JP5359981B2 - 基板検査システムおよび基板検査方法 - Google Patents
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(第1実施形態)
第1実施形態の基板検査システム10は、図1に示すように、自動マクロ検査装置11と検査データ記憶装置12と重ね合わせ測定装置13とで構成され、自動マクロ検査装置11と検査データ記憶装置12とが不図示の通信手段を介して接続され、同様に、検査データ記憶装置12と重ね合わせ測定装置13も不図示の通信手段を介して接続され、全体としてネットワークを形成している。
(第2実施形態)
第2実施形態の基板検査システム30は、図5に示すように、上記の自動マクロ検査装置11に代えて自動マクロ検査装置31(第1の検査装置)を設け、上記の重ね合わせ測定装置13に代えて線幅測定装置33(第2の検査装置)を設けたものであり、カセット16内のウエハ14(1)〜14(n)に対してマクロ検査と線幅検査とを順に実施する。線幅検査は、狭い領域を対象とした検査である。自動マクロ検査装置31の基本的な構成は、上記の自動マクロ検査装置11と同じである。
11,31 自動マクロ検査装置
12 検査データ記憶装置
13 重ね合わせ測定装置
13a サンプリング領域
14 ウエハ
14a,14b,14c,14d マクロ欠陥
15,35 ウエハ欠陥マップ
33 線幅測定装置
Claims (9)
- 複数の被検査基板それぞれにマクロ検査を実施して、それぞれの前記被検査基板の欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とを出力する第1の検査装置と、
前記第1の検査装置から出力された前記欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とを前記被検査基板ごとに記憶する記憶装置と、
前記被検査基板の前記マクロ検査の検査範囲よりも狭い部分に対して前記マクロ検査よりも微視的な検査を実施する第2の検査装置とを備え、
前記記憶装置に記憶された前記欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とに基づいて、前記複数の被検査基板ごとに、前記第2の検査装置が検査を実施する領域を決定することを特徴とする基板検査システム。 - 前記第2の検査装置は、前記欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とに基づく検査領域に加え、所定の部分において検査を実施することを特徴とする請求項1に記載の基板検査システム。
- 前記第2の検査装置は、所定の欠陥がある場合を除いて前記第2の検査装置が検査を実施する領域を設定することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板検査システム。
- 前記第2の検査装置は、線幅測定装置であり、前記欠陥の種類が、異物、レジスト膜の塗布むらである領域を線幅測定を実施する領域から外すことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の基板検査システム。
- 前記第2の検査装置は、線幅測定装置または断面形状測定装置であり、前記欠陥の種類が、デフォーカスである領域で線幅測定または断面形状測定を実施することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の基板検査システム。
- 前記第2の検査装置は、膜厚測定装置であり、前記欠陥の種類が、塗布むら、またはデフォーカスである領域で膜厚測定を実施することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の基板検査システム。
- 複数の被検基板それぞれにマクロ検査を実施し、
それぞれの前記被検基板の欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とを求め、
前記マクロ検査よりも狭い部分に対して前記マクロ検査よりも微視的な第2の検査を行う領域を、前記欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とに基づいて決定し、
前記決定された領域に対して前記第2の検査を行うことを特徴とする基板検査方法。 - 前記第2の検査は、前記欠陥の分布情報と欠陥の種類に関する情報とに基づく検査領域に加え、所定の部分を検査領域とすることを特徴とする請求項7に記載の基板検査方法。
- 所定の欠陥がある部分を除いて前記第2の検査を行う領域を決定することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の基板検査方法。
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