JP5360902B2 - 粒子の研磨方法及び粒子の研磨システム - Google Patents

Description

本発明は、粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムに関するもので、特に、金属、金属の酸化物、金属の水酸化物、その他の無機物質や合成樹脂、その他の有機物質の粒子（粒子の凝集体を含み、本明細書において、包括して、単に「粒子」という。）を、効率よく研磨し、歩留まりが向上するとともに、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができる粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムに関するものである。

素材、化学、電気化学等の技術分野において、機能性材料、充填材料等の用途で各種粒子が用いられているが、例えば、図５（ｂ）に示すように、不定形の粒子Ｒｘの場合は、粒子間の間隙が多くなり、単位体積又は単位面積当たりの粒子の密度を高めることができず、これにより、粒子の持つ所期の機能を発揮できない場合があった。
一方、図５（ａ）に示すように、球状又は球状に近い粒子Ｒｏの場合は、粒子間の間隙が少なくなり、単位体積又は単位面積当たりの粒子の密度が高めることができる。
このため、原材料として不定形の粒子Ｒｘを使用する場合で、単位体積又は単位面積当たりの粒子の密度を高める必要があるときは、不定形の粒子Ｒｘを研磨して角部を取り、球状又は球状に近い粒子Ｒｏにした上で、使用するようにしていた。

ところで、従来、粒子の研磨方法として、液体に粒子を分散させた分散液を攪拌することで、粒子同士を衝突、摩擦させ、これにより、粒子を研磨して角部を取り、球状又は球状に近い形状にする方法が提案され、実用化されている（例えば、特許文献１〜２参照。）。

特開２００２−２９２５６４号公報 特開２００４−８２３１６号公報

ところで、上記従来の粒子の研磨方法は、液体に粒子を分散させた分散液を攪拌することで、粒子同士を衝突、摩擦させるものであるため、研磨効率が攪拌による分散液の流速に左右されるとともに、この流速を高めるにも限界があることから、研磨効率を高めることに制約があり、例えば、硬度の高い粒子等の場合には、研磨に時間を要するという問題があった。
また、攪拌による分散液の流速を高めた場合、粒子同士や粒子と研磨装置の構成部材との衝突による衝撃が大きくなって粒子が粉砕され、歩留まりが悪化するとともに、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができないという問題があった。

本発明は、上記従来の粒子の研磨方法が有する問題点に鑑み、粒子を効率よく研磨し、歩留まりが向上するとともに、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができる粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の粒子の研磨方法は、研磨装置の回転翼を回転させて、吸入部から導入室に吸入した液体及び該液体に非溶解性の粒子を、導入室から絞り流路を通過させるとともに、回転翼により攪拌して、吐出部から液体に粒子を分散させた分散液を吐出させ、該吐出部から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路を介して前記吸入部に循環させ、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨することを特徴とする。
この粒子の研磨方法は、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができる。

この場合において、前記液体及び粒子を、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することができる。

また、上記本発明の粒子の研磨方法を実施する本発明の粒子の研磨システムは、液体と該液体に非溶解性の粒子とを攪拌して液体に粒子を分散させた分散液を生成する攪拌機構を備えた分散槽と、回転翼を回転させて、吸入部から導入室に吸入した分散液を、導入室から絞り流路を通過させるとともに、回転翼により攪拌して、吐出部から吐出させ、該吐出部から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路を介して前記吸入部に循環させ、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨する研磨装置とからなることを特徴とする。
この粒子の研磨システムは、攪拌機構を備えた分散槽によって、液体と該液体に非溶解性の粒子とを、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することができる。
そして、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができる。

この場合において、分散槽から液体に粒子を分散させた分散液を、液体に粒子を分散させた状態で研磨装置に輸送するスラリーポンプを設けることができる。

また、研磨装置の絞り流路を、導入室と回転翼の間に配設したステータに形成した透孔によって構成することができる。
これにより、分散液がステータに形成した透孔を通過する際の減圧作用で効果的にキャビテーション現象を発生させることができる。

さらに、研磨装置の導入室の導入部にオリフィスを配設することができる。
これにより、オリフィスによって分散液の１次減圧をして、分散液がステータに形成した透孔を通過する際の減圧作用を補助することができる。

本発明の粒子の研磨方法によれば、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができ、従来の攪拌のみによる場合と比較して、研磨効率を向上することができる。
また、このように、研磨効率を向上することができることから、粒子同士の衝突による衝撃力を大きくする必要がなくなり、粒子が粉砕されることが少なく、歩留まりが向上するとともに、粒子の局部的な温度上昇による酸化等の品質の劣化を防止できることと相俟って、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができる。

また、前記液体及び粒子を、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することにより、液体に分散されにくい粒子であっても、液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することができ、研磨装置に気体の混入が少ない状態の分散液を供給することができることと相俟って、研磨装置の研磨効率を一層向上することができるとともに、分散されていない粒子が大量に供給されることによって研磨装置が故障することを未然に防止することができる。

また、本発明の粒子の研磨システムによれば、攪拌機構を備えた分散槽によって、液体と該液体に非溶解性の粒子とを、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することにより、液体に分散されにくい粒子であっても、液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することができ、研磨装置に気体の混入が少ない状態の分散液を供給することができることと相俟って、研磨装置の研磨効率を向上することができるとともに、分散されていない粒子が大量に供給されることによって研磨装置が故障することを未然に防止することができる。
そして、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができ、従来の攪拌のみによる場合と比較して、研磨効率を向上することができる。
また、このように、研磨効率を向上することができることから、粒子同士の衝突による衝撃力を大きくする必要がなくなり、粒子が粉砕されることが少なく、歩留まりが向上するとともに、粒子の局部的な温度上昇による酸化等の品質の劣化を防止できることと相俟って、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができる。

また、分散槽から液体に粒子を分散させた分散液を、液体に粒子を分散させた状態で研磨装置に輸送するスラリーポンプを設けることにより、スラリーポンプの押込力によって研磨装置の吸引力を補助することができ、研磨装置の研磨効率を一層向上することができるとともに、分散されていない粒子が大量に供給されることによって研磨装置が故障することを未然に防止することができる。

また、研磨装置の絞り流路を、導入室と回転翼の間に配設したステータに形成した透孔によって構成することにより、分散液がステータに形成した透孔を通過する際の減圧作用で効果的にキャビテーション現象を発生させることができる。

また、研磨装置の導入室の導入部にオリフィスを配設することにより、オリフィスによって分散液の１次減圧をして、分散液がステータに形成した透孔を通過する際の減圧作用を補助することができ、分散液がステータに形成した透孔を通過する際に一層効果的にキャビテーション現象を発生させることができる。

本発明の粒子の研磨方法を実施するための本発明の粒子の研磨システムの一実施例を示す概略図である。 本発明の粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムに使用する研磨装置を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）はステータの説明図である。 研磨装置の吐出部に連なる分離手段の断面図である。 本発明の粒子の研磨方法を実施するための粒子の研磨システムの別の構成例を示す概略図である。 粒子の形状と粒子間の間隙との関係を示す説明図で、（ａ）は球状又は球状に近い粒子の場合を、（ｂ）は不定形の粒子の場合を示す。

以下、本発明の粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図３に、本発明の粒子の研磨方法を実施するための本発明の粒子の研磨システムの一実施例を示す。

この粒子の研磨システム１は、液体と該液体に非溶解性の粒子とを攪拌する攪拌機構３４を備えた分散槽３と、該分散槽３から液体に粒子を分散させた分散液を、液体に粒子を分散させた状態で輸送するスラリーポンプ５と、回転翼２３Ａを回転させて、吸入部２１から導入室２５に吸入した分散液を、導入室２５から絞り流路Ｓを通過させるとともに、回転翼２３Ａにより攪拌して、吐出部２２から吐出させ、該吐出部２２から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路４６を介して前記吸入部２１に循環させ、分散液に回転翼２３Ａの回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路Ｓを通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨する研磨装置２とから構成するようにしている。

そして、この粒子の研磨システム１を構成する研磨装置２は、研磨装置２の回転翼２３Ａを回転させて、吸入部２１から導入室２５に吸入した液体及び該液体に非溶解性の粒子を、導入室２５から絞り流路Ｓを通過させるとともに、回転翼２３Ａにより攪拌して、吐出部２２から液体に粒子を分散させた分散液を吐出させ、該吐出部２２から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路４６を介して前記吸入部２１に循環させ、分散液に回転翼２３Ａの回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路Ｓを通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨するようにしている。

ところで、上記研磨装置２は、液体を扱うポンプ等の流体機械において、一般にその発生が問題視されるキャビテーション現象を逆に積極的に利用し、分散液に回転翼２３Ａの回転による剪断力及び遠心力を作用させながら、分散液が絞り流路Ｓを通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができ、従来の攪拌のみによる場合と比較して、研磨効率を向上することができる。

また、分散槽３は、液体と該液体に非溶解性の粒子とを、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置２の吸入部２１に供給するためのもので、液体及び粒子を攪拌して分散液とすることができるものである限りにおいて、その構成は特に限定されるものではないが、本実施例においては、上部に液体投入口３２及び粒子投入口３１、下部に分散液排出口３３を備えた容器３０と、該容器３０内に駆動機構３５によって回転する攪拌羽根３４Ａを備えた攪拌機構３４とから構成するようにしている。
このように、分散槽３を用意し、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置２の吸入部２１に供給することによって、研磨装置２に気体の混入が少ない状態の分散液を供給することができることや上記スラリーポンプ５による押込力によって研磨装置２の吸引力を補助できることと相俟って、研磨装置２の研磨効率を一層向上することができるとともに、分散されていない粒子が大量に供給されることによって研磨装置２が故障することを未然に防止することができる。

また、スラリーポンプ５は、吸入口から分散槽３の分散液を吸入し、排出口から所定圧力で研磨装置２の吸入部２１に向けて分散液を送出、供給するためのもので、その構成は特に限定されるものではなく、本実施例においては、吸入口を、分散槽３の分散液排出口３３と配管５１を介して連結するとともに、吐出口を、研磨装置２の吸入部２１と配管５２を介して連結するようにしている。

なお、研磨装置２は、回転翼２３Ａの回転によって分散液を吸引する機能を備えていることから、粒子の性状等によっては、スラリーポンプ５を省略したり、図４に示す粒子の研磨システムの別の構成例のように、分散槽３及びスラリーポンプ５に代えて、粒子を貯留する貯留タンク３６及び液体供給手段３７を設け、研磨装置２に、貯留タンク３６から粒子を、また、液体供給手段３７から液体を、それぞれ供給するように構成することもできる。
この際、液体及び粒子をミキシングノズル６を介して供給することが好ましい。
このミキシングノズル６は、ミキシングノズル６に液体供給手段３７から液体を旋回させながら供給することによって、液体及び粒子の初期分散を行った後、研磨装置２の吸入部２１から吸入するようにして、研磨装置２への供給を円滑に行うことができるようにしている。

研磨装置２は、回転翼２３Ａの回転によって、分散液を吸引し、分散液に剪断力及び遠心力を作用させるとともに、キャビテーション現象を発生させることによって生じる衝撃力を作用させ、分散液中の粒子の表面を研磨することができるものである限りにおいて、その構成は特に限定されるものではないが、本実施例においては、円筒状のケーシング２０の内部に駆動機構Ｍの駆動軸に取り付けたロータ２３の外周部に複数の回転翼２３Ａを突設し、ロータ２３を回転させることによって、吸入部２１から分散液を導入室２５に吸入して攪拌し、吐出部２２から分散液を吐出させるように構成している。
この場合において、ケーシング２０は、円筒状のケーシング本体２０Ａと、ケーシング本体２０Ａの前側（図２（ａ）において左側）及び後側（図２（ａ）において右側）に配設された前面ケーシング２０Ｂ及び後面ケーシング２０Ｃとを備え、ケーシング本体２０Ａには分散液を吐出する吐出部２２が設けられている。
前面ケーシング２０Ｂには、回転翼２３Ａと導入室２５との間に位置するように円筒状のステータ２４Ａを配設し、絞り流路Ｓを、このステータ２４Ａに形成した透孔Ｓａ、Ｓｂによって構成するようにしている。
なお、絞り流路Ｓは、透孔のほか、スリットやノズルによって構成することもできる。
また、必要に応じて、回転翼２３Ａの外周側に、絞り流路Ｓとして透孔（本実施例においては、スリット状の長孔）を形成したステータ２４Ｂを配設することができる。
これにより、分散液がステータ２４Ａに形成した透孔Ｓａ、Ｓｂを通過する際の減圧作用で効果的にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させることができ、従来の攪拌のみによる場合と比較して、研磨効率を向上することができる。

また、回転翼２３Ａの内側のさらにステータ２４Ａの内側には、濾斗状の仕切板２６が複数のボス２６ａを介してロータ２３に固定されている。
この仕切板２６は、吸入部２１の一方の吸入部２１Ａから、分散液が導入される導入室２５Ａと、吐出部２２から吐出された分散液の一部が、他方の吸入部２１Ｂを介して循環し、導入される導入室２５Ｂとを区画するもので、この仕切板２６とケーシング２０との摺動部は、階段状のラビリンス構造となっており、導入室２５Ａへの分散液の吸入を円滑に行うことができるようにしている。

ここで、導入室２５を、導入室２５Ａと導入室２５Ｂとに区画して形成するようにしたため、本実施例においては、図２（ｂ）に示すように、ステータ２４Ａに形成する透孔Ｓａ、Ｓｂの形状を、導入室２５Ａに対向する透孔Ｓａを研磨前の分散液中の粒子が詰まりにくい円形に、導入室２５Ｂに対向する透孔Ｓｂを循環する分散液に対して減圧効果が高く（キャビテーション現象が発生しやすく）、回転翼２３Ａによる剪断力及び遠心力が分散液中の粒子に作用しやすい長円形に設定するようにしている。
なお、透孔Ｓａ、Ｓｂの形状は、分散液中の粒子の形状や性状等に応じて任意に設定することができる。

また、研磨装置２の導入室２５の導入部にオリフィス２７を配設することができる。
このオリフィス２７は、本実施例においては、循環流路４６から循環される分散液が導入される導入室２５Ｂの導入部に配設しているが、必要に応じて、導入室２５Ａの導入部にも配設することができる。
オリフィス２７を配設することによって、分散液の１次減圧をして、分散液がステータ２４Ａに形成した透孔Ｓｂを通過する際の減圧作用を補助することができ、分散液がステータ２４Ａに形成した透孔Ｓｂを通過する際に一層効果的にキャビテーション現象を発生させることができる。

研磨装置２の吐出部２２には、分散液を循環流路４６と排出流路４５とに分離して供給する分離手段４を設けるようにしている。
この分離手段４は、本実施例においては、図３に示すように、研磨装置２の吐出部２２に連なる導入パイプ４１を円筒状容器４０の底面から内部に突出して配設し、円筒状容器４０の上部に排出流路４５と連なる排出口４２を備えるとともに、下部に循環流路４６と連なる循環口４３を備え、導入パイプ４１の吐出端に、導入パイプ４１から吐出される分散液の流れを旋回させる捻り板４４を配設して構成している。
なお、捻り板４４に代えて、又は捻り板４４と共に、導入パイプ４１の吐出端の上部に、導入パイプ４１から吐出される分散液を攪拌する攪拌羽根を配設することもできる。
この分離手段４を設けることによって、吸入部２１Ａから吸入した分散液の量に相当する量の分散液が、分散液に含まれる気泡と共に、排出流路４５に排出されることになるため、研磨効率の向上の阻害要因となる気泡が循環流路４６を介して吸入部２１Ｂに再循環することを防止することができる。

次に、この粒子の研磨システム１の運転方法について説明する。
まず、分散槽３内に、１バッチ分の液体及び該液体に非溶解性の粒子を投入し、攪拌機構３４の攪拌羽根３４Ａを駆動機構３５によって回転させ、分散液を生成する。
ここで、特に限定されるものではないが、本実施例において、粒子は、粒子径２０〜３０μｍ程度の図５（ｂ）に示すような不定形で、真比重３以上のもので、当該粒子を液体としての水に分散させて濃度（重量比）２０〜４０％の分散液とした。
また、分散槽３内に投入する液体及び粒子の量は、攪拌羽根３４Ａ全体が分散液中に位置する量とすることによって、攪拌中に攪拌羽根３４Ａが分散液面から突出して気体を巻き込み、分散液中に気泡が発生することを防止するようにしている。

液体及び粒子の攪拌が完了した後、スラリーポンプ５の運転を開始し、分散槽３の分散液排出口３３から分散液を、スラリーポンプ５を介して、研磨装置２に供給する。

研磨装置２において、供給された分散液は、回転翼２３Ａの吸引力によって、吸入部２１Ａから導入室２５Ａに導入され、導入室２５Ａからステータ２４Ａに形成した透孔Ｓａを通過する際、さらに、ステータ２４Ｂの透孔を通過する際の減圧作用で効果的にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させ、粒子の研磨が行われる。

そして、吐出部２２から吐出された分散液は、分離手段４によって、吸入部２１Ａから吸入した分散液の量に相当する量の分散液が、分散液に含まれる気泡と共に、排出流路４５に排出される。
これにより、研磨効率の向上の阻害要因となる気泡が循環流路４６を介して吸入部２１に再循環することを防止することができる。
そして、分離手段４で、気泡が分離された分散液は、循環流路４６及び吸入部２１Ｂを介して、導入室２５Ｂに導入され、導入室２５Ｂからステータ２４Ａに形成した透孔Ｓｂを通過する際の減圧作用で効果的にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中での微小気泡の生成・消滅の作用により粒子を高速で自転させながら、粒子同士を衝突、摩擦させ、粒子の研磨が行われる。

このとき、分散液を導入する導入室２５Ｂ（及び／又は導入室２５Ａ）の導入部にオリフィス２７を配設することによって、分散液の１次減圧をして、分散液がステータ２４Ａに形成した透孔Ｓｂ（及び／又は透孔Ｓａ）を通過する際の減圧作用を補助することができ、分散液がステータ２４Ａに形成した透孔Ｓｂ（及び／又は透孔Ｓａ）を通過する際に一層効果的にキャビテーション現象を発生させることができる。

そして、分散槽３内の分散液をスラリーポンプ５によって研磨装置２に供給した後、必要に応じて、所定時間、研磨装置２の運転を継続して、粒子の研磨を行い、その後、次工程Ｎに分散液を送出するようにする。
分散槽３内の分散液の全量を供給した後に、研磨装置２の分散液を次工程Ｎに送液する方法としては、分散槽３に液体のみを導入し、スラリーポンプ５から液体のみを研磨装置２に供給するようにしたり、図４に示す粒子の研磨システムの別の構成例においては、液体供給手段３７から液体のみを研磨装置２に供給することによって行うことができる。
また、研磨装置２に、排出経路（ドレン抜き等）を配設して研磨装置２を停止した後に研磨装置２及び分離手段４内の分散液を排出するようにすることもできる。

以上、本発明の粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムについて、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、研磨装置を複数台設置し、１台目の研磨装置から排出される分散液を２台目の研磨装置に供給して、さらに研磨を行うように構成する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。

本発明の粒子の研磨方法及び粒子の研磨システムは、粒子を効率よく研磨し、歩留まりが向上するとともに、粒子形状の揃った高品位の粒子を得ることができることから、素材、化学、電気化学等の技術分野において、機能性材料、充填材料等の用途で用いられる金属、金属の酸化物、金属の水酸化物、その他の無機物質や合成樹脂、その他の有機物質の粒子を研磨したり、さらには、球状又は球状に近い状態にする用途に広く適用することができる。

１ 研磨システム
２ 研磨装置
２０ ケーシング
２１ 吸入部
２２ 吐出部
２３Ａ 回転翼
２４Ａ ステータ
２４Ｂ ステータ
２５ 導入室
２７ オリフィス
３ 分散槽
３４ 攪拌機構
４ 分離手段
４５ 排出流路
４６ 循環流路
５ スラリーポンプ
Ｓ 絞り流路
Ｓａ 透孔
Ｓｂ 透孔

Claims (6)

1. 研磨装置の回転翼を回転させて、吸入部から導入室に吸入した液体及び該液体に非溶解性の粒子を、導入室から絞り流路を通過させるとともに、回転翼により攪拌して、吐出部から液体に粒子を分散させた分散液を吐出させ、該吐出部から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路を介して前記吸入部に循環させ、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨することを特徴とする粒子の研磨方法。
2. 前記液体及び粒子を、予め液体に粒子を分散させた分散液の状態で研磨装置の吸入部に供給することを特徴とする請求項１記載の粒子の研磨方法。
3. 液体と該液体に非溶解性の粒子とを攪拌して液体に粒子を分散させた分散液を生成する攪拌機構を備えた分散槽と、回転翼を回転させて、吸入部から導入室に吸入した分散液を、導入室から絞り流路を通過させるとともに、回転翼により攪拌して、吐出部から吐出させ、該吐出部から吐出された分散液の少なくとも一部を循環流路を介して前記吸入部に循環させ、分散液に回転翼の回転による剪断力及び遠心力を作用させるとともに、分散液が絞り流路を通過する際にキャビテーション現象を発生させることによって、分散液中の粒子の表面を研磨する研磨装置とからなることを特徴とする粒子の研磨システム。
4. 分散槽から液体に粒子を分散させた分散液を、液体に粒子を分散させた状態で研磨装置に輸送するスラリーポンプを設けたことを特徴とする請求項３記載の粒子の研磨システム。
5. 研磨装置の絞り流路を、導入室と回転翼の間に配設したステータに形成した透孔によって構成したことを特徴とする請求項３又は４記載の粒子の研磨システム。
6. 研磨装置の導入室の導入部にオリフィスを配設したことを特徴とする請求項５記載の粒子の研磨システム。
   

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