JP5329150B2 - ダイボンダ - Google Patents
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Description
22 チップ
23 基板
24 ヒータレール
35 不純物除去手段
S 不純物
Claims (1)
- ピックアップポジションでコレットにてチップをピックアップし、このコレットをボンディングポジションまで搬送して、コレットに吸着されているチップを、前記ボンディングポジションで基板にボンディングするダイボンダにおいて、
チップに付着してボイド発生要因となる不純物をピックアップポジションからボンディングポジションまでの搬送中に除去し、この不純物が除去された状態のチップをボンディングするための不純物除去手段を備え、
基板の加熱手段及び搬送手段を構成するヒータレールに前記不純物除去手段を設け、
前記不純物除去手段は、チップに対して高温ガスを吹き付け、前記不純物を気化させると共に、前記不純物をチップから吹き飛ばす高温ガスブローであることを特徴とするダイボンダ。
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