JP2014160797A - 発光ダイオードチップ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光ダイオードチップ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】発光ダイオードチップは、透光基板310と、透光基板310に設けられるN型半導体層と、N型半導体層に設けられる発光層と、発光層に設けられるP型半導体層とからなる発光ダイオード積層構造320、を含む。N型半導体層及び/又は透光基板310の縁の側壁は、複数の凹部微細構造312を有する。この凹部微細構造312はエッチング法によって形成される。
【選択図】図3D
【解決手段】発光ダイオードチップは、透光基板310と、透光基板310に設けられるN型半導体層と、N型半導体層に設けられる発光層と、発光層に設けられるP型半導体層とからなる発光ダイオード積層構造320、を含む。N型半導体層及び/又は透光基板310の縁の側壁は、複数の凹部微細構造312を有する。この凹部微細構造312はエッチング法によって形成される。
【選択図】図3D
Description
本発明は、発光ダイオードに関し、特に、側壁が凹部微細構造を有する発光ダイオードに関する。
一般的には、発光ダイオードが発光する時、光線は、発光層から透光基板に入って、透光基板の側面から出光する。従って、透光基板の出光率は、発光ダイオードの発光効果に直接に影響を与える。現在、従来の発光ダイオードのプロセスにおいて、主に、側壁エッチングプロセス(side‐wall etching;SWE)、又はステルスレーザダイシングプロセス(stealth dicing;SD)によって発光ダイオードチップを分離するが、上記工程によれば、何れも発光ダイオードの出光率に悪影響を与えてしまう。
例としては、側壁エッチングプロセス(SWE)によって発光ダイオードチップを分離する場合、透光基板部分に、光を吸収して出光率を低下させる焼結跡が形成することがある。一方、ステルスレーザダイシング工程(SD)によって発光ダイオードチップを分離する場合、分離後の発光ダイオードチップの側面が平ら過ぎるため、透光基板に入った光線は、全反射を生じて、出光率が低下する。
このために、上記従来のプロセスによる欠陥を解決した新しい発光ダイオードチップ及びその製造方法が望まれている。
本発明は、従来の工程の欠陥を解決し、発光ダイオードチップの出光率を向上させるための発光ダイオードチップ及びその製造方法を提供する。
本発明の一態様は、発光ダイオードチップを提供する。この発光ダイオードチップは、透光基板と、透光基板に設けられるN型半導体層と、N型半導体層に設けられる発光層と、発光層に設けられるP型半導体層と、を含む。N型半導体層、透光基板又はそれらの組み合わせの縁の側壁は、複数の凹部微細構造を有する。
本発明の別の態様は、発光ダイオードチップの製造方法を提供する。この製造方法は、上表面を有する透光基板を提供するステップと、透光基板に発光ダイオード積層構造層を形成するステップと、N型半導体層、透光基板又はそれらの組み合わせの縁の側壁に複数の凹部微細構造を形成するステップと、を備える。発光ダイオード積層構造は、透光基板に設けられるN型半導体層と、N型半導体層に設けられる発光層と、発光層に設けられるP型半導体層と、を含む。
下文において、本発明の好適な実施例を挙げて、本発明の発光ダイオードチップ及びその製造方法を説明するが、それは本発明を制限するものではない。図面と記述において、類似又は同じ部分には、同様な符号や番号が用いられている。また、本発明の適用は、下文の実施例に制限されず、当業者であれば、これにより関連分野に適用可能である。
本発明は、複数の凹部微細構造を含んで側方向の出光率を向上させる発光ダイオードチップ及びその製造方法を提供する。
図1Aは、本発明の一実施例によって示される発光ダイオードチップの平面図である。図1Aにおいて、発光ダイオードチップ100は、その縁を取り囲む複数の凹部微細構造110を有する。
図1B及び図1Cは、図1Aに示したA‐A'断面線によって示される発光ダイオードチップの断面図である。図1Bにおいて、発光ダイオードチップ100は、下から上へ透光基板120、N型半導体層130、発光層140、P型半導体層150、電極160の順の構造となる。凹部微細構造110は、透光基板120の縁の側壁に設けられる。本発明の一実施例によると、凹部微細構造110は、図1Cに示すように、透光基板120及びN型半導体層130の縁の側壁に設けられる。本発明の別の実施例によると、凹部微細構造110は、N型半導体層130の縁の側壁に設けられる。本発明の一実施例によると、透光基板120の材料は、サファイア(sapphire)、シリコン、炭化ケイ素(SiC)、ダイヤモンド、石英及びそれらの組み合わせからなる群から選ばれるものである。
また、図1Bにおいて、透光基板120とN型半導体層130の縁の側壁には、面取り構造(φ)を更に含む。本発明の一実施例によると、面取り構造(φ)の角度は、30度〜90度の間に介在する。
凹部微細構造110の接平面は、第1法線112を有し、透光基板120の表面は、第2法線122を有する。第1法線112と第2法線122との間に、夾角(θ)がある。本発明の一実施例によると、第1法線112と第2法線122との間の夾角(θ)は、30度〜60度に介在する。本発明の別の実施例によると、第1法線112と第2法線122との間の夾角(θ)は、45度である。
光線170は、まず発光層140から透光基板120に入って、透光基板120の側面から出光する。凹部微細構造110は、透光基板120又はN型半導体層130の縁の側壁に粗化表面を形成し、表面積を大きくすることができるため、これにより、発光ダイオードチップ100の出光率を高める。
上記発光ダイオードチップの凹部微細構造は、穴状、溝状又はそれらの組み合わせである。穴状の凹部微細構造の断面は、逆台形、砲弾形、鋸歯形、逆ピラミッド形又はそれらの組み合わせであってよい。
図1D〜図1Fは、図1Aに示したB‐B'断面線によって示される発光ダイオードチップの断面図である。図1Dにおいて、発光ダイオードチップ100の凹部微細構造110は、逆台形となる。本発明の一実施例によると、発光ダイオードチップ100の凹部微細構造110は、図1Eに示すように、砲弾形となる。本発明の別の実施例によると、発光ダイオードチップ100の凹部微細構造110は、図1Fに示すように、逆ピラミッド形となる。本発明の一実施例によると、凹部微細構造110の深さは、6μm〜12μmである。
図2Aは、本発明の一実施例によって示される発光ダイオードチップの平面図であり、その凹部微細構造は、溝状となる。図2Aにおいて、発光ダイオードチップ200は、その縁を取り囲む複数の溝状の凹部微細構造210を有する。
図2Bは、図2Aに示したC‐C'断面線によって示される発光ダイオードチップの断面図である。図2Bにおいて、発光ダイオードチップ200は、下から上へ透光基板220、N型半導体層230、発光層240、P型半導体層250、電極260の順の構造となる。凹部微細構造210は、透光基板220の縁の側壁に設けられる。
図2C及び図2Dは、図2Aに示したD‐D'断面線によって示される発光ダイオードチップの断面図である。図2Cにおいて、凹部微細構造210は、透光基板220及びN型半導体層230の縁の側壁に設けられる。図2Dにおいて、凹部微細構造210は、N型半導体層230の縁の側壁に設けられる。
図3A〜図3Fは、本発明の一実施例によって示される発光ダイオードチップを製作する構造側面図である。図3Aにおいて、上表面311を有する透光基板310を提供する。次に、図3Bに示すように、透光基板310の上表面に発光ダイオード積層構造320を形成する。発光ダイオード積層構造320は、下から上へN型半導体層、発光層及びP型半導体層を含む構造となり、ただし、N型半導体層、発光層及びP型半導体層は、別々に示されていない。
図3Cにおいて、マスク330は、複数のスルーホール332を有する。マスク330を発光ダイオード積層構造320の上に覆蓋して、エッチング法340によって、透光基板310、発光ダイオード積層構造320又はそれらの組み合わせに複数の凹部微細構造312を形成する。エッチング法340は、ドライエッチング、ウェットエッチング又はそれらの組み合わせであってよい。
本発明の一実施例によると、ドライエッチングは、誘導結合プラズマによってエッチングを行うことである。ドライエッチングは、ウェットエッチングに比べ、高い精度を有するが、焼結物が残されて、出光率が低下する可能性がある。
本発明の一実施例によると、ウェットエッチングは、熱リン酸によってエッチングを行うことである。熱リン酸は、N型半導体層を同時にエッチングするため、出光率を向上させることができる。しかし、ウェットエッチングは、ドライエッチングに比べ、エッチング時間が長く、発光ダイオード積層構造を損なう可能性がある。
本発明の一実施例によると、まずレーザによって凹部微細構造を形成して、次に熱リン酸によって残された焼結物を除去する。レーザは、凹部微細構造の深さを正確に制御し、熱リン酸のエッチング時間を短くすることができるため、この方法により製作した発光ダイオードチップは、好適な出光率を有する。
図3Dにおいて、凹部微細構造312に沿って、発光ダイオード積層構造320及び透光基板310を切断して、発光ダイオードチップ300を形成する。凹部微細構造312は、発光ダイオード積層構造320及び透光基板310の縁の側壁に形成される。
本発明の一実施例によると、凹部微細構造312は、図3Eに示すように、発光ダイオード積層構造320の縁の側壁のみに形成される。本発明の別の実施例によると、発光ダイオード積層構造320は、透光基板310の上を完全に覆蓋されていないため、凹部微細構造312は、図3Fに示すように、透光基板310の縁の側壁のみに形成されてよい。
表1には、レーザと合わせたウェットエッチング法、と側壁エッチング法との、発光ダイオードチップの輝度、電気特性、歩留まりに対する影響を比較する。実験方式としては、同一のシリコンウェハ(wafer)について、その半分で側壁エッチング法によって発光ダイオードチップを製作するが、別の半分でレーザと合わせたウェットエッチング法によって発光ダイオードチップを製作する。
表1において、実験例1〜4は、何れもまずレーザによって凹部微細構造を形成して、次に熱リン酸によって残された焼結物を除去する。しかし、比較例1〜4は、レーザのみによって側壁エッチングを行う。実験例は、比較例に比べ、発光ダイオードの輝度が1.2%〜3.6%向上したが、発光ダイオードの電気特性及び歩留まりからいえば、比較例とは明らかな差異がない。表1の結果から、本発明の実施例に提供される方法によれば、電気特性及び歩留まりに影響を与えずに、発光ダイオードの輝度を効果的に向上させることができることが判明した。
本発明の実施例において、透光基板、N型半導体層又はそれらの組み合わせに、複数の凹部微細構造を形成することによって、発光ダイオードの側壁の表面積を大きくすることができるだけでなく、出光率を向上させることもできる。従って、本発明に提供される発光ダイオードの製造方法は、従来の工程の欠陥を解決することができる。
本発明の実施例は、上記のように開示されたが、それは本発明を限定するものではなく、当業者なら誰でも、本発明の精神と範囲から逸脱しない範囲内で、多種の変更や修飾を加えることができるため、本発明の保護範囲は、後の特許請求の範囲に規定されたものに準ずる。
100、200、300 発光ダイオードチップ
110、210、312 凹部微細構造
112 第1法線
120、220、310 透光基板
122 第2法線
130、230 N型半導体層
140、240 発光層
150、250 P型半導体層
160、260 電極
170 光線
311 上表面
320 発光ダイオード積層構造
330 マスク
332 スルーホール
340 エッチング法
A‐A'、B‐B'、C‐C'、D‐D' 断面線
φ、θ 角度
110、210、312 凹部微細構造
112 第1法線
120、220、310 透光基板
122 第2法線
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140、240 発光層
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311 上表面
320 発光ダイオード積層構造
330 マスク
332 スルーホール
340 エッチング法
A‐A'、B‐B'、C‐C'、D‐D' 断面線
φ、θ 角度
Claims (20)
- 透光基板と、
前記透光基板に設けられるN型半導体層と、
前記N型半導体層に設けられる発光層と、
前記発光層に設けられるP型半導体層と、
を含み、
前記N型半導体層及び前記透光基板の少なくとも一方の縁の側壁は、複数の凹部微細構造を有する発光ダイオードチップ。 - 前記複数の凹部微細構造は、穴状、溝状又はそれらの組み合わせである請求項1に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記穴状の凹部微細構造の断面は、逆台形、砲弾形、鋸歯形、逆ピラミッド形又はそれらの組み合わせである請求項2に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記凹部微細構造の接平面は、第1法線を有し、前記N型半導体層及び前記透光基板の少なくとも一方の表面は、第2法線を有し、前記第1法線と前記第2法線との間の夾角は、30度〜60度の間に介在する請求項3に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第1法線と前記第2法線との間の夾角は、45度である請求項4に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記複数の凹部微細構造の深さは、6μm〜12μmである請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記N型半導体層の縁の側壁と前記透光基板の縁の側壁に、面取り構造が形成される請求項6に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記面取り構造の角度は、30度〜90度の間に介在する請求項7に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記透光基板の材料は、サファイア(sapphire)、シリコン、炭化ケイ素(SiC)、ダイヤモンド、石英及びそれらの組み合わせからなる群から選ばれるものである請求項8に記載の発光ダイオードチップ。
- 上表面を有する透光基板を提供するステップと、
前記透光基板の前記上表面に、前記透光基板に設けられるN型半導体層と、前記N型半導体層に設けられる発光層と、前記発光層に設けられるP型半導体層と、を含む発光ダイオード積層構造層を形成するステップと、
前記N型半導体層及び前記透光基板の少なくとも一方の縁の側壁に複数の凹部微細構造を形成するステップと、
を備える発光ダイオードチップの製造方法。 - 前記複数の凹部微細構造に沿って、前記発光ダイオード積層構造及び前記透光基板を切断するステップを更に備える請求項10に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記複数の凹部微細構造は、穴状、溝状又はそれらの組み合わせである請求項10または11に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記穴状の凹部微細構造の断面は、逆台形、砲弾形、鋸歯形、逆ピラミッド形又はそれらの組み合わせである請求項12に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記凹部微細構造の接平面は、第1法線を有し、前記N型半導体層及び前記透光基板の少なくとも一方の表面は、第2法線を有し、前記第1法線と第2法線との間の夾角は、30度〜60度の間に介在する請求項13に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記第1法線と第2法線との間の夾角は、45度である請求項14に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記複数の凹部微細構造の深さは、6μm〜12μmである請求項15に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記N型半導体層の縁の側壁と前記透光基板の縁の側壁に、面取り構造が形成される請求項16に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記面取り構造の角度は、30度〜90度の間に介在する請求項17に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記凹部微細構造は、ドライエッチング法又はウェットエッチング法又はレーザエッチング法によって形成される請求項18に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
- 前記透光基板の材料は、サファイア(sapphire)、シリコン、炭化ケイ素(SiC)、ダイヤモンド、石英及びそれらの組み合わせからなる群から選ばれるものである請求項19に記載の発光ダイオードチップの製造方法。
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