる。
本発明によれば、サファイア層内から光線が効率よく出射されて高い輝度性能を発揮する発光デバイスを製造することができるといった効果を奏する。
以下、図面を参照して、発光デバイス素材を分割して多数の発光デバイスを得る本発明の一実施形態を説明する。
(1)発光デバイス素材
図1は、一実施形態のウェーハ状の発光デバイス素材(板状材料)1を示している。この発光デバイス素材1は、図1(b)に示すように、サファイアからなる円板状のサファイア基板層2Aの表面(図1(b)では下側の面)2a全面に発光層3Aが積層された構成である。サファイア基板層2Aの裏面2bには、図1(a)に示すように、格子状に配列された複数の直線状の分割予定ライン9によって、略矩形状の多数の発光デバイス領域4Aが区画されている。
図1は、一実施形態のウェーハ状の発光デバイス素材(板状材料)1を示している。この発光デバイス素材1は、図1(b)に示すように、サファイアからなる円板状のサファイア基板層2Aの表面(図1(b)では下側の面)2a全面に発光層3Aが積層された構成である。サファイア基板層2Aの裏面2bには、図1(a)に示すように、格子状に配列された複数の直線状の分割予定ライン9によって、略矩形状の多数の発光デバイス領域4Aが区画されている。
発光層3Aは、この種のものとして一般周知のものであって、例えばバンドギャップ層、または量子井戸で構成されるが、これに限定されるものではなく、その材料は、III−V族、またはII−VI族の元素より構成された化合物、例えば、窒化インジウムガリウム(InGaN)、窒化ガリウム(GaN)、ガリウム砒素(GaAs)、窒化ガリウムインジウム(GaInN)、窒化アルミガリウム(AlGaN)、セレン化亜鉛(ZnSe)、亜鉛ドープの窒化インジウムガリウム(InGaN:Zn)、アルミニウムインジウムガリウムリン(AlInGaP)、またはガリウムリン(GaP)のいずれかを含む発光素子により構成される。これら材料のいずれかを含む発光素子としては、上記発光ダイオードやEL(Electro Luminescence)素子等が挙げられる。
本実施形態では、上記発光デバイス素材1を分割予定ライン9に沿って切断して分割し、多数に個片化した発光デバイス領域4Aを発光デバイスとして得る方法である。以下、その方法を説明する。
発光デバイス素材1は、図2に示すように、環状のフレーム11の内側の開口部11aに粘着テープ12を介して支持されて図3に示すレーザ加工装置20に供給され、このレーザ加工装置により、サファイア基板層2Aに対して分割の前工程であるレーザ加工が施される。フレーム11は、ステンレス等の剛性を有する金属板からなるものである。粘着テープ12は、合成樹脂シート等からなる基材の片面に粘着層が形成されたもので、粘着層を介してフレーム11の裏面に開口部11aを覆って貼着される。発光デバイス素材1は、フレーム11の開口部11aに同心状に配置され、発光層3A側が粘着テープ12の粘着層に貼着される。発光デバイス素材1は、フレーム11を取り扱うことにより搬送される。
(2)レーザ加工装置
続いて、図3を参照して、発光デバイス素材1の分割予定ライン9に沿ってレーザ加工を施すレーザ加工装置20を説明する。
続いて、図3を参照して、発光デバイス素材1の分割予定ライン9に沿ってレーザ加工を施すレーザ加工装置20を説明する。
(2−1)レーザ加工装置の構成
図3の符号21は基台であり、この基台21上には、XY移動テーブル22が、水平なX軸方向およびY軸方向に移動自在に設けられている。このXY移動テーブル22には、発光デバイス素材1を保持するチャックテーブル(保持手段)51が設置されている。チャックテーブル51の上方には、チャックテーブル51に保持された発光デバイス素材1に向けてレーザ光線を照射するレーザ加工手段60のレーザ光線照射部62が、チャックテーブル51に対向する状態に配設されている。
図3の符号21は基台であり、この基台21上には、XY移動テーブル22が、水平なX軸方向およびY軸方向に移動自在に設けられている。このXY移動テーブル22には、発光デバイス素材1を保持するチャックテーブル(保持手段)51が設置されている。チャックテーブル51の上方には、チャックテーブル51に保持された発光デバイス素材1に向けてレーザ光線を照射するレーザ加工手段60のレーザ光線照射部62が、チャックテーブル51に対向する状態に配設されている。
XY移動テーブル22は、基台21上にX軸方向に移動自在に設けられたX軸ベース30と、このX軸ベース30上にY軸方向に移動自在に設けられたY軸ベース40との組み合わせで構成されている。X軸ベース30は、基台21上に固定されたX軸方向に延びる一対の平行なガイドレール31に摺動自在に取り付けられており、モータ32でボールねじ33を作動させるX軸駆動機構34によってX軸方向に移動させられる。一方、Y軸ベース40は、X軸ベース30上に固定されたY軸方向に延びる一対の平行なガイドレール41に摺動自在に取り付けられており、モータ42でボールねじ43を作動させるY軸駆動機構44によってY軸方向に移動させられる。
Y軸ベース40の上面には、円筒状のチャックベース50が固定されており、このチャックベース50の上に、チャックテーブル51がZ軸方向(上下方向)を回転軸として回転自在に支持されている。チャックテーブル51は、真空吸引作用によりワーク(この場合は発光デバイス素材1)を吸着して保持する一般周知の真空チャック式のものである。チャックテーブル51は、チャックベース50内に収容された図示せぬ回転駆動手段によって一方向または両方向に回転駆動されるようになっている。チャックテーブル51の周囲には、上記フレーム11を着脱自在に保持する一対のクランプ52が、互いに180°離れた位置に配設されている。これらクランプ52は、チャックベース50に取り付けられている。
XY移動テーブル22においては、X軸ベース30がX軸方向に移動する時が、レーザ光線を分割予定ライン9に沿って照射する加工送りとされる。そして、Y軸ベース40がY軸方向に移動することにより、レーザ光線を照射する対象の分割予定ライン9を切り替える割り出しがなされる。なお、加工送り方向と割り出し方向は、この逆、つまり、Y軸方向が加工送り方向、X軸方向が割り出し方向に設定されてもよく、限定はされない。
レーザ加工手段60は、チャックテーブル51の上方に向かってY軸方向に延びる直方体状のケーシング61を有しており、このケーシング61の先端に、上記レーザ光線照射部62が設けられている。ケーシング61は、基台21に立設されたコラム23に、鉛直方向(Z軸方向)に沿って上下動可能に設けられており、コラム23内に収容された図示せぬ上下駆動手段によって上下動させられる。
ケーシング61内には、レーザ加工手段60の構成要素として、パルスレーザ光線発振器や、このパルスレーザ光線発振器が発振したレーザ光線の出力(パルスエネルギー)を調整するレーザ光線出力調整器等が収容されている。レーザ加工手段60によれば、レーザ光線照射部62からレーザ光線が下方に向けて照射されるようになっている。レーザ光線照射部62は、レーザ光線発振器で発振されたレーザ光線を下方に向けて方向転換させるミラーや、このミラーによって方向転換されたレーザ光線を集光する集光レンズ等を備えている。
ケーシング61の先端であってレーザ光線照射部62の近傍には、撮像手段70が配設されている。この撮像手段70は、レーザ光線照射部62から発光デバイス素材1に照射されるレーザ光線の照射領域を撮像して検出するものであり、チャックテーブル51に保持された発光デバイス素材1を照明する照明手段や光学系や、この光学系で捕らえられた像を撮像するCCD等からなる撮像素子等を備えている。この撮像手段70で撮像された画像情報は、制御手段80に供給されるようになっている。
制御手段80は、撮像手段70から供給された画像情報に基づき、上記チャックテーブル51の回転、X軸駆動機構34によるX軸ベース30の移動(加工送り)、Y軸駆動機構44によるY軸ベース40の移動(割り出し)、レーザ加工手段60によるレーザ光線照射といった動作を適宜に制御する。
(2−2)レーザ加工装置の動作
以上がレーザ加工装置20の構成であり、次いで、このレーザ加工装置20によって発光デバイス素材1のサファイア基板層2Aにレーザ加工を施す動作例を説明する。当該動作は、制御手段80によって自動制御されるものであり、本発明の方法を含む。
以上がレーザ加工装置20の構成であり、次いで、このレーザ加工装置20によって発光デバイス素材1のサファイア基板層2Aにレーザ加工を施す動作例を説明する。当該動作は、制御手段80によって自動制御されるものであり、本発明の方法を含む。
(2−2−1)発光デバイス素材の保持工程
はじめに、チャックテーブル51を真空運転し、図2に示したように粘着テープ12を介してフレーム11に支持された発光デバイス素材1を、発光層3A側をチャックテーブル51の表面に合わせ、かつ、サファイア基板層2A側を上方に露出させた状態として、チャックテーブル51に載置する。これにより発光デバイス素材1は、図4に示すように、粘着テープ12を介して発光層3A側がチャックテーブル51に真空吸引作用で吸着、保持される。また、フレーム11をクランプ52によって保持する。
はじめに、チャックテーブル51を真空運転し、図2に示したように粘着テープ12を介してフレーム11に支持された発光デバイス素材1を、発光層3A側をチャックテーブル51の表面に合わせ、かつ、サファイア基板層2A側を上方に露出させた状態として、チャックテーブル51に載置する。これにより発光デバイス素材1は、図4に示すように、粘着テープ12を介して発光層3A側がチャックテーブル51に真空吸引作用で吸着、保持される。また、フレーム11をクランプ52によって保持する。
次いで、XY移動テーブル22を適宜にX軸方向およびY軸方向に移動させてサファイア基板層2Aを撮像手段70の直下に移動させ、サファイア基板層2Aの露出面である裏面2bを撮像手段70で撮像する。制御手段80は、撮像されたサファイア基板層2Aの裏面2bの分割予定ライン9に基づき、チャックテーブル51を回転させてレーザ光線を照射する一方向に延びる分割予定ライン9を加工送り方向(X軸方向)と平行に設定するアライメント作業を行う。すなわち、一方向に延びる分割予定ライン9を加工送り方向と平行に設定する。
(2−2−2)レーザ加工工程
X軸ベース30をX軸方向に移動させて、発光デバイス素材1をレーザ光線照射部62の下方からX軸方向に外れた待機位置に位置付ける。また、Y軸ベース40を割り出し方向(Y軸方向)に移動させて、X軸方向に延びる1本の分割予定ライン9のY軸方向位置をレーザ光線照射部62から照射されるレーザ光線の集光点に合致させる割り出しを行う。さらに、ケーシング61の上下位置を調整して、レーザ光線照射部62から照射されるレーザ光線の集光点をレーザ加工に応じた高さ位置に定める。
X軸ベース30をX軸方向に移動させて、発光デバイス素材1をレーザ光線照射部62の下方からX軸方向に外れた待機位置に位置付ける。また、Y軸ベース40を割り出し方向(Y軸方向)に移動させて、X軸方向に延びる1本の分割予定ライン9のY軸方向位置をレーザ光線照射部62から照射されるレーザ光線の集光点に合致させる割り出しを行う。さらに、ケーシング61の上下位置を調整して、レーザ光線照射部62から照射されるレーザ光線の集光点をレーザ加工に応じた高さ位置に定める。
続いて、発光デバイス素材1がレーザ光線照射部62に向かう方向にX軸ベース30を移動させる加工送りを行いながら、レーザ光線照射部62からサファイア基板層2Aに向けてレーザ光線を照射する。この時、レーザ光線が分割予定ライン9に沿ってS字状の曲線が連続する波形状に走査されるように、レーザ光線の走査方向を左右に蛇行させる。
レーザ光線の走査方向を分割予定ライン9に沿った波形状に変化させるには任意の方法が採られるが、例えば、音響光学素子(AOD:Acoustic Optics Diode)を用いてレーザ光線自体の走査方向を変化させる方法が挙げられる。この他には、レーザ光線照射部62が備える上記ミラーの角度を調整してレーザ光線の反射角度を変えたり、レーザ光線照射部62が備える上記集光レンズを左右に振ったりする方法が挙げられる。
また、サファイア基板層2Aの分割予定ライン9に沿って施す本実施形態でのレーザ加工は、分割予定ライン9を弱化させる加工であり、サファイア基板層2Aの露出面である裏面2bに一定深さの溝を形成する溝加工や、サファイア基板層2Aの内部に脆弱な変質層を形成する加工などが選択される。
溝加工の場合は、図4に示すように、レーザ光線LBをサファイア基板層2Aの裏面2bから所定深さまで照射してサファイア基板層2Aの成分を溶融・蒸散させるアブレーション加工により、分割予定ライン9に沿った波形状の溝Gを形成する。
また、変質層を形成する場合には、図5に示すように、透過性を有するレーザ光線LBをサファイア基板層2Aの内部に集光点を合わせて照射し、該内部に分割予定ライン9に沿った波形状の変質層Pを形成する。なお、ここで言う変質層とは、密度、屈折率、機械的強度、あるいはその他の物理的特性が周囲とは異なる状態になった領域のことであり、例えば、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域等が挙げられ、さらにこれらの単独状態、または混在状態を含むものとされる。
なお、図4および図5の矢印F1はチャックテーブル51の移動方向であり、したがって矢印F2はレーザ光線LBの走査方向である加工送り方向である。また、図4および図5では、溝Gおよび変質層PはF2方向に直線的に示されているが、実際にはレーザ光線LBの走査方向が図面表裏方向に交互に変化しながらF2方向に蛇行していくため、溝Gおよび変質層Pも図面表裏方向に交互に屈曲する波形状となる。
上記のように1本の分割予定ライン9に沿って波形状にレーザ加工を施したら、次に、Y軸ベース40を割り出し方向に移動させて、先にレーザ加工を施した分割予定ライン9に隣接する分割予定ライン9のY軸方向位置をレーザ光線の集光点に合致させる割り出しを行う。続いて、発光デバイス素材1を加工送りしながら、上記と同様にして、割り出された分割予定ライン9に沿って波形状にレーザ光線を照射する。このように、分割予定ライン9に沿ってレーザ光線を照射する加工送りと、Y軸方向のレーザ光線照射位置を定める割り出しを交互に繰り返し行い、X軸方向と平行にされた一方向に延びる全ての分割予定ライン9に沿ってレーザ光線を波形状に走査させてレーザ加工を施す。
次に、チャックテーブル51を90°回転させて、レーザ加工が施された分割予定ライン9に直交する方向に延びる分割予定ライン9を、X軸方向と平行に設定するアライメント作業を行う。この後は、上記と同様にして、X軸方向と平行にされた全ての分割予定ライン9に沿ってレーザ光線を波形状に照射してレーザ加工を施す。これにより、図6に示すように全ての分割予定ライン9に沿ってレーザ加工が波形状に施される。図6は、サファイア基板層2Aの露出面(裏面2b)に図4に示した溝Gを波形状に形成した例を示しており、溝Gは、図6(b)に示すように分割予定ライン9を縫うように蛇行して形成される。
(3)分割工程
以上によってサファイア基板層2Aには分割予定ライン9に沿って波形状にレーザ加工が施され、したがってサファイア基板層2Aの1つ1つの発光デバイス領域4Aは、レーザ加工による波形状の加工軌跡(図4に示した溝G、または図5に示した変質層P)に囲繞された状態となっている。本実施形態では、次に、これら分割予定ライン9に沿った加工軌跡に外力を与え、発光デバイス素材1を加工軌跡に沿って割断する。これにより、各発光デバイス領域4Aは図8に示す発光デバイス4に個片化される。すなわち、ウェーハ状の発光デバイス素材1は多数のチップ状の発光デバイス4に分割される。
以上によってサファイア基板層2Aには分割予定ライン9に沿って波形状にレーザ加工が施され、したがってサファイア基板層2Aの1つ1つの発光デバイス領域4Aは、レーザ加工による波形状の加工軌跡(図4に示した溝G、または図5に示した変質層P)に囲繞された状態となっている。本実施形態では、次に、これら分割予定ライン9に沿った加工軌跡に外力を与え、発光デバイス素材1を加工軌跡に沿って割断する。これにより、各発光デバイス領域4Aは図8に示す発光デバイス4に個片化される。すなわち、ウェーハ状の発光デバイス素材1は多数のチップ状の発光デバイス4に分割される。
分割予定ライン9に沿って形成されたレーザ加工による波形状の加工軌跡に外力を与える方法としては、粘着テープ12を全体的に径方向外方に引っ張って拡張するといった方法が好適に採用される。この方法は、例えば特開2007−27250号公報や特開2008−140874号公報等に開示される拡張装置を用いて実施することが可能である。また、加工軌跡が折り目となるように折る力を与える方法でも、発光デバイス素材1を分割することができる。
図7は、分割予定ラインに沿って波形状の溝をレーザ加工により形成した後、粘着テープを拡張して発光デバイス素材を分割した状態の実例を示している。この場合、発光デバイス領域は正方形状であって、一辺を形成する溝は例えば10前後の屈曲部が交互に形成された波形状であり、その一辺の長さは例えば0.3mm程度である。
(4)発光デバイス
続いて、上記のようにして発光デバイス素材1を分割して得られた発光デバイス4について説明する。
続いて、上記のようにして発光デバイス素材1を分割して得られた発光デバイス4について説明する。
(4−1)発光デバイスの構成
発光デバイス4は、図8((a)斜視図、(b)側面図、(c)平面図)に示すように、上記サファイア基板層2Aが個片化されてなるサファイア層2の表面(図8(a),(b)では下側の面)2cに発光層3が積層された構成である。
発光デバイス4は、図8((a)斜視図、(b)側面図、(c)平面図)に示すように、上記サファイア基板層2Aが個片化されてなるサファイア層2の表面(図8(a),(b)では下側の面)2cに発光層3が積層された構成である。
図8(c)に示すように、発光デバイス4は、サファイア層2と発光層3の積層方向から見た平面視が略正方形状であるが、四辺は直線ではなく、レーザ加工による加工軌跡に対応した波形状である。サファイア層2はこのような略正方形状の表面2cおよび裏面2dを有し、これら表面2cと裏面2dとの間に、裏面2dの4つの各辺2eから発光層3に至る4つの側面2f(図9で2f−1〜4)がそれぞれ形成された構成である。そしてこのサファイア層2の表面2cに、同一の断面形状を有する発光層3が積層されている。
この発光デバイス4によれば、発光層3が発光することにより、発光層3から放射される光線がサファイア層2内を透過して、裏面2dおよび各側面2fからサファイア層2の外(例えば空気中)に出射する。
(4−2)発光デバイスの作用効果
図9に示すように、本実施形態の発光デバイス4のサファイア層2は、上記4つの側面2fに囲繞された構成である。これら側面2fは上記加工軌跡に沿って切断された切断面であり、したがってその断面形状は加工軌跡に応じた波形状である。このため、サファイア層2内からの光線の出射量が多くなるという作用効果が得られる。
図9に示すように、本実施形態の発光デバイス4のサファイア層2は、上記4つの側面2fに囲繞された構成である。これら側面2fは上記加工軌跡に沿って切断された切断面であり、したがってその断面形状は加工軌跡に応じた波形状である。このため、サファイア層2内からの光線の出射量が多くなるという作用効果が得られる。
その理由を述べると、図10は四辺が直線である断面正方形状のサファイア層2’を示しており、このサファイア層2’内で光線Lが側面2f’に入射した場合において、光線Lが側面2f’、すなわちサファイア層2’と例えば空気との界面を透過して空気中に出射することが可能な臨界角度(界面の法線に対する角度)θは、両者の屈折率に基づき約34.5°と比較的小さい。この臨界角度θ内の角度で光線Lが側面2f’に入射すれば光線Lは側面2f’を透過するが、臨界角度θ以上の角度で側面2f’に入射した光線Lは反射する。そして、場合によっては反射角度が保存され、反射を繰り返していずれはサファイア層2’内で消光する。
しかしながら、図9に示す本実施形態のサファイア層2にあっては、側面2fが波形状となっているため、1つの側面2f−1に臨界角度θ以上の角度で入射して反射した光線L1は、次に入射する側面2f−2に対しては臨界角度θ内の角度で入射し、この側面2f−2を透過する。また、側面2f−1に対し異なる位置において臨界角度θ以上で入射して反射した光線L2は、側面2f−2に入射して反射するが、次に入射する側面2f−3に対しては臨界角度θ内の角度で入射したため、この側面2f−3を透過する。
本実施形態の発光デバイス4によれば、上記のようにサファイア層2内において1つの側面2fに対する光線の入射角度がその側面2fを透過せず反射が保存される角度であっても、反射した後の次に入射する側面2f、あるいはその次に入射する側面2fでは入射角度が透過可能な角度になりやすい。したがって、反射角度が保存されることが少なくなる。その結果、サファイア層2内から出射する光線の量が多くなり、サファイア層2内から効率よく光線Lが出射して高い輝度性能が発揮される。
換言すると、図11に示すようにある発光点L0から発せられた光線がサファイア層2から出射するには、図中Eで示すエスケープコーンと一般に呼ばれている範囲を進行する必要がある。このエスケープコーンEは、発光点L0から発せられた光線がサファイア層2とサファイア層2に隣接する層との界面を透過し得る範囲を指しており、本発明は、サファイア層2の側面の断面形状が波形状(あるいはジグザグ状)であることにより、このエスケープコーンEを広げることができると考えられる。
(5)本発明の別形態
図8に示した発光デバイス4は、サファイア層2側の端面から発光層3側の端面まで側面全体が断面波形状であるが、上記分割工程での発光デバイス素材1の分割状況によっては、側面全体が断面波形状になるとは限らない。例えば図12に示すように、サファイア層2の側面2fの、サファイア層2側の端面(図で上面の裏面2d)から発光層3に至る途中まで断面波形状であり、そこから発光層3側の端面までは平坦であるような形状になる場合もある。本発明では、このようにサファイア層2の側面の一部の断面形状が波形状あるいはジグザグ状であるものも含む。
図8に示した発光デバイス4は、サファイア層2側の端面から発光層3側の端面まで側面全体が断面波形状であるが、上記分割工程での発光デバイス素材1の分割状況によっては、側面全体が断面波形状になるとは限らない。例えば図12に示すように、サファイア層2の側面2fの、サファイア層2側の端面(図で上面の裏面2d)から発光層3に至る途中まで断面波形状であり、そこから発光層3側の端面までは平坦であるような形状になる場合もある。本発明では、このようにサファイア層2の側面の一部の断面形状が波形状あるいはジグザグ状であるものも含む。
また、上記実施形態では、レーザ加工による加工軌跡を曲線が連続する波形状としているが、本発明の加工軌跡は、直線が何回も折れ曲がったジグザグ状であるものも含む。加工軌跡がジグザグ状である場合には、発光デバイス素材1が分割されて得られる発光デバイス4は、図13に示す発光デバイス4のようにサファイア層2の側面の断面形状がジグザグ状に形成されたものとなる。
1…発光デバイス素材(板状材料)
2…サファイア層
2f…サファイア層の側面
2A…サファイア基板層
3…発光層
3A…発光層
4…発光デバイス
4A…発光デバイス領域
9…分割予定ライン
20…レーザ加工装置
51…チャックテーブル(保持手段)
60…レーザ加工手段
G…溝(加工軌跡)
LB…レーザ光線
P…変質層(加工軌跡)
2…サファイア層
2f…サファイア層の側面
2A…サファイア基板層
3…発光層
3A…発光層
4…発光デバイス
4A…発光デバイス領域
9…分割予定ライン
20…レーザ加工装置
51…チャックテーブル(保持手段)
60…レーザ加工手段
G…溝(加工軌跡)
LB…レーザ光線
P…変質層(加工軌跡)
Claims (1)
- サファイア基板層と発光層とを有する板状材料を保持する保持手段と、該保持手段に保持された前記板状材料にレーザ光線を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段とを備えたレーザ加工装置によって、前記板状材料を分割してチップ状部品を得る板状材料からのチップ状部品の生産方法であって、
前記保持手段に、前記板状材料を、前記発光層側を該保持手段に合わせ、かつ、前記サファイア基板層側を露出させた状態で保持する保持工程と、
前記サファイア基板層側から、前記板状材料に形成された分割予定ラインに沿って前記レーザ光線を波形状またはジグザグ状に走査させて前記レーザ加工を施すレーザ加工工程と、
該レーザ加工によって前記分割予定ラインに施された加工軌跡に対して外力を与えることにより前記板状材料を分割する分割工程と
を含むことを特徴とする板状材料からのチップ状部品の生産方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009294419A JP2011134955A (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 板状材料からのチップ状部品の生産方法 |
US12/968,851 US8071464B2 (en) | 2009-12-25 | 2010-12-15 | Manufacturing method for light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009294419A JP2011134955A (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 板状材料からのチップ状部品の生産方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011134955A true JP2011134955A (ja) | 2011-07-07 |
Family
ID=44188039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009294419A Pending JP2011134955A (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 板状材料からのチップ状部品の生産方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8071464B2 (ja) |
JP (1) | JP2011134955A (ja) |
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JP7060810B2 (ja) | 2019-11-19 | 2022-04-27 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置および発光装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110159621A1 (en) | 2011-06-30 |
US8071464B2 (en) | 2011-12-06 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140326 |