JP5705663B2 - 基板搬送ロボット - Google Patents
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- 駆動アーム部材に関節部を介して従動アーム部材を連結して成る屈伸自在な一対のアームと、基板を支持するハンドとを備え、両アームの従動アーム部材の先端に夫々ギヤが固定され、両ギヤを互いに噛合させた状態でハンドに軸支し、両アームの駆動アーム部材間の角度をアーム間角度、アーム間角度の等角二等分線をアーム中心線として、アーム間角度を可変することでハンドをアーム中心線に沿って直線的に移動させるようにした基板搬送ロボットにおいて、
各ギヤをハンドに軸支する各支軸を、該各支軸に対し偏心した偏心部を介してハンドに回動調整自在に連結することを特徴とする基板搬送ロボット。 - 前記各支軸の前記偏心部の外端面に、偏心部の回動角を視認するためのマークが付されることを特徴とする請求項1記載の基板搬送ロボット。
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