JP5356434B2 - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
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Description
そのため、外部電極の固着強度を強化させるために、スパッタリング(Sputterring)、電子ビーム(E−beam)などの薄膜工程、または既に焼成された基板を再熱処理する方法などを用いているが、依然として固着強度の問題がある。
11 内部電極
12 ビア
13 開口
14 外部電極
Claims (7)
- (a)複数のセラミックシートを準備する工程と、
(b)各々のセラミックシート上に内部電極及び各層の内部電極を互いに接続するビアを形成し、最外層のセラミックシート上に開口を形成する工程と、
(c)前記複数のセラミックシートを一括して積層する工程と、
(d)前記一括して積層された積層体を焼成する工程と、
(e)積層体の上下面を研磨して平坦化する工程と、
(f)前記工程(c)で形成された開口に外部電極を形成する工程
とを含むセラミック基板の製造方法。 - 前記工程(b)で形成される開口の幅は、前記内部電極の幅より小さく、且つ、100μm〜5mmの範囲にあり、その深さは10μm〜5mmの範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記工程(d)は、700℃〜1000℃の範囲の温度で行われる請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記工程(e)は、ドライエッチパックまたは化学機械的研磨法によって行われる請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記外部電極は、スクリーン印刷後に焼成によって形成されるか、電解メッキまたは無電解メッキ方式によって形成される請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記焼成温度は、前記工程(d)で行われる焼成の温度と同一または該焼成の温度より低い請求項5に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記工程(f)の後に、積層体の上面を研磨して平坦化する工程を更に含む請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。
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