JP5352213B2 - レジスト剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
硫酸を供給する硫酸供給手段と、
オゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
上記硫酸供給手段から供給される硫酸を上記オゾンガス供給手段から供給されるオゾンガスによって霧化させて上記基板に向けて噴射するノズル体と、
上記硫酸と上記オゾンガスの供給量をそれぞれ制御する流量制御手段と
を具備し、
上記流量制御手段は、上記基板に硫酸よりもオゾンガスを多く供給する第1の段階、硫酸とオゾンガスをほぼ同じ量で供給してオゾンガスで霧化された硫酸を基板に噴射する第2の段階、オゾンガスよりも硫酸の量を多くして供給する第3の段階が、この順で実施されるよう、上記硫酸とオゾンガスの供給量を制御することを特徴とするレジスト剥離装置にある。
硫酸を供給する硫酸供給手段と、
オゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
上記硫酸供給手段から供給される硫酸を上記オゾンガス供給手段から供給されるオゾンガスによって霧化させて上記基板に向けて噴射するノズル体と、
上記硫酸と上記オゾンガスの供給量をそれぞれ制御する流量制御手段と
を具備し、
上記流量制御手段は、上記硫酸の流路に並列に設けられた複数の第1の開閉弁と、上記オゾンガスの流路に並列に設けられた複数の第2の開閉弁と、上記第1の開閉弁と第2の開閉弁を開閉制御する制御装置とからなることを特徴とするレジストの剥離装置にある。
上記基板に硫酸と、この硫酸よりも多い量のオゾンガスを供給して上記レジストを変質させる工程と、
上記基板に硫酸とオゾンガスをほぼ同じ量で供給しオゾンガスによって霧化された硫酸でオゾンガスにより変質させられたレジストを基板から剥離する工程と、
上記基板にオゾンガスと、このオゾンガスよりも多い量の硫酸を供給して前の工程で基板から剥離されたレジストを除去する工程と
を具備したことを特徴とするレジスト剥離方法にある。
エッチング処理が終了し、上面にレジストが付着残留する基板Wが回転テーブル3に供給保持されたならば、この回転テーブル3を所定の回転速度で回転させるとともに、回転モータ26を作動させてアーム体25を基板Wの上方で揺動させる。それと同時に、アーム体25の先端に設けられた上部ノズル体31から基板Wの上面に硫酸とオゾンガスとからなる剥離液が供給される。
Claims (4)
- 基板の表面に付着残留するレジストを除去するレジスト剥離装置であって、
硫酸を供給する硫酸供給手段と、
オゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
上記硫酸供給手段から供給される硫酸を上記オゾンガス供給手段から供給されるオゾンガスによって霧化させて上記基板に向けて噴射するノズル体と、
上記硫酸と上記オゾンガスの供給量をそれぞれ制御する流量制御手段と
を具備し、
上記流量制御手段は、上記基板に硫酸よりもオゾンガスを多く供給する第1の段階、硫酸とオゾンガスをほぼ同じ量で供給してオゾンガスで霧化された硫酸を基板に噴射する第2の段階、オゾンガスよりも硫酸の量を多くして供給する第3の段階が、この順で実施されるよう、上記硫酸とオゾンガスの供給量を制御することを特徴とするレジスト剥離装置。 - 基板の表面に付着残留するレジストを除去するレジスト剥離装置であって、
硫酸を供給する硫酸供給手段と、
オゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
上記硫酸供給手段から供給される硫酸を上記オゾンガス供給手段から供給されるオゾンガスによって霧化させて上記基板に向けて噴射するノズル体と、
上記硫酸と上記オゾンガスの供給量をそれぞれ制御する流量制御手段と
を具備し、
上記流量制御手段は、上記硫酸の流路に並列に設けられた複数の第1の開閉弁と、上記オゾンガスの流路に並列に設けられた複数の第2の開閉弁と、上記第1の開閉弁と第2の開閉弁を開閉制御する制御装置とからなることを特徴とするレジストの剥離装置。 - 上記流量制御手段は、上記硫酸とオゾンガスの少なくとも一方の流量を任意に設定することを特徴とする請求項1または2記載のレジストの剥離装置。
- 基板の表面に付着残留するレジストを除去するレジスト剥離方法であって、
上記基板に硫酸と、この硫酸よりも多い量のオゾンガスを供給して上記レジストを変質させる工程と、
上記基板に硫酸とオゾンガスをほぼ同じ量で供給しオゾンガスによって霧化された硫酸でオゾンガスにより変質させられたレジストを基板から剥離する工程と、
上記基板にオゾンガスと、このオゾンガスよりも多い量の硫酸を供給して前の工程で基板から剥離されたレジストを除去する工程と
を具備したことを特徴とするレジスト剥離方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008313532A JP5352213B2 (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | レジスト剥離装置及び剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008313532A JP5352213B2 (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | レジスト剥離装置及び剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010140965A JP2010140965A (ja) | 2010-06-24 |
JP5352213B2 true JP5352213B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=42350871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008313532A Active JP5352213B2 (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | レジスト剥離装置及び剥離方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP5352213B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (4)
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2008
- 2008-12-09 JP JP2008313532A patent/JP5352213B2/ja active Active
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