JP2004006662A - 窒化ガリウム系化合物半導体素子 - Google Patents
窒化ガリウム系化合物半導体素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004006662A JP2004006662A JP2003040300A JP2003040300A JP2004006662A JP 2004006662 A JP2004006662 A JP 2004006662A JP 2003040300 A JP2003040300 A JP 2003040300A JP 2003040300 A JP2003040300 A JP 2003040300A JP 2004006662 A JP2004006662 A JP 2004006662A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallium nitride
- compound semiconductor
- layer
- based compound
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】上記目的を達成するため、基板上に窒化ガリウム系化合物半導体が積層されてなる発光素子において、前記窒化ガリウム系化合物半導体素子の側面が凹凸を有することを特徴とし、前記凹凸のサイズが70nm以上であり、前記凹凸がエピ部分、及び/又は、基板部分に形成されていることにより取り出し効率が向上した。
【選択図】 図1
Description
【産業上の利用分野】
本発明は基板上に一般式InXAlYGa1−X−YN(0≦X<1、0≦Y<1)で表される窒化ガリウム系化合物半導体が積層されてなる窒化ガリウム系化合物半導体素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
GaN、GaAlN、InGaN、InAlGaN等の窒化ガリウム系化合物半導体は直接遷移を有し、バンドギャップが1.95eV〜6eVまで変化し、その発光色は紫外から赤色にまで及ぶため、発光ダイオード、レーザダイオード等、発光素子の材料として有望視されている。その窒化ガリウム系化合物半導体よりなる発光素子は、一般にMOCVD、MBE、HVPE法等の気相成長法を用いて基板上にn型及びp型、あるいはi型に成長して積層し、電極を形成すべき層から電極を取り出した後、チップ状としてリードフレームに固定し、最後にエポキシ等の樹脂で封止することによって得られる。
【0003】
しかしながら、その窒化ガリウム系化合物半導体素子は、基板との屈折率の関係で発光した光が窒化ガリウム系化合物半導体を導波するか、基板部分を導波するかが決まる。サファイア基板のように窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が低いものを使用すると、光が窒化ガリウム系化合物半導体を導波し、GaN基板のように窒化ガリウム系化合物半導体と同程度の屈折率の基板を使用すると、光が窒化ガリウム系化合物半導体と基板部分の両方を導波し、SiC基板のように窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が高いものを使用すると、光が基板部分を導波する。
【0004】
前記のように異種基板の上に、窒化ガリウム系化合物半導体という全く異なる材料を積層するいわゆるヘテロエピタキシャル構造をとる場合、他のGaAs、GaP等、同一材料の上に積層される発光素子に比して、基板とエピタキシャル膜との屈折率の違いにより外部量子効率が悪くなるという欠点を有している。具体的にはサファイアやSiC等基板と窒化ガリウム系化合物半導体との屈折率の違い、および窒化ガリウム系化合物半導体素子とそれを封止する樹脂との屈折率の違いにより、窒化ガリウム系化合物半導体の発光がそれらの界面で多重反射されて、反射光は窒化ガリウム系化合物半導体内部で吸収されてしまい、発光を効率よく外部に取り出せないという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
窒化ガリウム系化合物半導体基板と窒化ガリウム系化合物半導体素子、および封止樹脂との多重反射を抑制し、外部量子効率を向上させて、発光効率を向上させることができる。従って、本発明はこのような事情を鑑み成されたものであり、その目的とするところは、窒化ガリウム系化合物半導体内部の光の多重反射を抑えることにより、窒化ガリウム系化合物半導体素子の外部量子効率を向上させることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
我々は窒化ガリウム系化合物半導体内部の多重反射を抑制し、外部量子効率を上げるため数々の実験を行ったところ、内部で反射する光を窒化ガリウム系化合物半導体の側面で乱反射させることにより、上記問題が解決できることを新たに見いだした。よって、窒化ガリウム系化合物半導体基板上に窒化ガリウム系化合物半導体が積層されてなる発光素子において、前記窒化ガリウム系化合物半導体素子の側面が凹凸を有することを特徴とする。これにより光取り出し面方向に放射された光の取り出し面における全反射が抑制され、光の取り出し効率がよくなる。特に、前記凹凸の高さが35nm以上であると効果が顕著に現れる。これは凹凸の高さ(図8(b),図9(b)において定義)がλ/2n(λ:波長、n:屈折率)以上でより効果的であるためである。凹凸高さがλ/2nより小さければ光が乱反射しにくくなるため、光の波長と屈折率から35nm以上でより効果的になる。凹凸の角度は図7(b),図8(b)において定義する。0°〜90°までの角度を取ることができる。0°は全く加工なしの状態を意味し、90°は作製不可能である。
凹凸形状は図8と図9のようなパターンが代表的であるが、これらの形状に限定されない。単に定義するために特定形状にしただけであり、光の進行方向を変化させるような凹凸形状であれば全て含まれる。図8形状を狙ってマスクを施し、エッチングを行っても程度の差はあるが角が丸められ図9形状に近付く方向にある。図9は出射端面からの光の指向性が高まる。すなわち図8においては凹凸から発生した光が隣接する凸部に最入射する問題があるが、図9形状においては程度の差はあるがそのような問題は発生し難く、本願発明をより有効に発現させることが可能になる。
【0007】
また、本発明にかかる窒化ガリウム系化合物半導体素子は、前記凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体、及び/又は、基板部分に形成されている。窒化ガリウム系化合物半導体のみに凹凸を形成するか、基板部分のみに凹凸を形成するか、窒化ガリウム系化合物半導体と基板部分の両方に凹凸を形成するかは加工のしやすさや、相対屈折率によって変わる。図1のように凹凸形成を行おうとしてもエッチング条件によっては図5のような凹凸形状になる場合がある。これは電極面側からエッチングしており、P電極に近い側ほどエッチング環境にさらされるためであるが、これにより凹凸加工がメサ状になりp電極側への光の指向性が向上し、フェイスアップ実装するに当たり有利に作用する。逆にフェイスダウン実装をする場合は基板側からエッチングし、凹凸加工をメサ状にするのがより有効になり好ましい。
【0008】
また、本発明にかかる窒化ガリウム系化合物半導体素子は、前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が低い場合においては、窒化ガリウム系化合物半導体にのみ凹凸を有する。また、前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体と屈折率が同程度である場合においては、窒化ガリウム系化合物半導体及び基板部分に凹凸を有する。また、前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が高い場合においては、基板部分にのみ凹凸を有する。光は屈折率の高い部分を優先的に導波するため、屈折率の高い部分の側面にのみ凹凸を有すると効果はある。もちろん屈折率の低い部分も少なからず光が導波するため、屈折率の低い部分の側面に凹凸を有するとより一層効果が上がる。
【0009】
また、本発明にかかる窒化ガリウム系化合物半導体素子は、前記凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体に形成されており、かつ、該凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体最表面より少なくとも活性層まで形成されている。活性層で発光した光が、横方向に導波した場合、少なくとも活性層の側面まで凹凸を形成していると最表面で乱反射して量子効率が向上する。
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施の形態の窒化ガリウム系化合物半導体素子について説明する。
【0010】
図1,2,3,4,5は、本発明に係る窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式的斜視図である。
図6は、本発明に係る窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式的断面図である。
図7は、従来の窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式的斜視図である。
図8は凹凸形状を三角形状にした場合の図である。(a)は、端面加工を施した窒化ガリウム系化合物半導体の端面加工部に着目した平面図である。(b)は、凹凸を特定するための高さと角度を定義付けした図である。
図9は凹凸形状を波型形状にした場合の図である。(a)は、端面加工を施した窒化ガリウム系化合物半導体の端面加工部に着目した平面図である。(b)は、凹凸を特定するための高さと角度を定義付けした図である。
図10は、窒化ガリウム系化合物半導体素子の凹凸形状(高さ・角度)と効率アップを示す図である。
図11は、凹凸の角度と光の取り出し効率のAir封止とEpoxy封止の相関図である。
図12は、凹凸の角度と効率アップのAir封止とEpoxy封止の相関図である。
尚、本実施の形態の窒化ガリウム系化合物半導体素子は、本発明の第1の窒化ガリウム系化合物半導体素子に関係した素子であるが、本発明に係る第1の窒化ガリウム系化合物半導体素子は、以下に説明する実施の形態の素子構造に限定されるものではない。
本実施の形態の窒化ガリウム系化合物半導体素子は、図6に示すように、基板1上に、バッファ層2、アンドープGaN層3、n型不純物を含むn型コンタクト層4、アンドープの下層5a、n型不純物ドープの中間層5b及びアンドープの上層5cの3層からなるn側第1多層膜5、第3及び第4の窒化物半導体層よりなるn側第2多層膜層6、多重量子井戸構造の活性層7、p型不純物を中濃度ドープの多層膜又は単一膜のp型クラッド層8、p型不純物を低濃度ドープのp型低濃度ドープ層9、p型不純物を高濃度ドープのp型コンタクト層10が順に積層された構造を有する。
更にn型コンタクト層4上にn電極13を介しnパッド電極14が、p型コンタクト層10上にp電極11を介しpパッド電極12がそれぞれ形成されている。
更に窒化ガリウム系化合物半導体素子の側面に凹凸を形成する。
以下、本実施の形態の窒化ガリウム系化合物半導体素子の各要素について詳細に説明する。
【0011】
本発明において、基板1としては、サファイアC面、R面又はA面を主面とするサファイア、その他、スピネル(MgA12O4)のような絶縁性の基板の他、SiC(6H、4H、3Cを含む)、Si、ZnO、GaAs、GaN等の半導体基板、ZrB2等の半金属基板を用いることができる。
【0012】
本発明において、バッファ層2としては、一般式GadAl1−dN(但しdは0<d≦1の範囲である。)で表される窒化物半導体を用いることができるが、結晶性の良好な層とするために、Alの割合0.05〜0.8の範囲が好ましい。
バッファ層2の膜厚は、0.002〜0.5μmとし、成長温度は、バッファ層2を良好な多結晶として形成し、この多結晶を種結晶としてバッファ層2の上に結晶性を良好な窒化物半導体を成長させるために、200〜900℃の範囲で設定する。
【0013】
バッファ層2上にアンドープGaN層3を成長させると結晶性の良好なアンドープGaN層3を形成することができ、そのアンドープGaN層3上に成長させるn側コンタクト層4などの結晶性も良好にできる。このアンドープGaN層3の膜厚は1μm以上とする。膜厚をこの範囲に設定すると、n側コンタクト層4及びその上に形成する層を結晶性良く成長できる。
【0014】
次に、本発明において、n型不純物を含むn型コンタクト層4は、n型不純物を5×1018/cm3以上の濃度で含有する。
【0015】
n型コンタクト層4は、一般式IneAlfGa1−e−fN(0≦e、0≦f、e+f≦1)で表される材料で構成できるが、結晶欠陥の少ない窒化物半導体層を得るために、GaN又はf値0.2以下のAlfGa1−fNとすることが好ましい。また、n型コンタクト層4の膜厚は1〜10μmとする。
【0016】
次に、本実施の形態において、n側第1多層膜層5は、基板側から、アンドープの下層5a、n型不純物ドープの中間層5b、アンドープの上層5cの3層から構成されている。
これら下層5a〜上層5cを構成する窒化物半導体としては、IngAlhGa1−g−hN(0≦g<1、0≦h<1)で表される種々の組成の窒化物半導体を用いることができる。
【0017】
本発明において、n側第1多層膜層5の膜厚は2000〜6000オングストロームとする。
第1多層膜層5の膜厚は、下層5a、中間層5b、及び上層5cの各膜厚を適宜調整することにより、総膜厚を前記の範囲とすることができる。
【0018】
アンドープの下層5aの膜厚は1000〜5000オングストロームとする。
【0019】
n型不純物ドープの中間層5bの膜厚は150〜400オングストロームとする。この不純物がドープされた中間層5bは、キャリア濃度を十分高くして発光出力を比較的大きくする機能を有する層であり、この層を形成しない発光素子は、形成した発光素子に比べて発光出力が低下する。
また、膜厚が1000オングストロームを超えると逆に発光出力が低下する。n型不純物のドープ量は5×1018/cm3以上の濃度とする。
【0020】
アンドープの上層5cの膜厚は25〜150オングストロームとする。このアンドープの上層5cは、リーク電流の防止に大きく関与する層である。
【0021】
次に、本発明において、n側第2多層膜層6は、Inを含む第3の窒化物半導体層と、その第3の窒化物半導体層と異なる組成を有する第4の窒化物半導体層とを積層することにより構成する。このn側第2多層膜層6において、第3の窒化物半導体層、第4の窒化物半導体層はそれぞれ少なくとも2層以上積層し合計で4層以上積層する。
n側第2多層膜層6において、第3の窒化物半導体層と第4の窒化物半導体層の内の少なくとも一方の膜厚は50オングストローム以下にする。
【0022】
例えば、第3の窒化物半導体層をInGaNとし、第4の窒化物半導体層をGaNとした場合、InGaNからなる第3の窒化物半導体層のInの組成比を、活性層に接近するに従って次第に多くしたり、また少なくしたりすることにより、実質的に組成傾斜した窒化物半導体層を形成することができ、多層膜層内部において屈折率を変化させることができる。なおIn組成比が減少するに従い、屈折率は小さくなる。
【0023】
本発明において、多重量子井戸構造の活性層7は、In及びGaを含有する窒化物半導体、InaGa1−aN(0≦a<1)で形成される。
【0024】
井戸層の膜厚としては10〜50オングストロームに調整する。
一方、障壁層の厚さは10〜300オングストロームに調整する。障壁層の膜厚を前記範囲とすると出力を向上させることができる。
【0025】
本発明において、p型クラッド層8は、p型低濃度ドープ層9とp型コンタクト層10との中間の濃度(中濃度ドープ)となるように構成される。
【0026】
多層膜p型クラッド層8の多層膜を構成する第1、第2の窒化物半導体層の膜厚は、10〜40オングストロームの膜厚に調整され、第1窒化物半導体層と第2の窒化物半導体層との膜厚は、同一でも異なっていてもよい。このような膜厚の2種類の層を1ペアとして複数回積層して多層膜層を形成する。そして、多層膜p型クラッド層8の総膜厚の調整は、この第1及び第2の窒化物半導体層の各膜厚を調整し積層回数を調整することにより行う。多層膜p型クラッド層8の総膜厚は、特に限定されないが、500オングストローム以下である。
第1の窒化物半導体層は少なくともAlを含む窒化物半導体、好ましくはAlnGa1−nN(0<n≦1)を成長させることが望ましく、第2の窒化物半導体は好ましくはAlpGa1−pN(0≦p<1、n>p)、InrGa1−rN(0≦r≦1)のような2元混晶、3元混晶の窒化物半導体を成長させることが望ましい。
【0027】
前記p型クラッド層にドープされるp型不純物としては、Mg、Zn、Ca、Be等の周期律表第IIA族、IIB族元素を選択し、好ましくはMg、Ca等をp型不純物とする。
【0028】
次に、本発明において、p型不純物を低濃度でドープしたp型低濃度ドープ層9は、一般式InrAlsGa1−r−sN(0≦r<1、0≦s<1、r+s<1)で表される種々の窒化物半導体を用いて形成することができるが、好ましくはInrGa1−rN(0≦r<1)又はAlsGa1−sN(0≦s<1)で表される3元混晶の窒化物半導体、より好ましくは結晶性の点から2元混晶のGaNよりなる窒化物半導体を用いて形成する。
【0029】
本発明において、p型低濃度ドープ層9の膜厚は、1000〜4000オングストロームに設定する。
【0030】
次に、本発明において、p型不純物の高濃度ドープのp型コンタクト層10は、前記低濃度ドープ層9と同様に、一般式InrAlsGa1−r−sN(0≦r<1、0≦s<1、r+s<1)で表される窒化物半導体を用いて形成することができるが、結晶性の良好な層を形成するために、好ましくは3元混晶の窒化物半導体、より好ましくはIn、Alを含まない二元混晶のGaNからなる窒化物半導体とする。更にp型コンタクト層10をIn、Alを含まない2元混晶とすると、p電極11とのオーミック接触をより良好とでき、発光効率を向上させることができる。
p型コンタクト層10の膜厚は、0.05〜0.2μmとする。
【0031】
反応終了後、反応容器内において、ウエハを窒素雰囲気中、700℃でアニーリングを行い、p型層を更に低抵抗化する。
【0032】
以上のようにして窒化物半導体を成長させ各層を積層した後、ウエハを反応容器から取り出し、最上層のp型コンタクト層の表面にSiO2よりなる保護膜を形成して、RIE(反応性イオンエッチング)を用いSiCl4ガスによりエッチングし、n電極を形成すべきn型コンタクト層4の表面を露出させる。エッチング時のマスクパターンを工夫することによって、窒化ガリウム系化合物半導体側面や基板側面に凹凸を形成することができる。
【0033】
また、窒化ガリウム系化合物半導体側ではなく、基板側にのみ凹凸を形成する場合は、n型コンタクト層を表面に露出させる前後に基板側から特定形状の保護膜を形成し、エッチングする。凹凸のサイズは発光波長と屈折率に依存する。すなわち凹凸の高さがλ/2n(λ:波長、n:屈折率)以上でより効果的であるためである。これよりも凹凸が小さければ光が凹凸を感じにくくなり乱反射しにくくなる。この原理により35nm以上の凹凸が有効になるが、これは上記の式に窒化ガリウム系化合物半導体の中で最も短い値である200nm(200〜635nm)を、屈折率としてはSiC:約2.8、GaN:約2.5、AlN:約2.2、サファイア:約1.8であるため最も大きな値である約2.8を代入すると約35nmになる。確かに種々測定の結果、35nmを境に光の取り出し効率がアップしている。上限は一概に言えないが、チップサイズと同等ぐらいである。これ以上のサイズになると発光部分よりも凹凸部分の方が大きくなり光の取り出し効率そのものはアップするが単位体積あたりの能力は低下(発光部分が相対的に少なくなるため)する。
【0034】
次に凹凸を形成する部位であるが、エピ部分と基板部分が考えられる。光はそもそも屈折率の高いところを伝播する性質があるため、エピと基板に屈折率差があるときは屈折の高い部分に凹凸を付けることで取り出し効率を高めることが出来る。すなわちエピ部分は主成分がGaNであるから2.0であるが、その基板として種々考えられるが、上記したSiC、GaN、サファイアが代表的である。SiCを使用する場合は、(基板の屈折率>エピの屈折率)になるから、基板側に凹凸を設けることが有効である。基板にGaNを使用する場合は、(基板の屈折率≒エピの屈折率)になるから、基板とエピの両方に凹凸を設けることが有効である。基板にサファイアを使用する場合は、(基板の屈折率<エピの屈折率)になるから、エピ側に凹凸を設けることが有効である。凹凸は周期的である必要が無く、サイズを揃える必要も無い。また、基板とエピの両方に凹凸を有する場合はむしろ基板とエピの屈折率の差を考慮して凹凸のサイズを変更するのが好ましい。
【0035】
また、(基板の屈折率<エピの屈折率)でエピ側に凹凸を設ける場合、少なくとも活性層まで形成されている方がより効果的である。基板とエピの屈折率と凹凸の関係は前述したが、エピ内でも同様のことが言える。すなわち、エピ内において活性層は屈折率が高くなっている。よって、活性層で発光した光は活性層内部を積層方向に対し水平に伝播する傾向にある。よって、活性層の部位に凹凸があるとより効果的である。
【0036】
サファイア等の絶縁基板を使用する場合やGaN基板を使用する場合は、pn両電極がGaN表面に形成されることになる。n型GaN層の表面にはTiとAlよりなるn電極が形成され、p型GaNの表面にはNiとAuよりなるp電極が形成される。この電極材料を選択することにより、n電極およびp電極はそれぞれの層と良好なオーミック接触が得られ、If20mAにおいて、Vf3.6Vと非常に良好な特性を示している。
一方、導電性異種基板の裏面に電極を形成する場合は当該基板とのオーミック性を考慮して電極材を適宜選択する必要がある。
【0037】
【実施例】
以下に本発明に係る実施例を示すが、本発明はこれに限定されない。
[実施例1]
図6を元に実施例1について説明する。
サファイア(C面)よりなる基板1をMOVPEの反応容器内にセットし、水素を流しながら、基板の温度を1050℃まで上昇させ、基板のクリーニングを行う。
【0038】
(バッファ層2)
続いて、温度を510℃まで下げ、キャリアガスに水素、原料ガスにアンモニアとTMG(トリメチルガリウム)とを用い、基板1上にGaNよりなるバッファ層2を約100オングストロームの膜厚で成長させる。
【0039】
(アンドープGaN層3)
バッファ層2成長後、TMGのみ止めて、温度を1050℃まで上昇させる。1050℃になったら、同じく原料ガスにTMG、アンモニアガスを用い、アンドープGaN層3を1.5μmの膜厚で成長させる。
【0040】
(n型コンタクト層4)
続いて1050℃で、同じく原料ガスにTMG、アンモニアガス、不純物ガスにシランガスを用い、Siを4.5×1018/cm3ドープしたGaNよりなるn型コンタクト層4を2.265μmの膜厚で成長させる。
【0041】
(n型第1多層膜層5)
次にシランガスのみを止め、1050℃で、TMG、アンモニアガスを用い、アンドープGaNからなる下層5aを2000オングストロームの膜厚で成長させ、続いて同温度にてシランガスを追加しSiを4.5×1018/cm3ドープしたGaNからなる中間層5bを300オングストロームの膜厚で成長させ、更に続いてシランガスのみを止め、同温度にてアンドープGaNからなる上層5cを50オングストロームの膜厚で成長させ、3層からなる総膜厚2350オングストロームの第1多層膜層5を成長させる。
【0042】
(n型第2多層膜層6)
次に、同様の温度で、アンドープGaNよりなる第4の窒化物半導体層を40オングストローム成長させ、次に温度を800℃にして、TMG、TMI、アンモニアを用い、アンドープIn0.13Ga0.87Nよりなる第3の窒化物半導体層を20オングストローム成長させる。そしてこれらの操作を繰り返し、第4+第3の順で交互に10層づつ積層させ、最後にGaNよりなる第4の窒化物半導体層を40オングストローム成長さた超格子構造の多層膜よりなるn型第2多層膜層6を640オングストロームの膜厚で成長させる。
【0043】
(活性層7)
次に、アンドープGaNよりなる障壁層を200オングストロームの膜厚で成長させ、続いて温度を800℃にして、TMG、TMI、アンモニアを用いアンドープIn0.4Ga0.6Nよりなる井戸層を30オングストロームの膜厚で成長させる。そして障壁+井戸+障壁+井戸・・・・+障壁の順で障壁層を5層、井戸層を4層、交互に積層して、総膜厚1120オングストロームの多重量子井戸構造よりなる活性層7を成長させる。
【0044】
(中濃度ドープの多層膜p型クラッド層8)
次に、温度1050℃でTMG、TMA、アンモニア、Cp2Mg(シクロペンタジエニルマグネシウム)を用い、Mgを5×1019/cm3ドープしたp型Al0.2Ga0.8Nよりなる第1の窒化物半導体層を40オングストロームの膜厚で成長させ、続いて温度を800℃にして、TMG、TMI、アンモニア、Cp2Mgを用いMgを5×1019/cm3ドープしたIn0.03Ga0.97Nよりなる第2の窒化物半導体層を25オングストロームの膜厚で成長させる。そしてこれらの操作を繰り返し、第1+第2の順で交互に5層ずつ積層し、最後に第1の窒化物半導体層を40オングストロームの膜厚で成長させた超格子構造の多層膜よりなるp側多層膜クラッド層8を365オングストロームの膜厚で成長させる。
【0045】
(低濃度ドープのp型低濃度ドープ層9)
続いて、1050℃で、TMG、アンモニアを用い、アンドープのGaNよりなるp型低濃度ドープ層9を2000オングストロームの膜厚で成長させる。この低濃度ドープ層9は、成長時はアンドープとして成長させるが、中濃度ドープの多層膜p型クラッド層8にドープされているMgが、低濃度ドープ層9を成長する間に拡散し、さらに下記の高濃度ドープのp型コンタクト層10を成長させる際にMgが拡散し、低濃度ドープ層9はp型を示す。
この低濃度ドープ層9のMg濃度は、最も濃度が低い部分では、2×1018/cm3となる。また低濃度ドープ層9のMg濃度の変化は、p型クラッド層8に接している部分ではp型クラッド層のMg濃度とほぼ同様の値を示すが、p型クラッド層8から離れるに従い徐々に減少し、p型コンタクト層10と接近している付近(p型コンタクト層10を成長させる直前)でのMg濃度がほぼ最低値を示す。
【0046】
(高濃度ドープのp型コンタクト層10)
続いて、1050℃で、TMG、アンモニア、Cp2Mgを用い、Mgを1×1020/cm3ドープしたGaNよりなるp型コンタクト層10を1200オングストロームの膜厚で成長させる。
【0047】
反応終了後、温度を室温まで下げ、さらに窒素雰囲気中、ウェーハを反応容器内において、700℃でアニーリングを行い、p型層をさらに低抵抗化する。
【0048】
アニーリング後、ウェーハを反応容器から取り出し、最上層のp型コンタクト層10の表面又は側面に所定の形状のマスクを形成し、RIE(反応性イオンエッチング)装置でp型コンタクト層10側からエッチングを行い、n型コンタクト層4の表面を露出させる。
【0049】
以上のようにして窒化物半導体を成長させ各層を積層した後、ウエハを反応容器から取り出し、最上層のp型コンタクト層の表面にSiO2よりなる保護膜を形成して、RIE(反応性イオンエッチング)を用いSiCl4ガスによりエッチングし、5,10,15,20,25,30,35,40μmの凹凸を側面に形成する。
【0050】
エッチング後、最上層にあるp型コンタクト層10のほぼ全面に膜厚200オングストロームのNiとAuを含む透光性のp電極11と、そのp電極10の上にボンディング用のAuよりなるpパッド電極12を0.5μmの膜厚で形成する。一方、エッチングにより露出させたn型コンタクト層4の表面にはWとAlを含むn電極12を形成してLED素子とする。
【0051】
このLED素子は順方向電流20mAにおいて、520nmの純緑色発光を示し、Vfは3.5Vで発光させた結果を図10に図示する。45°において効率が低下しているが、これは端面で反射させずに取り出すことを目的としているのであるが、角度が45°の凹凸面は光学的に無加工面と等価である。すなわち無加工面で反射する光は45°凹凸面でも反射する結果となり、凹凸加工の効果が薄くなる。
また、凹凸の高さは0〜45°の範囲では凹凸の高さによらず凹凸の角度によってほぼ一義的に取り出し効率が決まるが、45°〜90°の範囲では凹凸のサイズに大きく依存する結果となった。凹凸の高さが高いほど効率が上がる事に関しては不明である。設計上の問題としては余り凹凸部分を大きくすると相対的に発光部分が小さくなり、サイズあたりの効率が低下することになる。よって突起の角度は0〜45°が好ましく、より好ましくは5°〜40°、さらに好ましくは10°〜30°が最も好ましい。凹凸の高さとしては、35nm〜40μmが好ましい。
図11に凹凸高さが20μmに対する凹凸の角度と光の取り出し効率のAir封止とEpoxy封止の相関図を示す。基板の屈折率としてはSiC:約2.8、GaN:約2.5、AlN:約2.2、サファイア:約1.8である。窒化ガリウム系化合物半導体素子の屈折率は約2.5である。空気の屈折率は1.0である。一方Epoxy樹脂の屈折率は約1.6であるため、基板に関係なく窒化ガリウム系化合物半導体から空気中(外部)に光を取り出すに関し、中間的な屈折率を有するEpoxyが介在することによって界面反射が抑制され、取り出し効率は高いことが読み取れる。さらに中間的なEpoxyが介在しても角度依存性は変化しないことも分かった。
図12に凹凸高さが20μmに対する凹凸の角度と効率アップのAir封止とEpoxy封止の相関図を示す。図11が実際の光の取り出し量を図示したのに対し、図12は無加工状態を100%ととして規定し、その状態からの角度変化に対しての効率を表している。この図より凹凸の効果はEpoxy封止ができないときにはより効果が顕著に現れることが分かった。すなわち樹脂が劣化して樹脂封止ができない紫外線領域では本願は特に有効である。ここで封止材としてEpoxy樹脂に関して述べたが、これに限定される訳ではなく、ガラス、シリコーン、フッ素樹脂なども当然使用可能である。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の窒化ガリウム系化合物半導体素子はその側面を特定形状としていることにより、窒化ガリウム系化合物半導体層内の多重反射を抑えることができる。従って、窒化ガリウム系化合物半導体の発光を有効に外部に取り出すことができ、発光素子の外部量子効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図2】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図3】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図4】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図5】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図6】本発明の一実施の形態である窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す図1におけるA−B線での模式断面図である。
【図7】従来の窒化ガリウム系化合物半導体素子の構造を示す模式斜視図である。
【図8】(a)凹凸が三角形状の端面加工を施した窒化ガリウム系化合物半導体の端面加工部に着目した平面図である。(b)三角形状の凹凸を特定するための高さと角度を定義付けした図である。
【図9】(a)凹凸が波型形状の端面加工を施した窒化ガリウム系化合物半導体の端面加工部に着目した平面図である。(b)波型形状の凹凸を特定するための高さと角度を定義付けした図である。
【図10】窒化ガリウム系化合物半導体素子の凹凸形状(高さ・角度)と効率アップを示す図である。
【図11】凹凸の角度と光の取り出し効率のAir封止とEpoxy封止の相関図である。
【図12】凹凸の角度と効率アップのAir封止とEpoxy封止の相関図である。
【符号の説明】
1・・・サファイア基板
2・・・バッファ層
3・・・アンドープGaN層
4・・・n型コンタクト層
5・・・n型第1多層膜層
5a・・・アンドープの下層
5b・・・n型不純物ドープの中間層
5c・・・アンドープの上層
6・・・n型第2多層膜層
7・・・活性層
8・・・中濃度ドープのp型クラッド層
9・・・低濃度ドープのp型低濃度ドープ層
10・・・高濃度ドープのp型コンタクト層
11・・・p電極
12・・・pパッド電極
13・・・n電極
14・・・nパッド電極
Claims (7)
- 基板上に窒化ガリウム系化合物半導体が積層されてなる発光素子において、前記窒化ガリウム系化合物半導体素子の側面が凹凸を有することを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記凹凸の高さが35nm以上である請求項1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体、及び/又は、基板部分に形成されている請求項1又は2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が低い場合においては、窒化ガリウム系化合物半導体にのみ凹凸を有する請求項3に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体と屈折率が同程度である場合においては、窒化ガリウム系化合物半導体及び基板部分に凹凸を有する請求項3に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記基板が窒化ガリウム系化合物半導体より屈折率が高い場合においては、基板部分にのみ凹凸を有する請求項3に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
- 前記凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体に形成されており、かつ、該凹凸が窒化ガリウム系化合物半導体最表面より少なくとも活性層まで形成されている請求項2乃至請求項5に記載の窒化ガリウム系化合物半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003040300A JP2004006662A (ja) | 2002-03-28 | 2003-02-18 | 窒化ガリウム系化合物半導体素子 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002090448 | 2002-03-28 | ||
JP2003040300A JP2004006662A (ja) | 2002-03-28 | 2003-02-18 | 窒化ガリウム系化合物半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004006662A true JP2004006662A (ja) | 2004-01-08 |
JP2004006662A5 JP2004006662A5 (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=30446196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003040300A Pending JP2004006662A (ja) | 2002-03-28 | 2003-02-18 | 窒化ガリウム系化合物半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004006662A (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005303278A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-10-27 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
WO2007126158A1 (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Panasonic Corporation | 半導体発光素子およびウエハ |
KR100780175B1 (ko) * | 2006-03-14 | 2007-11-27 | 삼성전기주식회사 | 발광 다이오드의 제조방법 |
JP2008300580A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Nichia Corp | 発光素子及び発光装置 |
JP2009059969A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Seiwa Electric Mfg Co Ltd | 半導体発光素子、発光装置、照明装置、表示装置及び半導体発光素子の製造方法 |
WO2009054088A1 (ja) | 2007-10-23 | 2009-04-30 | Panasonic Corporation | 半導体発光素子およびそれを用いた半導体発光装置とその製造方法 |
JP2010141331A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
US7791098B2 (en) | 2004-03-31 | 2010-09-07 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor light emitting device |
WO2011021774A2 (ko) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Youn Kang-Sik | 반도체 광소자 및 그 제조방법 |
JP2011134955A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状材料からのチップ状部品の生産方法 |
WO2012165739A1 (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Seoul Opto Device Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device, method of fabricating the same, and package comprising the same |
US20130193478A1 (en) * | 2012-01-31 | 2013-08-01 | Hironao Shinohara | Semiconductor light emitting element, method for producing semiconductor light emitting element and light emitting device |
JP2014060277A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Stanley Electric Co Ltd | Ledアレイ |
JP2014068042A (ja) * | 2009-07-15 | 2014-04-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体発光素子、半導体発光装置、半導体発光素子の製造方法、および半導体発光装置の製造方法 |
US8791469B2 (en) | 2011-12-05 | 2014-07-29 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor light emitting element having a plurality of substrate cutouts and semiconductor layer side surface projections |
JP2014160797A (ja) * | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Lextar Electronics Corp | 発光ダイオードチップ及びその製造方法 |
JP2015076454A (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-20 | 豊田合成株式会社 | 発光装置 |
WO2020044980A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子、及び発光素子の製造方法 |
JP7455267B1 (ja) | 2022-10-28 | 2024-03-25 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 紫外線発光素子及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-02-18 JP JP2003040300A patent/JP2004006662A/ja active Pending
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005303278A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-10-27 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
US7791098B2 (en) | 2004-03-31 | 2010-09-07 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor light emitting device |
KR100780175B1 (ko) * | 2006-03-14 | 2007-11-27 | 삼성전기주식회사 | 발광 다이오드의 제조방법 |
US7915714B2 (en) | 2006-04-27 | 2011-03-29 | Panasonic Corporation | Semiconductor light emitting element and wafer |
WO2007126158A1 (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Panasonic Corporation | 半導体発光素子およびウエハ |
JP2008300580A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Nichia Corp | 発光素子及び発光装置 |
JP2009059969A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Seiwa Electric Mfg Co Ltd | 半導体発光素子、発光装置、照明装置、表示装置及び半導体発光素子の製造方法 |
WO2009054088A1 (ja) | 2007-10-23 | 2009-04-30 | Panasonic Corporation | 半導体発光素子およびそれを用いた半導体発光装置とその製造方法 |
KR101123010B1 (ko) * | 2008-12-09 | 2012-06-15 | 삼성엘이디 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
JP2010141331A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
US8242514B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-08-14 | Samsung Led Co., Ltd. | Semiconductor light emitting diode |
JP2014068042A (ja) * | 2009-07-15 | 2014-04-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体発光素子、半導体発光装置、半導体発光素子の製造方法、および半導体発光装置の製造方法 |
WO2011021774A3 (ko) * | 2009-08-20 | 2011-04-14 | Youn Kang-Sik | 반도체 광소자 및 그 제조방법 |
WO2011021774A2 (ko) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Youn Kang-Sik | 반도체 광소자 및 그 제조방법 |
JP2011134955A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状材料からのチップ状部品の生産方法 |
WO2012165739A1 (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Seoul Opto Device Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device, method of fabricating the same, and package comprising the same |
US8791469B2 (en) | 2011-12-05 | 2014-07-29 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor light emitting element having a plurality of substrate cutouts and semiconductor layer side surface projections |
US8916904B2 (en) | 2012-01-31 | 2014-12-23 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor light emitting element, method for producing semiconductor light emitting element and light emitting device |
JP2013157523A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体発光素子、半導体発光素子の製造方法および発光装置 |
US20130193478A1 (en) * | 2012-01-31 | 2013-08-01 | Hironao Shinohara | Semiconductor light emitting element, method for producing semiconductor light emitting element and light emitting device |
JP2014060277A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Stanley Electric Co Ltd | Ledアレイ |
JP2014160797A (ja) * | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Lextar Electronics Corp | 発光ダイオードチップ及びその製造方法 |
JP2015076454A (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-20 | 豊田合成株式会社 | 発光装置 |
WO2020044980A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 発光素子、及び発光素子の製造方法 |
JP7455267B1 (ja) | 2022-10-28 | 2024-03-25 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 紫外線発光素子及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4325232B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
US8207003B2 (en) | Method of manufacturing gallium nitride-based compound semiconductor light-emitting device, gallium nitride-based compound semiconductor light-emitting device, and lamp | |
US7754504B2 (en) | Light-emitting diode, method for making light-emitting diode, integrated light-emitting diode and method for making integrated light-emitting diode, method for growing a nitride-based III-V group compound semiconductor, light source cell unit, light-emitting diode | |
US8502254B2 (en) | Group III nitride semiconductor light-emitting device and method of manufacturing the same, and lamp | |
US7947995B2 (en) | Gallium nitride-based compound semiconductor light emitting device | |
JP4244542B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びその製造方法 | |
TWI425664B (zh) | 半導體發光元件及半導體發光元件之製造方法 | |
KR101060830B1 (ko) | 질화갈륨계 화합물 반도체 발광 소자의 제조 방법, 질화갈륨계 화합물 반도체 발광 소자 및 이를 이용한 램프 | |
JP2004006662A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体素子 | |
JP5276959B2 (ja) | 発光ダイオード及びその製造方法、並びにランプ | |
KR20080065666A (ko) | 질화물 반도체 발광 소자 및 질화물 반도체 발광 소자 제조방법 | |
JP2012004501A (ja) | 紫外半導体発光素子 | |
JP5983554B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JP3921989B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2001203385A (ja) | 窒化物半導体発光ダイオード | |
JP4325160B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2006332365A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子およびそれを用いた発光装置 | |
JP3951973B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2004048076A (ja) | 半導体素子およびその製造方法 | |
JP5668647B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JPH10290047A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2011082248A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法、並びにランプ | |
KR101120006B1 (ko) | 수직형 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
JP3857417B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2004214500A (ja) | 窒化物半導体成長基板およびそれを用いた窒化物半導体素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060220 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090714 |