JP5349550B2 - スクライブ装置 - Google Patents
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Description
まず、加工対象としてのワークについて説明する。図1に示すように、液晶表示パネル製造用のマザー基板MGは、複数の単位表示パネル(単位基板)のパターンPが形成された2つの基板G1,G2(図2参照)を貼り合わせて構成されている。具体的には、図2に示すように、複数のカラーフィルタが形成された第1基板(CF側基板ともいう)G1と、複数のTFT及び端子領域が形成された第2基板(TFT基板ともいう)G2とが、液晶を封入するシール材を挟んで貼り合わされている。ここでは、第2基板G2の端子領域T(図1の拡大図において、端子の一部を仮想線で示している)は、内部のTFTと外部機器との間で信号線が接続される領域であることから、分断の最終段階で外部に露出させる必要がある。
本実施形態のスクライブ装置は、以上のようなワークに、スクライブラインS1〜S4を形成し、複数の単位基板Pに分断するための装置であり、全体構成を図4及び図5に示している。図4は装置全体の概略を示す平面図であり、図5は装置の一部を模式的に示した正面図である。
本装置では、第1及び第2スクライブユニット11,12のそれぞれに2つのスクライブヘッドが設けられている。各スクライブヘッドの構成は、後述するように、カッタホイールが取り付けられたホルダが自由に回転するか、ホルダの回転が規制されているかの違いはあるが、他の構成はすべて同じである。以下、スクライブヘッドの基本構成を図6〜図8に基づいて説明する。
ホルダ保持部材23は、図7に示すように、円筒部材28と、円筒部材28の内面に挿入されたカラー29と、ヘッドカバー30と、を有している。円筒部材28はヘッド部材21の下方に支持されている。ヘッドカバー30は、中央部に貫通孔を有し、円筒部材28の下端に固定されている。
ホルダ24は、図7及び図8に示すように、キングピン組立体25の構成部材の1つとして設けられている。すなわち、キングピン組立体25は、ホルダ24と、上下の軸受32,33と、スペーサ34と、軸受カバー35と、支持部材36と、を有している。
以上の説明から明らかなように、ネジ部材45を支持部材36に装着し、ネジ部材45の先端を軸受カバー35の回動規制用孔35cに挿入することによって、軸受カバー35の支持部材36に対する回転を規制することができる。すなわち、ホルダ保持部材23に対するホルダ24のワーク表面に垂直な軸回りの回転を規制することができる。なお、前述のように、孔35cの内径はネジ部材45の外径よりも大きく形成されて両者の間に隙間が形成されているので、この隙間分に相当する角度(5°以下が望ましい)だけ、ホルダ24は支持部材36に対して回転することができる。このようにセットされたスクライブヘッドを、以下、「固定ヘッド」と記す。
ここでは、図1〜3で示した液晶表示パネル製造用のマザー基板を分断する場合の加工動作について説明する。この場合は、第1スクライブユニット11の上方のスクライブヘッドとして固定ヘッドをセットし、下方のスクライブヘッドとして回転ヘッドをセットする。また、第2スクライブユニット12の上下のスクライブヘッドとして、ともに固定ヘッドをセットする。
(1)スクライブヘッドの移動方向を変更する必要がある加工ステージでは、ホルダが自由に回転可能な回転ヘッドをセットしている。また、スクライブヘッドの移動方向を変更する必要がなく、特にスクライブラインがそのまま製品の断面になる場合は、ホルダの回転が規制された固定ヘッドをセットしている。このため、スクライブラインの種類に応じて適切なスクライブヘッドで加工を行うことができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
11 第1スクライブユニット
12 第2スクライブユニット
13 基板姿勢変更装置
20 スクライブヘッド
23 ホルダ保持部材
24 ホルダ
35c 回転規制用孔
42 カッタホイール
45 ネジ部材
Claims (4)
- ワークである脆性材料基板に複数のスクライブラインを形成するためのスクライブ装置であって、
第1ホルダ保持部材と、先端にカッタが装着可能であり前記第1ホルダ保持部材に対してワーク表面に垂直な軸回りに回転自在に支持された第1ホルダと、を有する第1スクライブヘッドを有し、脆性材料基板に第1スクライブラインを形成するための第1スクライブユニットと、
第2ホルダ保持部材と、先端にカッタが装着可能であり前記第2ホルダ保持部材に対してワーク表面に垂直な軸回りの回転が規制された第2ホルダと、を有する第2スクライブヘッドを有し、脆性材料基板に第2スクライブラインを形成するための第2スクライブユニットと、
を備えたスクライブ装置。 - 前記第1スクライブユニットと前記第2スクライブユニットとの間に、脆性材料基板の姿勢を変更するための姿勢変更手段をさらに備えた、請求項1に記載のスクライブ装置。
- 前記第1スクライブユニットは、加工される脆性材料基板を挟んで前記第1スクライブヘッドに対向して配置された第3スクライブヘッドをさらに有し、
前記第3スクライブヘッドは、第3ホルダ保持部材と、先端にカッタが装着可能であり前記第3ホルダ保持部材に対してワーク表面に垂直な軸回りに回転が規制された第3ホルダと、を有し、脆性材料基板に第3スクライブラインを形成する、
請求項1又は2に記載のスクライブ装置。 - 前記第2スクライブユニットは、加工される脆性材料基板を挟んで前記第2スクライブヘッドに対向して配置された第4スクライブヘッドをさらに有し、
前記第4スクライブヘッドは、第4ホルダ保持部材と、先端にカッタが装着可能であり前記第4ホルダ保持部材に対してワーク表面に垂直な軸回りに回転が規制された第4ホルダと、を有し、脆性材料基板に第4スクライブラインを形成する、
請求項1から3のいずれかに記載のスクライブ装置。
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