JP5309752B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Description
この従来の静電アクチュエータにおいては、固定子を構成する絶縁体に埋め込まれた第1の電極郡、第2の電極郡、第3の電極郡から成る3つの電極郡を備えている。これらの電極郡(第1の電極郡,第2の電極郡,第3の電極郡)に対して、(+V,−V,0)→(−V,+V,−V)→(0,+V,−V)→(−V,−V,+V)→(−V,0,+V)→(+V,−V,−V)→(+V,−V,0)を1周期として繰返し電圧を印加すると移動子は移動し続けることが可能である。
また、本発明の請求項2に係る静電アクチュエータは、請求項1に係る静電アクチュエータにおいて、前記駆動シートに対向する前記移動シートの表面に対して反対側の表面に対向し、駆動方向が前記駆動シートの駆動方向に対して直角方向である直角方向駆動シートを有するようにしたものである。
また、本発明の請求項3に係る静電アクチュエータは、請求項2に係る静電アクチュエータにおいて、前記直角方向駆動シートはその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の直角方向駆動端子が設けられているようにしたものである。
また本発明の請求項2に係る静電アクチュエータは、請求項1に係る静電アクチュエータにおいて、前記駆動シートに対向する前記移動シートの表面に対して反対側の表面に対向し、駆動方向が前記駆動シートの駆動方向に対して直角方向である直角方向駆動シートを有するようにしたものである。すなわち、駆動シートの駆動方向に対して、直角方向駆動シートの駆動方向は直角方向となる。したがって、平面内の任意の位置に移動シートを移動することができる。
また本発明の請求項3に係る静電アクチュエータは、請求項2に係る静電アクチュエータにおいて、前記直角方向駆動シートはその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の直角方向駆動端子が設けられているようにしたものである。したがって、第1駆動端子、第2駆動端子とともに直角方向駆動端子に対して個別に電圧を印加することにより直角方向駆動シートの独立な駆動を行うことができる。
駆動シート1は、その表面に対向して配置された移動シート2との間に静電力を発生することにより移動シート2の駆動を行うシートである。駆動シート1は第1駆動領域11と第2駆動領域12の少なくとも2つの駆動領域を有する。図1に示す一例においては、駆動シート1の中央部分から左側が第1駆動領域11であり、駆動シート1の中央部分から右側が第2駆動領域12である。
駆動シート1の第1駆動領域11には、その対向面に沿う方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって3系統に統合接続されて3系統の端子(U1、V1、W1)が設けられている。また、同様に、駆動シート1の第2駆動領域12には、その対向面に沿う方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって3系統に統合接続されて3系統の端子(U2、V2、W2)が設けられている。
また、駆動シート1の第1駆動領域11と第2駆動領域12はその駆動方向に対して直角方向に並置する。すなわち、第1駆動領域11と第2駆動領域12の配列方向と、駆動方向とは互いに直交する方向となっている。
また、駆動シート1の第1駆動領域11と第2駆動領域12は独立に駆動することが可能となっている。第1駆動領域11に形成された3系統の端子(U1、V1、W1)と、第2駆動領域12に形成された3系統の端子(U2、V2、W2)は相互の電気的な接続を有しない独立した端子である。すなわち、各々の端子(U1、V1、W1)、(U2、V2、W2)に対しては独立に任意の電圧を印加することが可能である。したがって、移動シート2の所定の駆動のために所定の電圧の印加を端子(U1、V1、W1)に対して行い、同時に移動シート2に別の所定の駆動のために別の所定の電圧の印加を端子(U2、V2、W2)に対して行うことができる。
図2においては、端子Uに結合するU相結合線が左側部分に配置し、端子Wに結合するW相結合線が右側部分に配置している。また、U相結合線とW相結合線とは駆動シート1における表面に配置している。一方、端子Vに結合するV相結合線は駆動シート1における裏面に配置している。V相結合線は、図2に示すパターンの一例においては、左側部分と右側部分に分かれて配置している。端子Vに結合するV相電極線を表面に配置するためには、裏面に配置しているV相結合線からスルーホールにより表面に配置しているV相結合線に電気的な接続を行ない、その表面に配置しているV相結合線とV相電極線とを結合するパターンとする。
移動シート2はその面が駆動シート1の面に対向して移動可能に配置され、その対向面に駆動シート1の電極電位に応じた電荷が誘起される。そして、その誘起された電荷と駆動シート1の電極電位との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって駆動シート1に対して相対的な移動を行う。
駆動シート1は上述した駆動シート1そのものである。すなわち駆動シート1は移動シート2に対して回転と、図3においてはX方向の駆動を行うことができる駆動シートである。
移動シート2は、基本的に上述した移動シート2と同一であるが、図1においては、片面が駆動シートに対向しているのに対して、図3においては、両面が駆動シートに対向している。したがって、図3における移動シート2においては、両面が共に静電力による駆動に適した表面物性を有している必要性がある。
直角方向駆動シート3はその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線がその配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の直角方向駆動端子、すなわち端子(U3、V3、W3)(図示せず)が設けられている。直角方向駆動シート3における電極構成は図2に電極パターンの一例を示しすでに説明した電極構成となっている。
基材はその表面に形成した電極の電極形状を保持するための基材となるフィルムである。固定子基材としては、電気的な絶縁性を有し、かつハンダ付における耐熱性を有するプラスチックフィルム、たとえばPI(PolyImide)フィルム、PET(PolyEthyleneTerephthalate)フィルム、PAI(PolyAmideImide)フィルム、等、あるいはプラスチックフィルムではない他の材料として、ガラス基板、ガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、フッ素樹脂基板、コンポジット基板、等を使用することができる。
また、バックライトを透過させる等のために、電極として透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極を形成することができる。たとえば、ITO(酸化インジウム・スズ)を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはITOペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。
ハードコート層は固定子基材と移動子基材との摩擦による磨耗から、保護するためのハードコート層である。ハードコート層は基材と移動シート2とが対向する側の基材の表面に形成する。このハードコート層は、基材の厚さを極めて薄くしたときには(たとえば、20μm以下)、静電アクチュエータの耐久性において特に顕著な効果を示す構成要件となる。ハードコート層としては、周知のハードコート層を適用することができる。たとえば、フィルムに熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、等を塗布して硬化させ形成したハードコート層を適用することができる。
潤滑層は固定子と移動子との間で発生する摩擦力を軽減するために固定子と移動子とが対面する(接触する)面の間に設けた潤滑層である。潤滑層を設けることにより駆動の効率性、安定性、等を向上させることができる。潤滑層としては流動体を使用することができる。たとえば、シリコーンオイル、フッ素系液体(たとえば、フロリナート(商標))、等の不活性かつ電気絶縁性を有する液体を使用すると好適である。また、滑り抵抗ではなく、潤滑層と同様の作用効果を有する直径20μm程度のビーズを使用し転がり抵抗としてもよい。
入力器101は、制御の態様を指令する信号を入力し、制御器102に対してその信号を出力する部分である。すなわち、インタフェース、バッファ等の役割を有する部分である。その信号にはUP、DOWN、START、STOP、SPEEDが存在する。UPは移動シート2を上昇移行させる指令信号であり、DOWNは移動シート2を下降移行させる指令信号である。また、STARTは高電圧電源の電力供給を開始する指令信号であり、STOPは高電圧電源の電力供給を停止する指令信号である。また、SPEEDは3相交流における周波数を決定する指令信号である。
高電圧電源103はグランドに対してプラス高電圧とマイナスの高電圧を出力する電源である。高電圧電源103は制御器102が出力する操作信号に基づいてプラス高電圧とマイナスの高電圧における出力電圧を変化することができる。出力電圧の範囲は、たとえば、200〜2000ボルト(V)である。
復号器104は、制御器102が出力する操作信号を切替器105を動作させる切替信号に複合化する。
切替器105は、復号器104が複合化する切替信号によって、高圧電源103の出力を切替える。その切替によって得られる出力は、たとえば、(1)3相正向進行波、(2)3相逆向進行波、(3)3つの出力をすべてプラス高電圧、(4)3つの出力をすべてマイナス高電圧、(5)3つの出力をすべてグランド(0電圧)のいずれかである。
それら電源部の各々の入力器101が、各々の制御の態様を指令する信号を入力することによって、それら電源部の各々の切替器105から、各々の制御の態様に対応した電圧波形の電力が供給される。
端子(U1、V1、W1)を有する駆動シート1の第1駆動領域11、端子(U2、V2、W2)を有する駆動シート1の第2駆動領域12、直角方向駆動シート3は、それらの電力の供給を受けて移動シート2の駆動を行う。
以上から明らかなように、駆動シート1の第1駆動領域11、駆動シート1の第2駆動領域12、直角方向駆動シート3は、各々が独立した制御の態様を受けることができる。したがって、移動シート2はX方向の移動、Y方向の移動、回転、およびそれらを組み合わせた任意の移動を行うことができる。
2 移動シート
11 第1駆動領域
12 第2駆動領域
101 入力器
102 制御器
103 高電圧電源
104 復号器
105 切替器
Claims (3)
- 駆動方向が一致し、その駆動方向に対して直角方向に並置し、かつ独立に駆動することが可能な第1駆動領域と第2駆動領域を表面に有する駆動シートと、前記駆動シートの表面に対向してその表面が配置され、前記第1駆動領域に対向する表面は第1駆動領域から駆動力を得て、また第2駆動領域に対向する表面は第2駆動領域から駆動力を得て、前記駆動シートに対して相対的に移動する移動シートと、を有する静電アクチュエータにおいて、
前記第1駆動領域はその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の第1駆動端子が設けられ、前記第2駆動領域はその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の第2駆動端子が設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、前記駆動シートに対向する前記移動シートの表面に対して反対側の表面に対向し、駆動方向が前記駆動シートの駆動方向に対して直角方向である直角方向駆動シートを有することを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項2に記載の静電アクチュエータにおいて、前記直角方向駆動シートはその駆動方向に対して直角方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって複数系統に統合接続されて複数系統の直角方向駆動端子が設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。
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