JP5367092B2 - 薄膜トランジスタ基板の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態における薄膜トランジスタ基板及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
次に、本発明の製造方法により製造された薄膜トランジスタ基板が利用される有機ELディスプレイについて説明する。
11 基板
12、71、81 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14、15、16 半導体層
17 感光性レジスト
18 コンタクト層
19 SD電極
19a 金属膜
20 パッシベーション膜
50 有機ELディスプレイ
52 陽極
53 有機EL層
54 透明陰極
60 画素回路
61 ゲート配線
62 ソース配線
63 電源配線
70 第1トランジスタ
72、83 ソース電極
73、82 ドレイン電極
80 第2トランジスタ
84 キャパシタ
100 画素
Claims (11)
- 基板を準備する第1工程と、
前記基板の上に、ゲート電極を形成する第2工程と、
前記基板上であって前記ゲート電極が形成されていない領域、及び前記ゲート電極上に、ゲート絶縁膜を形成する第3工程と、
前記ゲート絶縁膜上に第1非晶質シリコン薄膜を形成する第4工程と、
前記第1非晶質シリコン薄膜の少なくとも前記ゲート電極の上方領域を結晶化することにより、前記第1非晶質シリコン薄膜を第1結晶性シリコン薄膜とする第5工程と、
前記第5工程を経た前記基板をドライエッチング装置内に配置し、前記第1結晶性シリコン薄膜の表面をドライエッチングすることで前記第1結晶性シリコン薄膜の表面のシリコン酸化膜を除去する第6工程と、
前記第1結晶性シリコン薄膜上に、第2非晶質シリコン薄膜を形成する第7工程と、
前記第2非晶質シリコン薄膜上に感光性レジストを形成する第8工程と、
前記ゲート電極の上方の領域に対応する前記感光性レジストの領域を残すようにパターニングする第9工程と、
前記第9工程で残った感光性レジストをマスクに用いて、前記第1結晶性シリコン薄膜及び前記第2非晶質シリコン薄膜を、ドライエッチングによりパターニングする第10工程とを含み、
前記第10工程では、さらに、前記第1結晶性シリコン薄膜及び前記第2非晶質シリコン薄膜をドライエッチングする際に、前記ドライエッチングのプラズマ中に存在する所定のラジカルの発光強度を測定することにより、前記第1結晶性シリコン薄膜と前記第2非晶質シリコン薄膜との界面におけるシリコン酸化膜の有無を検知し、前記シリコン酸化膜が有ると検知した場合は前記第10工程を経た基板を前記第10工程以降の工程に供することができないと判断し、シリコン酸化膜が無いと検知した場合は前記第10工程を経た基板を前記第10工程以降の工程へ供することができると判断する
薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - さらに、
前記第10工程において前記シリコン酸化膜が有ると検知した場合は、前記第1結晶性シリコン薄膜及び前記第2非晶質シリコン薄膜のドライエッチングを停止して前記基板をリペアするリペア工程を含む
請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - さらに、
前記リペア工程にて、前記第1結晶性シリコン薄膜が露出した前記薄膜トランジスタ基板を、再度、前記第6工程から前記第10工程に供する第11工程とを含み、
前記リペア工程は、
前記第9工程で形成された前記感光性レジストを除去して前記第2非晶質シリコン薄膜を露出させる工程と、
前記露出させた前記第2非晶質シリコン薄膜を除去して前記第1結晶性シリコン薄膜を露出させる工程とを含む
請求項2に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - さらに、
前記リペア工程にて、前記ゲート絶縁膜が露出した前記薄膜トランジスタ基板を、再度、前記第4工程から前記第9工程に供する第11工程とを含み、
前記リペア工程は、
前記第9工程で形成された前記感光性レジストを除去して前記第2非晶質シリコン薄膜を露出させる工程と、
前記露出させた前記第2非晶質シリコン薄膜及び前記第1結晶性シリコン薄膜を除去し、前記ゲート絶縁膜を露出させる工程とを含む
請求項2に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記第10工程において前記シリコン酸化膜が有ると検知した場合は、前記第7工程以前の工程の製造条件を調整する
請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記第10工程において前記シリコン酸化膜が有ると検知した場合は、前記基板を廃棄する廃棄工程を含む
請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記所定のラジカルは、前記第10工程におけるドライエッチングのプラズマ中に存在する、前記第2非晶質シリコン薄膜をエッチングするラジカルである
請求項1に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記所定のラジカルは、ハロゲン元素を含むラジカルである
請求項7に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記ハロゲン元素は、ClまたはFである
請求項8に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記第10工程では、
前記ドライエッチングの際に、前記ドライエッチングのプラズマ中に存在する前記第2非晶質シリコン薄膜をエッチングするラジカルの発光スペクトルの強度を測定しつつ、前記発光スペクトルの強度の時間による二次微分係数を算出し、当該二次微分係数が0より大きく算出された場合に、前記シリコン酸化膜があると判定する
請求項1〜9のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記第10工程において、前記シリコン酸化膜がないと検知された場合、
さらに、第10工程以降の工程を含み、
前記第10工程以降の工程は、
前記第10工程でパターニングされた前記第1結晶性シリコン薄膜、前記第2非晶質シリコン薄膜及び前記ゲート絶縁膜を覆うようにコンタクト層を形成する工程と、
前記コンタクト層上にソースドレイン電極となる金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、前記金属膜からソース電極及びドレイン電極を形成するためのレジストを配置する工程と、
前記コンタクト層の表面が露出するまで、前記レジストを用いて前記金属膜をウェットエッチングして前記ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極及びドレイン電極間の前記コンタクト層及び前記第2非晶質シリコン薄膜をドライエッチングする工程とを含む
請求項1〜10のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
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