JP5337331B2 - スパッタリングターゲット材の製造方法 - Google Patents
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Description
周期律表の8A族の4周期の元素のFe、Co、Niからなる粉末から、あるいは周期律表の8A族の4周期の元素のFe、Co、Niの少なくとも1つ以上の元素を合計で60at.%以上の主成分とし、これとAl、Ag、Au、B、C、Ce、Cr、Co、Cu、Ga、Ge、Dy、Fe、Gd、Hf、In、La、Mn、Mo、Nb、Nd、Ni、P、Pd、Pt、Ru、Si、Sm、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、ZnおよびZrから成る元素群から選択した少なくとも主成分以外の1つの元素との粉末から、原料を形成する。この様に形成した原料の粉末を封入缶に充填し、加熱時の粉末の酸化を防ぐために、到達真空度10-1Pa以上で脱気して真空封入する。次に、HIPによって、すなわち熱間等方圧プレスによって成形する。この場合、その前提条件として加熱温度はコバルトの融点未満の800〜1350℃、成形圧力100〜1000MPa、加熱保持時間1〜10時間の条件で成形する。次いで、本発明は、この成形したものを、加熱炉内で室温のArガスを循環させながら冷却速度144〜2880℃/hrで冷却するか、あるいは加熱炉から取り出し、大気中で冷却速度144〜2880℃/hrで空冷するか、又は水槽に投入して、冷却速度720〜36000℃/hrの水冷で冷却する。このように加熱炉内での冷却や空冷や水冷により急速に冷却することで、得られた物体からなるスパッタリングターゲット材に歪を与えて透磁率を下げるものとする。この場合、その冷却速度は冷却する物体の直径に依存したものである。
Claims (1)
- 粉末を熱間で固化成形することで得られる磁性を有する合金からなるスパッタリングターゲット材であって、周期律表の8A族の4周期の元素のFe、Co、Niからなる元素群より選択した少なくとも1つの元素で構成される粉末原料を用いて、あるいは周期律表の8A族の4周期の元素のFe、Co、Niからなる元素群より選択した少なくとも1つ以上の元素でその合計が60at.%以上である元素を主成分とし、残部がAl、Ag、Au、B、C、Ce、Cr、Cu、Ga、Ge、Dy、Gd、Hf、In、La、Mn、Mo、Nb、Nd、P、Pd、Pt、Ru、Si、Sm、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、ZnおよびZrから成る元素群より選択した少なくとも1つの元素および不可避的不純物で構成される粉末原料を用いて、固化成形したスパッタリングターゲット材の製造方法として、粉末を熱間で固形成形した後、冷却速度144〜36000℃/hrで300℃まで冷却することにより製造することを特徴とする高い磁場透過率を有するスパッタリングターゲット材の製造方法。
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