JP5321787B2 - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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- 検査対象のTFTアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うTFTアレイ検査装置において、
複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段から読み出した駆動波形データを用いて前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動手段と、
前記TFT駆動手段が生成した複数の駆動信号からTFTアレイに印加する駆動信号を選択する駆動信号選択手段と、
電子線の走査およびTFTアレイの駆動を制御する制御手段とを備え、
前記駆動信号選択手段は、予め定められた電子線の走査位置と駆動波形との間の関係に基づいて、同一パネル内において欠陥種の予測される走査位置に応じて欠陥種に適した駆動波形の駆動信号を逐次選択することを特徴とするTFTアレイ検査装置。 - 検査対象のTFTアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うTFTアレイ検査装置において、
複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶される複数の駆動波形データを選択する駆動波形データ選択手段と、
前記駆動波形データ選択手段によって記憶手段から読み出した駆動波形データを用いて前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動手段と、
電子線の走査およびTFTアレイの駆動を制御する制御手段とを備え、
前記駆動波形データ選択手段は、予め定められた電子線の走査位置と駆動波形データとの間の関係に基づいて、同一パネル内において欠陥種の予測される走査位置に応じて欠陥種に適した駆動波形データを逐次選択することを特徴とするTFTアレイ検査装置。 - 前記アレイは一基板上に設けられた複数のパネルに形成され、
当該パネル毎に前記選択を行い、各パネルに形成されるアレイを選択された各駆動信号で駆動することを特徴とする、請求項1または2に記載のTFTアレイ検査装置。
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